Изобретение относится к лазерной технике, в частности к угловым селекторам лазерного излучения.
Известен резонатор с угловым селектором, который является пространственным фильтром, содержащим фокусирующую и коллимирующую системы в виде двух софокусно расположенных линз, в фокусе которых расположена селектирующая диафрагма с малым отверстием [1].
Недостатком этого углового селектора является малая рабочая мощность лазерного излучения, которая ограничена порогом электрического (лазерного) пробоя среды вблизи фокуса и порогом разрушения селектирующей диафрагмы, а также большие габариты пространственного фильтра вдоль оптической оси резонатора и использование проходных оптических элементов типа линз, которые обладают малым ресурсом работы.
Известен лазер с плоским резонатором и угловым селектором [2]. Угловой селектор содержит софокусно расположенные фокусирующую и коллимирующую системы, в виде линз, а также селектирующую диафрагму, расположенную между ними вблизи фокуса. Отверстие селектирующей диафрагмы производит селекцию поперечных мод лазерного излучения. Недостатком углового селектора является большой габарит в направлении селектируемого лазерного пучка, а также малая рабочая мощность лазерного излучения, ограниченная порогом электрического пробоя в фокусе, в котором малое фокусное расстояние линз не позволяет получить большую площадь фокального пятна. Фокусное расстояние линз ограничено длиной резонатора в направлении длины активной среды.
Сущность изобретения заключается в том, что угловой селектор, содержащий софокусно расположенные фокусирующую и коллимирующую системы и селектирующую диафрагму, расположенную между ними, выполнен так, что фокусирующая и коллимирующая системы состоят из вогнутых торических зеркал, при этом торическое зеркало фокусирующей системы и торическое зеркало коллимирующей системы наклонены в одной плоскости к прямой, проходящей через их центры, ориентированы отражающими поверхностями в противоположные стороны, между фокусирующей системой и селектирующей диафрагмой, а также между селектирующей диафрагмой и коллимирующей системой по оптической оси расположены отражающие системы, содержащие по крайней мере по одному зеркалу, расположенному напротив торического зеркала фокусирующей системы и торического зеркала коллимирующей системы.
Вогнутые торические зеркала фокусирующей и коллимирующей систем выполнены в виде двух последовательно расположенных сферических зеркал, наклоненных во взаимно перпендикулярных плоскостях, одно из которых или оба вогнутые, при этом первое зеркало фокусирующей системы и второе зеркало коллимирующей системы наклонены в одной плоскости к прямой, проходящей через их центры, второе зеркало фокусирующей системы и первое зеркало коллимирующей системы ориентированы отражающей поверхностью в противоположные стороны и к первому и второму зеркалам своих систем, при этом они наклонены под углом 45о к прямым, проходящим через центры первого и второго зеркал своих систем.
Отражающая система выполнена в виде или выпуклого зеркала, или в виде двух двугранных уголковых отражателей с перпендикулярно ориентированными ребрами, один из которых находится напротив одной из граней второго уголкового отражателя и расположен ближе к фокусирующей и коллимирующей системам и селектирующей диафрагме, чем второй уголковый отражатель, при этом другая грань второго уголкового отражателя находится напротив селектирующей диафрагмы и фокусирующей или коллимирующей систем.
Селектирующая диафрагма состоит из одной или двух частей, выполненных в виде щелей, расположенных в меридиональном и сагиттальном фокусах фокусирующей системы, длина которых расположена в сагиттальной меридиональной плоскостях соответственно, при этом каждая щель выполнена из двух дисков, оси которых перпендикулярны оптической оси, соединенных с приводами вращения вокруг их осей.
Боковая поверхность дисков выполнена в виде поверхности вращения эллиптической образующей вокруг их осей, причем центр эллипса эллиптической образующей, в плоскости проходящей через оси дисков, находится между дисками на оптической оси.
Фокусирующая и коллимирующая системы расположены софокусно, т.е. если фокусирующая и коллимирующая системы безаберрационны, то их точечные фокусы совпадают и если фокусирующая и коллимирующая системы астигматичны, то их фокусы в меридиональной и сагиттальной плоскостях совпадают. Селектирующая диафрагма расположена между фокусирующей и коллимирующей системами, при этом если она расположена не точно в фокусе, а вблизи фокуса, то угловой селектор может использоваться внутри резонатора для селекции поперечных мод, а если она расположена точно в фокусе, то угловой селектор может использоваться для пространственной фильтрации излучения как внутри, так и вне резонатора.
Фокусирующая и коллимирующая системы состоят из вогнутого торического зеркала. Торические зеркала имеют различную кривизну поверхности во взаимно перпендикулярных направлениях, т.е. обладают заданной астигматичностью. Торические зеркала фокусирующей и коллимирующей систем наклонены в одной плоскости, например, под равными углами к прямой, проходящей через их центры. Наклон торических зеркал позволяет отразить лазерный пучок в другом направлении и расположить их рядом друг с другом, т.е. позволяет уменьшить габариты устройства в направлении лазерного пучка, а также сохранить первоначальное направление лазерного пучка. Наклон торических зеркал в одной плоскости позволяет уменьшить габариты устройства еще в одном направлении, перпендикулярном плоскости падения лазерного пучка. Наклон торических зеркал под равными углами позволяет использовать торические зеркала с равными фокальными расстояниями, т. е. обеспечить увеличение телескопа, близкое к единице, и сохранить размеры лазерного пучка. Торические зеркала ориентированы отражающими поверхностями в противоположные стороны. Это позволяет избежать расположения отражающей системы вблизи фокуса лазерного пучка, позволяет при фиксированном расстоянии до отражающей системы увеличить фокусное расстояние фокусирующей и коллимирующей систем и выполнить устройство полностью симметричным относительно селектирующей диафрагмы. Отражающие системы, расположенные между фокусирующей системой и селектирующей диафрагмой, а также между селектирующей диафрагмой и коллимирующей системой, позволяют сохранить после углового селектора первоначальное направление лазерного пучка, сократить габариты углового селектора в направлении отражаемого торическими зеркалами пучка и избежать расположения отражающей системы вблизи фокуса по сравнению со случаем, когда торические зеркала ориентированы в одну сторону и вблизи их фокуса расположена одна отражающая система.
Вогнутые торические зеркала фокусирующей и коллимирующей систем выполнены в виде двух последовательно расположенных сферических зеркал, наклоненных во взаимно перпендикулярных плоскостях, одно из которых или оба вогнутые. Наклон вогнутого зеркала позволяет получить сходящийся астигматичный пучок. Наклон зеркал в перпендикулярных плоскостях позволяет последовательность зеркал в фокусирующей и коллимирующей системах составить так, чтобы соответствующие вогнутые зеркала обеих систем были наклонены друг к другу во взаимно перпендикулярных плоскостях. При этом астигматизм фокусирующей системы компенсируется коллимирующей системой. Когда в фокусирующей и коллимирующей системе одно зеркало вогнутое, а другое плоское, то последовательность расположения зеркал может быть такая. Если первое зеркало фокусирующей системы вогнутое, а второе плоское, то и в коллимирующей системе первое зеркало должно быть также вогнутое, а второе плоское. При этом вогнутые зеркала оказываются наклоненными во взаимно перпендикулярных плоскостях, что позволяет компенсировать астигматизм, например, при одинаковых радиусах кривизны установкой нужного расстояния между фокусирующей и отражающей системами или между коллимирующей и отражающей системами. Когда оба зеркала фокусирующей и коллимирующей систем вогнутые, путем выбора наклонов и радиусов зеркал можно подобрать требуемую величину астигматизма, т.е. заданное расстояние между меридиональной и сагиттальной фокалью. В астигматических фокусных линиях из-за их вытянутости плотность мощности лазерного излучения меньше, чем в точечном фокусе безаберрационных зеркал и линз. Это позволяет увеличить мощность селектируемого лазерного излучения.
Первое зеркало фокусирующей системы и второе зеркало коллимирующей системы наклонены в одной плоскости, например, под углом 45о к прямой, проходящей через их центры. Одинаковый угол наклона зеркал, равный 45о, обеспечивает отражение лазерного пучка в перпендикулярном направлении, что позволяет получить минимальные габариты углового селектора вдоль падающего на него лазерного пучка. Наклон зеркал в одной плоскости позволяет получить минимальные габариты углового селектора в проекции на эту плоскость в том случае, когда угол наклона второго зеркала фокусирующей системы к прямой, проходящей через центр первого и второго зеркал фокусирующей системы, равен 45о и угол наклона первого зеркала коллимирующей системы к прямой, проходящей через центр первого и второго зеркал коллимирующей системы, равен 45о. Второе зеркало фокусирующей системы и первое зеркало коллимирующей системы ориентированы отражающей поверхностью в противоположные стороны. Это обеспечивает симметричность расположения отражающих систем относительно селектирующей диафрагмы и позволяет избежать расположения отражающей системы вблизи фокусов фокусирующей и коллимирующей систем. Сумма углов наклона второго зеркала фокусирующей системы к прямой, проходящей через центры второго и первого зеркал фокусирующей системы и первого зеркала коллимирующей системы к прямой, проходящей через центры первого и второго зеркал коллимирующей системы, равна 90о. При этом отраженные от них пучки, падающие от другого зеркала соответствующих систем, параллельны друг другу и могут быть расположены в одной плоскости. Когда оба этих угла равны 45о, угловой селектор имеет минимальные габариты в направлении прямой, соединяющей центры первого и второго зеркал фокусирующей или коллимирующей системы.
Отражающая система может быть выполнена в виде выпуклого зеркала. Это позволяет увеличить эквивалентное фокусное расстояние фокусирующей и коллимирующей систем, т.е., увеличить ширину фокальных линий лазерного пучка и мощность лазерного излучения до мощности, при которой происходит электрический пробой в фокусе. Отражающая система может быть выполнена в виде двух двугранных уголковых отражателей с перпендикулярно ориентированными ребрами. Это также позволяет увеличить фокусное расстояние фокусирующей и коллимирующей систем за счет увеличения оптического пути при отражениях между уголковыми отражателями. При этом такая система уголковых отражателей обладает низкой чувствительностью к их взаимным разъюстировкам благодаря свойствам двугранных уголковых отражателей в плоскости, перпендикулярной к их ребру, отражать падающий пучок в том же направлении, в котором он пришел. Один из уголковых отражателей находится напротив одной из граней второго уголкового отражателя и расположен ближе к фокусирующей и коллимирующей системам и селектирующей диафрагме, чем второй уголковый отражатель, при этом другая грань второго уголкового отражателя находится напротив селектирующей диафрагмы и фокусирующей или коллимирующей систем. Это обеспечивает четырехкратное прохождение пучка между уголковыми отражателями, т.е. двукратное увеличение фокусного расстояния фокусирующей и коллимирующей систем, чем в случае, когда отражающая система выполнена из одного плоского зеркала. При этом отражающая система и все устройство не чувствительно к разъюстировкам дальнего уголкового отражателя.
Селектирующая диафрагма состоит из одной или двух частей, выполненных в виде щелей, расположенных в меридиональном и сагиттальном фокусах фокусирующей системы, длина которых расположена в сагиттальной и меридиональной плоскостях соответственно. Это позволяет производить угловую селекцию лазерного излучения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, т.е. позволяет производить селекцию поперечных мод внутри резонатора или вне резонатора формировать в дальней зоне распределение излучения, близкое к равномерному прямоугольному, что важно для качества обработки материалов. Каждая щель выполнена из двух дисков, оси которых перпендикулярны оптической оси, соединенных с приводами вращения вокруг их осей. Вращение дисков вокруг их соей позволяет снизить удельную лучевую нагрузку на края щели, т.е. повысить порог разрушения щели и увеличить за счет этого мощность селектируемого лазерного излучения. Расположение осей дисков перпендикулярно оптической оси позволяет двумя дисками образовать нужную форму щели.
Боковая поверхность дисков выполнена в виде поверхности вращения эллиптической образующей вокруг их осей, причем центр эллипсов эллиптической образующей в плоскости, проходящей через оси дисков, находится между дисками на оптической оси. Это позволяет придать щели эллиптическую форму, совпадающую с формой изолиний уровней расходимости в фокальной линии лазерного пучка и расположить ее симметрично относительно фокальной линии. Размер щели определяется из заданного угла селекции и геометрической длины фокальной линии.
На фиг. 1 изображен угловой селектор, где в качестве отражающей системы используют выпуклое зеркало; на фиг.2 - угловой селектор, где в качестве отражающей системы используют два уголковых отражателя с перпендикулярно ориентированными ребрами; на фиг.3 - щель селектирующей диафрагмы.
Угловой селектор содержит фокусирующую систему, состоящую из вогнутого торического зеркала 1 и коллимирующую систему, состоящую из вогнутого торического зеркала 2. Между фокусирующей и коллимирующей системами расположена селектирующая диафрагма, состоящая из двух частей 3 и 4, выполненных в виде щелей и расположенных в меридиональном и сагиттальном фокусах фокусирующей системы 1 параллельно направлению наибольшего размера сечения лазерного пучка в данных фокусах. Торическое зеркало фокусирующей системы 1 и торическое зеркало коллимирующей системы 2 наклонены в одной плоскости под углом 45о к прямой ОО', проходящей через из центры, и ориентированы отражающими поверхностями в противоположные стороны. Между фокусирующей системой 1 и селектирующей диафрагмой расположена отражающая система, содержащая выпуклое зеркало 5, расположенное напротив торического зеркала 1 фокусирующей системы. Между селектирующей диафрагмой и коллимирующей системой 2 расположена отражающая система, содержащая выпуклое зеркало 6, расположенное напротив торического зеркала 2. Торические зеркала выполнены так, что фокусы систем торического 1 и выпуклого 5 зеркал, а также выпуклого 6 и торического 2 зеркал, совпадают в меридиональной и сагиттальной плоскостях.
Угловой селектор (см.фиг.2) содержит вогнутое торическое зеркало фокусирующей системы в виде двух последовательно расположенных вогнутых сферических зеркал 7, 8, наклоненных во взаимно перпендикулярных плоскостях, а также вогнутое торическое зеркало коллимирующей системы в виде двух последовательно расположенных вогнутых зеркал 9, 10, наклоненных во взаимно перпендикулярных плоскостях. При условии равенства фокальных расстояний фокусирующей системы в меридиональной плоскости и коллимирующей системы в сагиттальной плоскости, а также коллимирующей системы в меридиональной плоскости и фокусирующей системы в сагиттальной плоскости, при равенстве углов наклона зеркал к оптической оси, радиусы зеркал коллимирующей системы определяются из соотношений:
+ = +
+ = + где R1, R2 - радиусы вогнутых зеркал 7, 8 фокусирующей системы соответственно, выбираемые из условия положения меридиональной и сагиттальной фокалей;
ϕ - угол наклона зеркал к оптической оси;
L - расстояние между зеркалами 7-10 оптической оси,
R3, R4 - радиусы вогнутых зеркал коллимирующей системы 9, 10 соответственно, находимые из соотношений.
Первое зеркало 7 фокусирующей системы и второе зеркало 10 коллимирующей системы наклонены в вертикальной плоскости под углом 45оC к прямой ОО', проходящей через их центры. Центры зеркал 8, 9 находятся в вертикальной плоскости. Прямая, проходящая через центры первого 7 и второго 8 зеркал фокусирующей системы, а также прямая, проходящая через центры первого 9 и второго 10 зеркал коллимирующей системы, перпендикулярна прямой ОО, проходящей через центры зеркал 7, 10. Первое зеркало 7 фокусирующей системы и второе зеркало 10 коллимирующей системы ориентированы отражающими поверхностями к зеркалам 8, 9 своих систем. Второе зеркало 8 фокусирующей системы и первое зеркало 9 коллимирующей системы ориентированы отражающей поверхностью в противоположные стороны и к первому 7 и второму 10 зеркалам своих систем. Второе зеркало 8 фокусирующей системы наклонено к прямой, проходящей через центры зеркал 7, 8 под углом 45о в плоскости, перпендикулярной плоскости наклона зеркала 7. Первое зеркало 9 коллимирующей системы наклонено к прямой, проходящей через центры зеркал 9, 10 под углом 45о в плоскости, перпендикулярной плоскости наклона зеркала 10. Сумма углов наклона этих зеркал равна 90о.
Между фокусирующей системой 7, 8 и селектирующей диафрагмой 11, 12 расположена отражающая система 13, 14. Между селектирующей диафрагмой 11, 12 и коллимирующей системой 9, 10 расположена отражающая система 15, 16. Отражающая система 13, 14 и 15, 16 выполнена в виде двух двугранных уголковых отражателей с перпендикулярно ориентированными ребрами. Один из уголковых отражателей 14 (16) находится напротив одной из граней 13 (15) второго уголкового отражателя 13 (15) и расположен ближе к фокусирующей 7, 8 и коллимирующей 9, 10 системам и селектирующей диафрагме 11, 12, чем второй уголковый отражатель 13 (15). При этом другая грань второго уголкового отражателя 13 (15) находится напротив селектирующей диафрагмы 11, 12 и фокусирующей 7, 8 или коллимирующей 9, 10 систем.
Селектирующая диафрагма состоит из двух частей 11, 12, выполненных в виде щелей, расположенных в меридиональной и сагиттальной фокусах, фокусирующей системы 7, 8, параллельно направлению наибольшего размера сечения лазерного пучка в фокусах. На фиг. 3 щель выполнена из двух дисков 17, 18, оси которых АА' и ВВ' перпендикулярны оптической оси О''. Каждый диск соединен с приводом вращения 19 вокруг его оси АА' или ВВ'.
Боковая поверхность Д, М дисков 17, 18 выполнена в виде поверхности вращения эллиптической образующей вокруг их осей АА' и ВВ'. Центр эллипса эллиптической образующей в плоскости, проходящей через оси дисков АА' и ВВ', находится между дисками на оптической О". Эллиптическая щель ограничивает угловое распределение излучения по заданному уровню расходимости. Большая ось эллипса, расположенная вдоль фокальной линии лазерного пучка, и малая ось эллипса, перпендикулярная фокальной линии лазерного пучка, определяется соотношениями:
2a = Δ + θf
2b = θf
Δ= (fs- fm) где 2а - большая ось эллипса;
2b - малая ось эллипса;
Δ - длина фокальной линии в геометрическом приближении;
fs - сагиттальное фокусное расстояние фокусирующей и отражающей системы;
fm - меридиональное фокусное расстояние фокусирующей и отражающей системы;
f - фокусное расстояние фокусирующей и отражающей системы для данной фокали (меридиональной или сагиттальной);
D - размер лазерного пучка на входе в фокусирующую систему в направлении длины данной фокали.
θ - селектируемый угол расходимости лазерного пучка.
Работает угловой селектор (см.фиг.1) следующим образом.
Угловой селектор ориентируют так, чтобы селектируемый параллельный пучок лазерного излучения падал вдоль оптической оси ОО' на вогнутое торическое зеркало 1. Вогнутое зеркало 1 с заданным астигматизмом подфокусируют и отражает падающий пучок на выпуклое зеркало 5 отражающей системы. Выпуклое зеркало 5 уменьшает сходимость пучка и направляет, фокусируя сходящийся астигматичный пучок в щели селектирующей диафрагмы 3, 4. Щели селектирующей диафрагмы ограничивают (селектируют) угловое распределение излучения в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Прошедший селектирующую диафрагму пучок расширяется и попадает на выпуклое зеркало 6 отражающей системы. Выпуклое зеркало 6 увеличивает расходимость пучка и направляет его на вогнутое торическое зеркало 2 коллимирующей системы. Зеркало 2 исправляет астигматизм пучка, коллимирует его и отражает в том же направлении, в котором он падал на зеркало 1 углового селектора.
Угловой селектор по фиг.2, 3 работает следующим образом. Угловой селектор ориентируют так, чтобы селектируемый параллельный пучок лазерного излучения падал вдоль оптической оси ОО' на вогнутое зеркало 7, наклоненное к оптической оси на 45о. Вогнутое зеркало 7 подфокусирует и отражает с астигматизмом падающий пучок на вогнутое зеркало 8. Вогнутое зеркало 8 также наклонено к оптической оси на 45о в плоскости, перпендикулярной плоскости наклона зеркала 7. Вогнутое зеркало 8 корректирует астигматизм пучка до заданной величины и отражает сходящийся астигматичный пучок на верхнюю грань уголкового отражателя 13. Верхняя грань отражает пучок на нижнюю грань 13, которая отражает пучок параллельно пучку, падающему на верхнюю грань, на левую грань уголкового отражателя 14. В уголковом отражателе 14 пучок отражается от левой грани на правую грань и направляется параллельно падающему на левую грань пучку на нижнюю грань уголкового отражателя 13. В уголковом отражателе 13 пучок отражается от нижней грани на верхнюю грань и фокусируется параллельно падающему пучку в щели селектирующей диафрагмы 11, 12. Диски щелей селектирующей диафрагмы соединены с приводами вращения 19 и вращаются вокруг своих осей. Щели селектирующей диафрагмы ограничивают угловое распределение излучения по заданному уровню расходимости в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Прошедший селектирующую диафрагму пучок расширяется и попадает на верхнюю грань уголкового отражателя 15, где между уголковыми отражателями 15, 16 совершает те же проходы, что и между уголковыми отражателями 13, 14, После последнего отражения от уголкового отражателя 15 пучок направляется параллельно падающему пучку на вогнутое зеркало 9 коллимирующей системы 9, 10. Вогнутое зеркало, наклоненное к оптической оси на 45о, корректирует астигматизм пучка, уменьшает его расходимость и отражает его на вогнутое зеркало 10. Вогнутое зеркало 10, наклоненное к оптической оси на 45о в плоскости, перпендикулярной плоскости наклона вогнутого зеркала 9, исправляет астигматизм пучка и отражает параллельный пучок из углового селектора в том же направлении, в котором он падал на зеркало 7.
Изобретение позволяет уменьшить габариты устройства в направлении лазерного пучка, сохранить после угловой селекции направление лазерного пучка, уменьшить чувствительность устройства к разъюстировкам отражающих элементов, а также увеличить мощность селектируемого лазерного излучения. Его использование предпочтительно с лазерами непрерывного режима работы. Угловой селектор может быть использован как внутри резонатора для селекции поперечных мод, так и вне резонатора для угловой селекции лазерного излучения с целью получения равномерного прямоугольного распределения интенсивности в фокальном пятне.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ЛАЗЕР | 1992 |
|
RU2054217C1 |
РЕЗОНАТОР | 1993 |
|
RU2106048C1 |
РЕЗОНАТОР ЛАЗЕРА | 1987 |
|
SU1840638A1 |
Лазер | 1980 |
|
SU1817171A1 |
Оптическая система линейного развертывающего устройства | 1990 |
|
SU1784937A1 |
Углоизмерительный прибор | 2019 |
|
RU2713991C1 |
ДВУХПРОХОДНЫЙ НЕУСТОЙЧИВЫЙ ТЕЛЕСКОПИЧЕСКИЙ РЕЗОНАТОР ЛАЗЕРА | 1985 |
|
SU1840367A1 |
ОПТИЧЕСКИЙ РЕЗОНАТОР МОЩНОГО ЛАЗЕРА | 1991 |
|
RU2029421C1 |
УСИЛИТЕЛЬ | 2000 |
|
RU2176121C2 |
Спектроанализатор оптического излучения | 1983 |
|
SU1089431A1 |
Использование: в лазерной технике. Сущность изобретения: угловой селектор включает фокусирующую и коллимирующую системы, которые состоят из вогнутых торических зеркал, селективную диафрагму, а между фокусирующей системой и селективной диафрагмой расположены отражающие системы из зеркал. Угловой селектор уменьшает чувствительность к разъюстировке и увеличивает мощность лазерного излучения. 3 ил.
Лазер с плоским резонатором и угловым селектором | 1988 |
|
SU1582940A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1994-10-30—Публикация
1992-02-07—Подача