СПОСОБ ХИМИЧЕСКОГО МАТИРОВАНИЯ СТЕКЛА Российский патент 1994 года по МПК C03C15/00 

Изобретение относится к химии, преимущественно к способам обработки стекла, может быть использовано в полупроводниковой технологии, стекольной промышленности и т.д.

Известен способ химического матирования стекла, включающий обработку поверхности стекла пастой, включающей плавиковую кислоту, NH₄F˙HF, BaSO₄, H₂SO₄, CH₃COONa [1].

Недостатком известного способа является некачественная обработка поверхности стекла, заключающаяся в остатках на поверхности стекла загрязнений в виде продуктов реакции. Кроме того отмечается также неравномерное покрытие поверхности, а использование отмывочной ванны не обеспечивает необходимое удаление продуктов реакции.

Наиболее близким к изобретению является способ химического матирования стекла, включающий предварительную обработку в содовом растворе, матирование в растворе, содержащем (мас.ч.) плавиковую кислоту 40, NН₄F 100 и воду 100, нейтрализацию в растворе серной кислоты и отмывку в воде [2].

Недостатком способа-прототипа является невысокая производительность процессе матирования. Это несомненно сказывается и на качестве матирования.

Задачей изобретения является увеличение производительности процесса с сохранением качества матирования.

Изобретение заключается в том, что матирование ведут в растворе, включающем, об.%: фторид аммония 62,5-63,5, плавиковая кислота 37,5-36,5.

Выбор содержания фторида аммония в пределах 62,5-63,5 об.% обусловлен следующим. При содержании фторида аммония меньше 62,5 об.% процесс матирования вообще проходить не будет. Поверхность стекла остается прозрачной. При содержании фторида аммония больше 63,5 об.% процесс матирования проходит неравномерно, поверхность стекла покрывается белыми пятнами кремний фторида, что затрудняет доступ кислоты к поверхности стекла, а сама поверхность становится неоднородной. Повышение качества поверхности стекла иллюстрируется образованием мелкозернистой структуры, что вызвано появлением пирамидальной формы кристаллов, которые получаются в результате матирования (обработки) поверхности стекла указанным составом. Ухудшение качества поверхности подразумевает грубозернистую структуру, образуемую призматической или пластинчатой формами кристаллов. В результате применения нового состава улучшается качество обработки стекла, повышается производительность процесса матирования. Производительность процесса матирования по изобретению - 225 изделий/час.

Способ матирования реализуют следующим образом. Стеклянные изделия (пластины) предварительно обрабатывают в 10%-ном содовом растворе, затем промывают водой. После этого проводят собственно операцию матирования стекла - обработку его поверхности в смеси плавиковой кислоты и фторида аммония при соотношении компонентов, об.%: фторид аммония 62,5-63,5; плавиковая кислота 37,5-36,5; нейтрализацию проводят в 20%-ной серной кислоте. Завершают цикл обработкой поверхности стекла в 40%-ном содовом раствора и промывкой в воде. Положительный эффект от использования изобретения заключается в повышении производительности процесса химического матирования стекла с сохранением качества матирования.

Изобретение относится к химии, преимущественно к способам обработки стекла, и может быть использовано в полупроводниковой технологии, стекольной промышленности и т.д. Сущность: способ химического матирования стекла включает предварительную обработку в содовом растворе, матирование, нейтрализацию в растворе серной кислоты, отмывку в воде, при этом матирование проводят в смеси, содержащей фторид аммония и плавиковую кислоту, при соотношении компонентов, об. %: фторид аммония 62,5-63,5; плавиковая кислота 37,5-36,5. Использование изобретения химического матирования стекла увеличивает производительность процесса (до 225 изделий/час) с сохранением качества матирования.

СПОСОБ ХИМИЧЕСКОГО МАТИРОВАНИЯ СТЕКЛА, включающий обработку в содовом растворе, матирование в растворе, содержащем фторид аммония и плавиковую кислоту, нейтрализацию в растворе серной кислоты и ополаскивание в воде, отличающийся тем, что матирование ведут в растворе, включающем компоненты в следующем соотношении, об.%:
Фторид аммония 62,5 - 63,5
Плавиковая кислота 36,5 - 37,5