Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть).
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ | 2008 |
|
RU2395619C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2008 |
|
RU2395620C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФРАКТАЛОПОДОБНЫХ СТРУКТУР И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2000 |
|
RU2180160C1 |
ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ | 2002 |
|
RU2215313C1 |
ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ОТРИЦАТЕЛЬНЫХ АТОМАРНЫХ ИОНОВ | 1994 |
|
RU2076384C1 |
ЗЕРКАЛЬНО-ЛИНЗОВЫЙ ОБЪЕКТИВ (ВАРИАНТЫ) | 2002 |
|
RU2212695C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА ИЗЛУЧЕНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2008 |
|
RU2370002C1 |
ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ | 2001 |
|
RU2197031C2 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ СПЕКТРА ФЛУКТУАЦИЙ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ТУРБУЛЕНТНОЙ СРЕДЫ | 2001 |
|
RU2216009C2 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТОЯНИЯ ЗАМИРАНИЯ АТМОСФЕРЫ | 2001 |
|
RU2194290C1 |
Изобретение относится к физике плазмы, преимущественно к физике и технике моделирования высокоскоростных потоков микрочастиц, и может быть использовано, в частности, при имитации воздействия на поверхность оптических и конструкционных материалов космического приборостроения потоков микрометеоритов и мелкодисперсных частиц антропогенного загрязнения космического пространства на низких околоземных орбитах. В способе получения потока микрочастиц при высокотемпературной эрозии плазмообразующего материала в импульсном струйном диафрагменном разряде в вакууме, струйный диафрагменный разряд формируют в магнитогазодинамическом (МГД) режиме течения струй плазмы на межэлектродном промежутке при условии jомгд<jo<jоразр, где jомгд - плотность тока в отверстии диафрагмы, соответствующая переходу течения плазмы струй в магнитогазодинамический режим, A/см2; jo=i/πro 2, A/см2; i - величина тока разряда, A; ro - радиус отверстия диафрагмы, см; jоразр - плотность тока в отверстии диафрагмы, соответствующая пределу механической прочности σразр материала диафрагмы, A/см2; микрочастицы общей массой mΣ получают при выполнении условия Δh0≥ΔH*, где Δho - удельная энтальпия на оси в отверстии диафрагмы, Дж/г; ΔH* - удельная теплота разрушения (абляции) материала диафрагмы, Дж/г; mΣ определяют из соотношения mΣ ≈ ωtимп[r], где ω - средняя скорость уноса массы материала диафрагмы, г/с; tимп - длительность импульса тока разряда, c; при скорости микрочастиц Vчаст (rчаст) за кольцевым электродом, найденной из соотношения , где Сх - коэффициент, учитывающий форму частиц; Vструи - скорость струи плазмы у кольцевого электрода, м/с; tвзаим - время взаимодействия частицы с потоком плазмы в магнитогазодинамическом режиме разряда, c; ρструи - плотность потока плазмы, г/см3; ρчастиц - плотность частицы, г/см3; rчаст - размер микрочастиц, м. Устройство для получения потока микрочастиц включает герметичную разрядную камеру с источником электропитания, газовакуумной системой, кольцевыми электродами, с установленной на оси кольцевых электродов диафрагмой толщиной 2lo из плазмообразующего материала с отверстием диаметром 2ro. В качестве источника питания установлен генератор импульсных токов МГД режима струйного диафрагменного разряда с величиной i(t), удовлетворяющей условию Рмагн>Pкр, где Рмагн= (80π)-1 (0,2 i/ro)2 - давление, обусловленное магнитным полем тока разряда, Па;
Ркр=[0,14 i1,34 (2lo)0,93]/[ro 2,95 (1+ro/2lo)0,67]
- газовое давление в критическом сечении, Па, а диафрагма выполнена из плазмообразующего материала. Технический результат - стабильное получение высокоскоростных потоков устойчивых микрочастиц различного химического состава размером от 0,1 до 900 мкм. 2 с. и 5 з.п. ф-лы, 2 ил.
jомгд < jo < jоразр,
где jомгд - плотность тока в отверстии диафрагмы, соответствующая переходу течения струй плазмы в магнитогазодинамический режим, А/см2;
jo=i/πr
где i - величина тока разряда, A;
ro - радиус отверстия диафрагмы, см;
jоразр - плотность тока в отверстии диафрагмы, соответствующая пределу механической прочности σразр материала диафрагмы, A/см2;
микрочастицы общей массой mΣ получают при выполнении условия
Δho ≥ ΔH*,
где Δho - удельная энтальпия на оси в отверстии диафрагмы, Дж/г;
ΔH* - удельная теплота разрушения (абляции) материала диафрагмы, Дж/г;
mΣ определяют из соотношения
mΣ≈ω tимп [г],
где ω - средняя скорость уноса массы материала диафрагмы, г/с;
tимп - длительность импульса тока разряда, c;
при скорости микрочастиц Vчаст (rчаст) у кольцевого электрода, найденной из соотношения
Vчастиц (rчаст)≈[Cx V
где Сх - коэффициент, учитывающий форму частиц;
Vструи - скорость струи плазмы у кольцевого электрода, м/с;
tвзаим - время взаимодействия частицы с потоком плазмы в магнитогазодинамическом режиме разряда, c;
ρструи - плотность потока плазмы, г/см3;
ρчастиц - плотность частицы, г/см3;
rчаст - размер микрочастиц, м.
D>5L,
где L - межэлектродное расстояние, см.
2L<D1<5L,
электрического поля с напряженностью в k раз меньше напряженности электрического поля разрядного промежутка и согласованного с ним во времени.
tспад<tвдув,
где tспад=0,9imax /K,
где imax - амплитуда тока разряда, A;
tвдув=ro/Vрад - время радиального вдува микрочастиц размера rчаст=rmax из пограничного слоя у поверхности в отверстии диафрагмы в осевую зону [c],
где ro - радиус отверстия диафрагмы, см;
Vрад=ro Vкр ρкр/lo ρпогр - радиальная скорость микрочастиц, м/с,
где Vкр=724 i0,22/(0,9 ro)0,33 - скорость потока плазмы в критическом сечении, м/с;
ρкр - плотность потока плазмы в критическом сечении, г/см3;
2lo - толщина диафрагмы, см;
ρпогр - плотность вещества в пограничном слое, г/см3.
Pмагн>Pкр,
где Рмагн=(80 π)-1 (0,2i/ro)2 - давление, обусловленное магнитным полем тока разряда, Па;
Ркр=[0,14 i1,34 (2lo)0,98]/[ro 2,95 (1+ro/2lo)0,67] - давление в критическом сечении, Па;
а диафрагма выполнена из плазмообразующего материала.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФРАКТАЛОПОДОБНЫХ СТРУКТУР И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2000 |
|
RU2180160C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ | 1997 |
|
RU2116707C1 |
US 5593740 A, 14.01.1997 | |||
US 5382866 A, 17.01.1995 | |||
Нанесение покрытий напылением | |||
Теория, технология и оборудование | |||
Под ред | |||
Б.С | |||
Митина | |||
- М.: Металлургия, 1992, с.198-199. |
Авторы
Даты
2003-12-27—Публикация
2002-05-29—Подача