ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНАЯ ИНДИКАТОРНАЯ ПАНЕЛЬ, ВИДИМАЯ ПРИ СОЛНЕЧНОМ СВЕТЕ Российский патент 1999 года по МПК H05B33/22 

Эта заявка содержит объект изобретения, связанный с одновременно рассматриваемыми заявками одного и того же заявителя: Заявка, N 07/897210, поданная 11 июня, 1992 г. На "Термостойкую конструкцию электрода с низким сопротивлением для электролюминесцентных дисплеев"; заявка, N 07990991, зарегистрированная поверенным под номером N 1222, на "Видимый при солнечном свете тонкопленочный электролюминесцентный дисплей, имеющий классифицированный по размеру зерна слой светопоглощающего материала".

Область техники
Это изобретение относится к электролюминесцентым индикаторным панелям, в частности, с уменьшенным отражением света из внешней среды для улучшения видимости панелей при солнечном свете.

Известный уровень техники
Тонкопленочные электролюминесцентные индикаторные панели обладают рядом преимуществ в сравнении с другими типами индикаторов, такими как дисплеи на электронно-лучевых трубках (ЭЛТ) и жидкокристаллические дисплеи. По сравнению с дисплеями на ЭЛТ тонкопленочные электролюминесцентные индикаторные панели потребляют меньше энергии, обеспечивают большее поле зрения и имеют намного меньшую толщину. В сравнении с жидкокристаллическими дисплеями тонкопленочные электролюминесцентные индикаторные панели имеют большее поле зрения, не требуют дополнительного освещения и могут иметь большую площадь отображения.

На фиг. 1 показана известная тонкопленочная электролюминесцентрая индикаторная панель. Она содержит стеклянную панель 10, множество прозрачных электродов 12, первый слой диэлектрика 14, слой люминофора 16, второй слой диэлектрика 18 и множество металлических электродов 20, расположенных перпендикулярно к прозрачным электродам 12. Прозрачные электроды 12 обычно выполнены на основе индия-окиси олова, а металлические электроды 20 - из алюминия. Слои диэлектрика 14, 18 защищают слой люминофора 16 от избыточных постоянных токов. Когда электрический потенциал, например 200В, прикладывают между прозрачными электродами 12 и металлическими электродами 20, электроны движутся от одной из поверхностей раздела между слоями диэлектрика 14, 18 и слоем люминофора 16 в слой люминофора, где они быстро ускоряются. Обычно слой люминофора 16 содержит ZnS, легированный марганцем (Mn). Электроны, входящие в слой люминофора 16, возбуждают Mn, побуждая его испускать фотоны. Фотоны проходят через первый слой диэлектрика 14, прозрачные электроды 12 и стеклянную панель 10, образуя видимое изображение.

Хотя современные тонкопленочные электролюминесцентные дисплеи являются удовлетворительными для некоторых применений, однако более прогрессивные применения требуют использования индикаторных панелей с более высокой яркостью и более высокой контрастностью, большим размером и видимых при солнечном свете. Для достижения соответствующей контрастности индикаторной панели в условиях яркого освещения внешней среды используют фильтр - круговой поляризатор, который уменьшает внешний отраженный свет. Хотя при этом можно обеспечить умеренную контрастность в условиях умеренного освещения, однако такое решение имеет ряд недостатков, в том числе высокую стоимость и максимальное пропускание света примерно 37%.

Сущность изобретения
Задачей настоящего изобретения является создание дисплея, видимого при солнечном свете, позволяющего уменьшить отражения внешнего света и увеличить контрастность тонкопленочного электролюминесцентного дисплея.

Задачей настоящего изобретения является также создание большого тонкопленочного электролюминесцентного дисплея с улучшенной контрастностью, а также с высоким разрешением и с улучшенной контрастностью.

Указанный технический результат согласно настоящему изобретению обеспечивается тем, что в слоистую конструкцию тонкопленочной электролюминесцентной индикаторной панели, имеющей прозрачные электроды, включены затемненные задние электроды для поглощения света и увеличения контрастности дисплея.

Настоящее изобретение обеспечивает создание тонкопленочной электролюминесцентной индикаторной панели, которую можно комфортно обозревать при прямых лучах солнечного света. Другой особенностью настоящего изобретения является то, что благодаря применению затемненных задних электродов для поглощения света в тонкопленочном электролюминесцентном дисплее, имеющем электроды с низким сопротивлением (которые обеспечивают возбуждение отображающих элементов дисплея с более высокой скоростью), стало возможным создание индикаторных панелей значительно больших размеров и с улучшенной контрастностью, например, размером более тридцати шести дюймов (914 мм).

Эти и другие цели, отличительные признаки и преимущества настоящего изобретения станут более понятными из последующего подробного описания конкретных примеров его выполнения, иллюстрируемых чертежами.

Краткое описание чертежей
Фиг. 1 - вид в разрезе известного тонкопленочного электролюминесцентного дисплея;
Фиг. 2 - вид в разрезе тонкопленочного электролюминесцентного дисплея, имеющего затемненные металлические электроды, поглощающие свет; и прозрачные электроды с низким сопротивлением;
Фиг. 3 - вид в разрезе по линии А - А панели тонкопленочного электролюминесцентного дисплея, показанной на фиг. 2, имеющей затемненные задние электроды и прозрачные электроды с низким сопротивлением;
Фиг. 4 - вид в разрезе в увеличенном масштабе одной дорожки окиси индия-олова и связанной с ней металлической вспомогательной структуры, показанной на фиг.2.

Предпочтительные примеры осуществления изобретения
В одном варианте исполнения в панель электролюминесцентного дисплея включен светопоглощающий слой темного материала для уменьшения отражения окружающего света, падающего на индикаторную панель.

Как показано на фиг.2, вспомогательная металлическая структура 22 находится в электрическом контакте с прозрачным электродом 12 и проходит по всей длине электрода 12. Металлическая вспомогательная структура 22 может включать в себя один или несколько слоев электропроводящего материала, совместимого с прозрачным электродом 12 и другими структурами в панели тонкопленочного электролюминесцентного дисплея. Для уменьшения величины площади, пропускающей свет, покрытой металлической вспомогательной структурой 22, последняя должна закрывать только небольшую часть прозрачного электрода 12. Например, металлическая вспомогательная структура 22 может закрывать примерно 10% или меньше площади прозрачного электрода 12. Таким образом, для типичного прозрачного электрода 12, который имеет толщину примерно 250 мкм (10 мил), металлическая вспомогательная структура 22 должна перекрывать прозрачный электрод примерно на 25 мкм (1 мил) или меньше. Предпочтительны такие малые перекрытия, как, например, примерно от 6 мкм (0,25 мил) до примерно 13 мкм (0,5 мил). Хотя металлическая вспомогательная структура 22 должна перекрывать прозрачный электрод 12 по возможности в меньшей степени, однако металлическая вспомогательная структура должна быть по возможности широкой для уменьшения электрического сопротивления. Например, может потребоваться металлическая вспомогательная структура 22, которая имеет ширину примерно 50 мкм (2 мил) - 75 мкм (3 мил). Требования к этим двум расчетным параметрам могут быть удовлетворены, если металлическая вспомогательная конструкция 22 будет перекрывать стеклянную панель 10, а также прозрачный электрод 12. При современных способах изготовления толщина металлической вспомогательной структуры 22 должна быть равна или меньше толщины первого слоя диэлектрика 16 для обеспечения того, чтобы первый слой диэлектрика 16 адекватно закрывал прозрачный электрод 12 и металлическую вспомогательную структуру. Например, металлическая вспомогательная структура может иметь толщину меньше, чем примерно 250 нм. Предпочтительно металлическая вспомогательная структура 22 должна иметь толщину меньше, чем примерно 200 нм, например, от 150 до 200 нм. Однако при дальнейшем совершенствовании способа изготовления может оказаться более практичным изготавливать более толстые металлические вспомогательные структуры 22, чем первый слой диэлектрика 16.

Тонкопленочная электролюминесцентная индикаторная панель также включает в себя множество затемненных задних электродов 24 для уменьшения количества отраженного окружающего света от панели и, следовательно, улучшения контрастности табло. Как показано на фиг.3, тонкопленочная электролюминесцентная индикаторная панель в соответствии с настоящим изобретением включает в себя множество затемненных задних электродов 24. Фиг.3 - вид в разрезе в плоскости А - А индикаторной панели, представленной на фиг.2. Предпочтительно задние электроды 24 изготовлены из алюминия, причем они затемнены посредством окисления для достижения требуемых свойств поглощения света.

Затемненные алюминиевые электроды 24 можно изготовить путем высокочастотного напыления в атмосфере газа аргона. Подмешивание кислорода на ранних стадиях напыления слоя алюминия для образования задних электродов будет окислять (т. е. затемнять) часть алюминия в контакте с вторым слоем диэлектрика 18. Остальная часть алюминия, без затемнения, осаждается обычным способом без ввода кислорода. Толщина окисленного слоя может изменяться в функции требуемых характеристик поглощения света. Однако обычно окисленная часть задних электродов составляет относительно небольшой процент общей толщины заднего электрода и, следовательно, оказывает незначительное влияние на общее сопротивление каждого заднего электрода. Например, когда окисленный слой составляет 10% общей толщины задних электродов, общее сопротивление заднего электрода будет увеличиваться только примерно на 11% (например, С 126 Ом до ~ 140 Ом), если использованы следующие параметры:
Длина заднего электрода = 4,7 дюймов (118 мм)
Ширина заднего электрода = 0,010'' (0,25 мм)
Толщина заднего электрода = 1000
Толщина окисления = 100
Удельное сопротивление алюминия = 0,269 Ом/кв (1000 А)
Для исключения полосчатого представления, которое может возникнуть из-за отражения окружающего света от стеклянной панели 10, на панель между задними электродами 24 наносят черное эпоксидное покрытие 37. Отражательная способность и цвет эпоксидного покрытия 37 должны точно соответствовать темной анодированной поверхности затемненных электродов 24 для обеспечения равномерно темного отображения.

Предпочтительно темный материал должен иметь удельное сопротивление по крайней мере 10⁸ Ом/см. Слой темного материала 24 должен также иметь диэлектрическую постоянную, которая по меньшей мере равна или больше диэлектрической постоянной второго диэлектрика 18, причем он предпочтительно имеет диэлектрическую постоянную больше семи. Для получения диффузного отражения меньше чем 0,5% темный материал должен также иметь коэффициент поглощения света примерно 10⁵/см.

На Фиг. 4 показано конкретное выполнение металлической вспомогательной структуры 22, которая представляет собой многослойную конструкцию, состоящую из слоя клея 26, первого слоя 28 тугоплавкого металла, основного слоя проводника 30 и второго слоя 32 тугоплавкого металла. Слой клея 26 способствует связи металлической вспомогательной структуры 22 со стеклянной панелью 10 и прозрачным электродом 12. Он может включать в себя любой электропроводящий металл или сплав, который может связываться со стеклянной панелью 10, прозрачным электродом 12 и первым слоем 28 тугоплавкого металла без создания напряжений, которые могут заставить слой 26 клея или любые другие слои отслаиваться от этих конструкций. Соответствующие металлы включают в себя Cr, V и Ti. Предпочтительным является хром, поскольку он легко испаряется и обеспечивает хорошее сцепление. Предпочтительно слой 26 клея будет иметь только такую толщину, которая необходима для обеспечения устойчивой связи между структурами, с которыми он соприкасается. Например, слой 26 клея может иметь толщину примерно 10 - 20 нм. Если первый слой 28 тугоплавкого металла может образовывать стабильную связь со стеклянной панелью 10 и прозрачным электродом 12 при низких напряжениях, то, возможно, слой 26 клея не потребуется. В этом случае металлическая вспомогательная структура 22 может иметь только три слоя: два слоя тугоплавкого металла 28, 32 и основной проводящий слой 30.

Слои тугоплавких металлов 28, 32 защищают слой основного проводника 30 от окисления и препятствуют диффузии слоя основного проводника в первый слой диэлектрика 14 и слой люминофора 16, когда табло подвергают отжигу для активации слоя люминофора, как будет описано. Таким образом, слои тугоплавкого металла 28, 32 должны включать в себя металл или сплав, который является устойчивым при температуре отжига, может препятствовать проникновению кислорода из слоя основного проводника 30, диффузии слоя основного проводника 30 в первый слой диэлектрика 14 или слой люминофора 16. Соответствующие металлы включают в себя W, Mo, Ta, Rh и OS. Оба слоя тугоплавких металлов 28, 32 могут быть толщиной до примерно 50 нм. Поскольку удельное сопротивление слоя тугоплавкого металла может быть выше удельного сопротивления основного проводника 30, то слои 28, 32 тугоплавких металлов должны быть по возможности тонкими, чтобы слой основного проводника 30 имел наибольшую возможную толщину. Предпочтительно слои тугоплавкого металла 28, 32 имеют толщину примерно 20 - 40 нм.

Слой 30 основного проводника проводит большую часть тока через металлическую вспомогательную структуру 22. Он может состоять из любого высокопроводящего металла или сплава, например Al, Cu, Ag или Au. Предпочтителен алюминий из-за его высокой проводимости, низкой стоимости и совместимости с обработкой последнего. Слой 30 основного проводника должен быть по возможности толстым для максимизации проводимости металлической вспомогательной структуры 22. Его толщина ограничена общей толщиной металлической вспомогательной структуры 22 и толщиной других слоев. Например, слой 30 основного проводника может иметь толщину примерно до 200 нм. Предпочтительно слой 30 основного проводника имеет толщину примерно 50 - 180 нм.

Тонкопленочную электролюминесцентную индикаторную панель в соответствии с настоящим изобретением можно изготовить любым способом, который позволяет получить требуемые структуры. Прозрачные электроды 12, слои диэлектрика 14, 18, слой люминофора 16 и металлические электроды 20 могут изготавливаться известными способами. Металлическую вспомогательную структуру 22 можно изготовить способом обратного травления, выемки слоя или любым другим подходящим способом.

Первой стадией в изготовлении тонкопленочной электролюминесцентной индикаторной панели, подобной показанной на фиг.2, является осаждение слоя прозрачного проводника на соответствующую стеклянную панель 10. Стеклянная панель может быть из любого жаропрочного стекла, которое может выдержать стадию отжига люминофора, которая будет описана. Стеклянная панель может изготавливаться из боросиликатного стекла, например, марки Corning 7059 (Corning Glass works. Corning Нью-Йорк). Прозрачный проводник можно изготовить из любого соответствующего материала, который является электропроводящим и имеет достаточную оптическую прозрачность для требуемого применения. Например, прозрачный проводник может быть из индия-окиси олова (ITO), полупроводник из переходного металла, который содержит примерно 10% мольных I_n, является электрически проводящим и имеет оптическую прозрачность примерно 85% при толщине примерно 200 нм. Прозрачный проводник может быть любой соответствующей толщины, которая полностью закрывает стекло и обеспечивает требуемую проводимость. Стеклянные панели с нанесенным слоем индия-окиси олова поставляются фирмой Donnelly Corp (Holland, MI). Остальная часть способа изготовления тонкопленочного электролюминесцентного табло в соответствии с настоящим изобретением будет описана в контексте применения индия-окиси олова для прозрачных электродов. Специалисту в данной области техники должно быть ясно, что способ изготовления другого прозрачного проводника будет тем же самым.

Электроды 12 на основе индия-окиси олова можно образовать в слое индия-окиси олова известным способом обратного травления или любым другим соответствующим способом. Например, части слоя 1ТО, из которых будут получены электроды 12, можно очистить и покрыть маской, стойкой к травителю. Маску, стойкую к травителю, можно изготовить путем нанесения соответствующего фоторезистивного реактива на слой индия-окиси олова, выдержки фоторезистивного реактива при соответствующей длине волны света и проявления фоторезистивного реактива. Фоторезистивный реактив, который содержит 2-этоксиэтилацетат, п-бутилацетат, ксилен и ксилол в качестве основных ингредиентов, может быть использован при изготовлении устройства, соответствующего настоящему изобретению. Примером такого фоторезистивного реактива является AZ 4210 Photoresist компании Hoeshst Celanese Corp. (Сомервилль, Нью-Джерси). Соответствующим проявителем, совместимым с фоторезистивным реактивом AZ 4210 Photoresist, является проявитель AZ Develоper, выпускаемый той же компанией. Другие коммерческие доступные фоторезистивные реактивы и проявители также могут быть использованы при осуществлении настоящего изобретения. Не защищенные маской части слоя индия-окиси олова удаляют соответствующим травителем для образования каналов в слое индия-окиси олова, которые определяют стороны электродов 12 на основе индия-окиси олова. Травитель должен обеспечивать удаление незащищенных участков слоя индия-окиси олова без повреждения защищенного маской слоя индия-окиси олова или стекла под незащищенным слоем индия-окиси олова. Соответствующий травитель для индия-окиси олова можно приготовить путем смешения примерно 1000 мл Н₂О, ~ 2000 мл HCl и ~ 370 г безводного FeCl₃. Этот травитель является эффективным, когда его применяют при температуре примерно 55^oC. Время, необходимое для удаления незащищенного слоя индия-окиси олова, зависит от толщины слоя индия-окиси олова. Например, слой индия-окиси олова толщиной 300 нм можно удалить примерно за 2 минуты. Стороны электродов 12 на основе индия-окиси олова должны быть скошены, как показано на чертежах, чтобы первый слой диэлектрика 14 мог соответственно покрывать электроды на основе индия-окиси олова. Размер и расстояние между электродами 12 на основе индия-окиси олова зависят от размеров тонкопленочной электролюминесцентной панели. Например, типичная индикаторная панель размерами 12,7 см х 17,8 см может содержать электроды 12 на основе индия-окиси олова, которые имеют толщину примерно 30 нм, ширину примерно 250 мкм (10 мил) и разнесены на расстоянии примерно 125 мкм (5 мил). После травления маску, стойкую к травителю, удаляют соответствующей смывкой, например, содержащей гидроокись тетраметиламмония. Смывка марки AZ 400T Photoresist Stripper (компания Holchst Celanese Corp.) является коммерчески доступным продуктом, совместимым с фоторезистивным реактивом AZ 4210. Другие коммерчески доступные смывки также могут быть использованы при осуществлении настоящего изобретения.

После изготовления электродов 12 на основе индия-окиси олова слои металлов, которые будут образовывать металлическую вспомогательную структуру, осаждают на электроды на основе индия-окиси олова любым соответствующим способом для образования слоев одинакового состава и с одинаковым сопротивлением. Соответствующие способы включают в себя распыление и термическое испарение. Предпочтительно все слои металлов будут осаждать за один цикл для ускорения образования связи за счет исключения окисления или загрязнения поверхностей раздела металлов. Можно применять электронно-лучевую установку для испарения, например, модели VES-2250 компании Airco Tenescal (Беркли, Калифорния) или любую соответствующую установку, позволяющую применять три или больше источников металла. Слои металлов следует осаждать на требуемую толщину по всей поверхности панели в том порядке, в котором они располагаются смежно со слоем индия-окиси олова.

Металлические вспомогательные структуры 22 можно образовать в слоях металлов любым соответствующим способом, включая обратное травление. Части слоев металлов, которые будут образовывать металлические вспомогательные структуры 22, можно закрыть устойчивой к травителю маской, изготовленной из коммерчески доступного фоторезистивного реактива известными способами. Для металлических вспомогательных структур 22 можно применять те же способы и реактивы, которые используют для маскирования индия-окиси олова (1ТО). Незащищенные участки металлических слоев удаляют рядом травителей в порядке, противоположном порядке, в котором их осаждали. Травители должны обеспечивать удаление единственного незащищенного слоя металла без повреждения любого другого слоя на панели. Соответствующий травитель для W можно приготовить путем смешения примерно 400 мл Н₂О, около 5 мл 30 мас.% - раствора Н₂О₂, примерно 3 г КН₂РО₄ и приблизительно 2 г КОН. Этот травитель, который является особенно эффективным при температуре примерно 40^oC, может удалить примерно 40 нм слоя тугоплавкого металла W приблизительно за 30 секунд. Соответствующий травитель для Al можно приготовить путем смешения примерно 25 мл Н₂О, 160 мл Н₃РО₄, 10 мл НNO₃ и примерно 6 мл СН₃СOOH. Этот травитель, который является эффективным при комнатной температуре, может удалить примерно 120 нм слоя основного проводника из алюминия примерно за 3 минуты.

Для слоя хрома можно применять коммерчески доступный травитель, который содержит HClO₄ Се(NH₄)₂(NО₃)₆. Травитель CR-7 Photomask (компания Cyantek Corp. Фремонт, Калифорния) является травителем для хрома, который может быть использован при осуществлении настоящего изобретения. Этот травитель особенно эффективен при температуре примерно 40^oC. Другие травители для Cr, имеющиеся в продаже, также могут быть использованы при осуществлении настоящего изобретения. Как и с электродами 12 на основе индия-окиси олова, стороны металлических вспомогательных конструкций 22 должны быть скошены для обеспечения соответствующего покрытия.

Слои диэлектрика 14, 18 и слой люминофора 16 можно нанести на линии 12 из индия-окиси олова и металлические вспомогательные структуры 22 любым соответствующим известным способом, включая напыление или термическое испарение. Оба слоя диэлектрика 14, 18 могут быть любой соответствующей толщины, например, от примерно 80 нм до примерно 250 нм и могут содержать любой диэлектрик, способный действовать в качестве кондненсатора для защиты слоя люминофора от чрезмерных токов. Предпочтительно слои диэлектрика 14, 18 будут иметь толщину примерно 200 нм и будут содержать SiON. В качестве слоя люминофора 16 может быть любой известный люминофор для тонкопленочной электролюминесцентной панели, например ZnS, легированный марганцем в количестве меньше, чем 1%, причем он может быть любой соответствующей толщины. Предпочтительно слой люминофора 16 будет иметь толщину примерно 500 нм. После нанесения этих слоев панель следует нагревать в течение 1 часа при температуре примерно 500^oC для отжига люминофора. Отжиг побуждает атомы марганца к миграции в узлы Zn в решетке ZnS, в которых они могут испускать протоны при возбуждении.

После отжига слоя люминофора 16 образуют затемненные металлические электроды 24 на втором слое 18 диэлектрика. Металлические электроды 20 могут быть изготовлены из любого высокопроводящего металла, например алюминия. Как и с электродами 12 на основе индия-окиси олова, размер и разнесение затемненных металлических электродов 24 зависят от размеров индикаторной панели. Например, типичная тонкопленочная электролюминесцентная панель размерами 12,7 см х 17,8 см может содержать металлические электроды 20, которые имеют толщину примерно 100 нм, ширину ~ 250 нм (10 мил) и разнесены примерно на 125 мкм (5 мил).

Помимо вариантов исполнения, показанных на фиг. 2-4, тонкопленочное электролюминесцентное табло в соответствии с настоящим изобретением может иметь другую конфигурацию, которая будет обеспечивать преимущества за счет комбинации электродов с низким сопротивлением и затемненных задних электродов для поглощения света.

В сравнении с известными техническими решениями настоящее изобретение обеспечивает несколько преимуществ. Например, комбинация электродов с низким сопротивлением и затемненных задних электродов делает тонкопленочные электролюминесцентные индикаторные панели всех размеров обеспечивать более высокую контрастность и высокую яркость за счет повышенной скорости восстановления. Это делает возможным изготовление больших тонкопленочных электролюминесцентных индикаторных панелей, например, размерами примерно 91 см х 91 см, поскольку электроды с низким сопротивлением могут обеспечить подачу достаточного тока ко всем частям панели для достижения равномерной яркости на протяжении всей панели, при этом затемненные электроды уменьшают отражение окружающего света для улучшения контрастности панели. Конструкция с электродами, имеющими низкое сопротивление, и с затемненными задними электродами может быть принципиально необходимой для достижения достаточной контрастности в тонкопленочной электролюминесцентной индикаторной панели в условиях прямого освещения солнечным светом.

Хотя изобретение было описано и показано на примере его конкретного исполнения, однако специалисту в данной области должно быть ясно, что в объеме изобретения возможны различные другие изменения, исключения и дополнения.

Сущность: тонкопленочная электролюминесцентная индикаторная панель переменного тока включает в себя металлическую вспомогательную структуру, образованную на каждом прозрачном электроде и находящуюся в электрическом контакте с ним, и затемненные задние электроды для поглощения света, которые совместно обеспечивают возможность наблюдения изображения на панели в условиях освещенности солнечным светом. Технический результат изобретения - создание большого тонкопленочного дисплея с улучшенной контрастностью, а также с высоким разрешением. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

1. Электролюминесцентная индикаторная панель, видимая при солнечном свете, включающая в себя стеклянную подложку, множество параллельных прозрачных электродов, нанесенных на указанную стеклянную подложку, причем каждый прозрачный электрод имеет металлическую вспомогательную структуру, сформированную на нем и находящуюся в электрическом контакте с частью прозрачных электродов, первый диэлектрический слой, нанесенный на множество прозрачных электродов, слой люминофора, нанесенный на первый диэлектрический слой, второй диэлектрический слой, нанесенный на слой люминофора и множество металлических электродов, каждый из которых расположен параллельно на втором диэлектрическом слое, причем каждый из указанных металлических электродов дополнительно включает в себя токопроводящую часть и слой темного светопоглощающего вещества, составляющий около 10% общей толщины связанного с ним металлического электрода, отличающаяся тем, что указанное светопоглощающее вещество расположено между указанным вторым диэлектрическим слоем и указанной токопроводящей частью указанного электрода. 2. Панель по п.1, отличающаяся тем, что каждый из множества металлических электродов изготовлен из алюминия, а каждый из указанных слоев светопоглощающего темного вещества содержит окись алюминия. 3. Панель по п.1, отличающаяся тем, что каждый из указанного множества металлических электродов имеет общую толщину около 1000 , из которых около 100 ангстрем приходится на толщину светопоглощающего темного слоя. 4. Панель по п.2, отличающаяся тем, что дополнительно содержит слой черного эпоксидного покрытия, образованного на каждом из множества металлических электродов и на открытых участках второго диэлектрического слоя. 5. Панель по п.4, отличающаяся тем, что продольные кромки металлической вспомогательной структуры скошены. 6. Панель по п.5, отличающаяся тем, что металлическая вспомогательная структура дополнительно содержит слой клея между первым слоем тугоплавкого металла и прозрачным электродом, причем указанный слой клея способен связываться с прозрачным электродом и первым слоем тугоплавкого металла.