СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОТОКА МИКРОЧАСТИЦ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Российский патент 2003 года по МПК H05H1/00 H05H1/24 H05H1/42 

Описание патента на изобретение RU2220518C1

Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть).

Похожие патенты RU2220518C1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ 2008
  • Калашников Евгений Валентинович
RU2395619C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2008
  • Калашников Евгений Валентинович
RU2395620C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФРАКТАЛОПОДОБНЫХ СТРУКТУР И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2000
  • Калашников Е.В.
  • Рачкулик С.Н.
RU2180160C1
ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2002
  • Потапова Н.И.
  • Цветков А.Д.
RU2215313C1
ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ОТРИЦАТЕЛЬНЫХ АТОМАРНЫХ ИОНОВ 1994
  • Кудрявцев А.А.
  • Лазарюк С.Н.
  • Романенко В.А.
RU2076384C1
ЗЕРКАЛЬНО-ЛИНЗОВЫЙ ОБЪЕКТИВ (ВАРИАНТЫ) 2002
  • Потапова Н.И.
  • Стариков А.Д.
  • Цветков А.Д.
RU2212695C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА ИЗЛУЧЕНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2008
  • Бедрин Александр Геннадьевич
  • Миронов Иван Сергеевич
RU2370002C1
ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ 2001
  • Анисимова Т.Е.
  • Венглюк В.И.
  • Малинин А.Н.
  • Малинина Г.С.
RU2197031C2
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ СПЕКТРА ФЛУКТУАЦИЙ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ТУРБУЛЕНТНОЙ СРЕДЫ 2001
  • Шереметьева Т.А.
  • Филиппов Г.Н.
RU2216009C2
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТОЯНИЯ ЗАМИРАНИЯ АТМОСФЕРЫ 2001
  • Бородин В.Г.
  • Ильин В.В.
  • Ларионова Ю.В.
  • Осипов В.М.
RU2194290C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 220 518 C1

Реферат патента 2003 года СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОТОКА МИКРОЧАСТИЦ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Изобретение относится к физике плазмы, преимущественно к физике и технике моделирования высокоскоростных потоков микрочастиц, и может быть использовано, в частности, при имитации воздействия на поверхность оптических и конструкционных материалов космического приборостроения потоков микрометеоритов и мелкодисперсных частиц антропогенного загрязнения космического пространства на низких околоземных орбитах. В способе получения потока микрочастиц при высокотемпературной эрозии плазмообразующего материала в импульсном струйном диафрагменном разряде в вакууме, струйный диафрагменный разряд формируют в магнитогазодинамическом (МГД) режиме течения струй плазмы на межэлектродном промежутке при условии jомгд<jo<jоразр, где jомгд - плотность тока в отверстии диафрагмы, соответствующая переходу течения плазмы струй в магнитогазодинамический режим, A/см2; jo=i/πro2, A/см2; i - величина тока разряда, A; ro - радиус отверстия диафрагмы, см; jоразр - плотность тока в отверстии диафрагмы, соответствующая пределу механической прочности σразр материала диафрагмы, A/см2; микрочастицы общей массой mΣ получают при выполнении условия Δh0≥ΔH*, где Δho - удельная энтальпия на оси в отверстии диафрагмы, Дж/г; ΔH* - удельная теплота разрушения (абляции) материала диафрагмы, Дж/г; mΣ определяют из соотношения mΣ ≈ ωtимп[r], где ω - средняя скорость уноса массы материала диафрагмы, г/с; tимп - длительность импульса тока разряда, c; при скорости микрочастиц Vчаст (rчаст) за кольцевым электродом, найденной из соотношения , где Сх - коэффициент, учитывающий форму частиц; Vструи - скорость струи плазмы у кольцевого электрода, м/с; tвзаим - время взаимодействия частицы с потоком плазмы в магнитогазодинамическом режиме разряда, c; ρструи - плотность потока плазмы, г/см3; ρчастиц - плотность частицы, г/см3; rчаст - размер микрочастиц, м. Устройство для получения потока микрочастиц включает герметичную разрядную камеру с источником электропитания, газовакуумной системой, кольцевыми электродами, с установленной на оси кольцевых электродов диафрагмой толщиной 2lo из плазмообразующего материала с отверстием диаметром 2ro. В качестве источника питания установлен генератор импульсных токов МГД режима струйного диафрагменного разряда с величиной i(t), удовлетворяющей условию Рмагн>Pкр, где Рмагн= (80π)-1 (0,2 i/ro)2 - давление, обусловленное магнитным полем тока разряда, Па;
Ркр=[0,14 i1,34 (2lo)0,93]/[ro2,95 (1+ro/2lo)0,67]
- газовое давление в критическом сечении, Па, а диафрагма выполнена из плазмообразующего материала. Технический результат - стабильное получение высокоскоростных потоков устойчивых микрочастиц различного химического состава размером от 0,1 до 900 мкм. 2 с. и 5 з.п. ф-лы, 2 ил.

Формула изобретения RU 2 220 518 C1

1. Способ получения потока микрочастиц при высокотемпературной эрозии плазмообразующего материала в импульсном струйном диафрагменном разряде в вакууме, отличающийся тем, что струйный диафрагменный разряд формируют в магнитогазодинамическом (МГД) режиме течения струй плазмы на межэлектродном промежутке при условии

jомгд < jo < jоразр,

где jомгд - плотность тока в отверстии диафрагмы, соответствующая переходу течения струй плазмы в магнитогазодинамический режим, А/см2;

jo=i/πr2o

[А/см2],

где i - величина тока разряда, A;

ro - радиус отверстия диафрагмы, см;

jоразр - плотность тока в отверстии диафрагмы, соответствующая пределу механической прочности σразр материала диафрагмы, A/см2;

микрочастицы общей массой mΣ получают при выполнении условия

Δho ≥ ΔH*,

где Δho - удельная энтальпия на оси в отверстии диафрагмы, Дж/г;

ΔH* - удельная теплота разрушения (абляции) материала диафрагмы, Дж/г;

mΣ определяют из соотношения

mΣ≈ω tимп [г],

где ω - средняя скорость уноса массы материала диафрагмы, г/с;

tимп - длительность импульса тока разряда, c;

при скорости микрочастиц Vчаст (rчаст) у кольцевого электрода, найденной из соотношения

Vчастиц (rчаст)≈[Cx V2струи

tвзаим ρструи ]/ρчастиц rчастиц [м/с],

где Сх - коэффициент, учитывающий форму частиц;

Vструи - скорость струи плазмы у кольцевого электрода, м/с;

tвзаим - время взаимодействия частицы с потоком плазмы в магнитогазодинамическом режиме разряда, c;

ρструи - плотность потока плазмы, г/см3;

ρчастиц - плотность частицы, г/см3;

rчаст - размер микрочастиц, м.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что полученный поток микрочастиц дополнительно отделяют от потока релаксирующей плазмы за электродом на расстоянии D, удовлетворяющем условию

D>5L,

где L - межэлектродное расстояние, см.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что полученный поток микрочастиц дополнительно отделяют от потока релаксирующей плазмы созданием одновременно со струйным диафрагменным разрядом за электродом, на расстоянии D1, удовлетворяющем условию

2L<D1<5L,

электрического поля с напряженностью в k раз меньше напряженности электрического поля разрядного промежутка и согласованного с ним во времени.

4. Способ по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что струйный диафрагменный разряд осуществляют при крутизне спада тока К [A/c] на заднем фронте импульса тока, удовлетворяющем условию

tспад<tвдув,

где tспад=0,9imax /K,

где imax - амплитуда тока разряда, A;

tвдув=ro/Vрад - время радиального вдува микрочастиц размера rчаст=rmax из пограничного слоя у поверхности в отверстии диафрагмы в осевую зону [c],

где ro - радиус отверстия диафрагмы, см;

Vрад=ro Vкр ρкр/lo ρпогр - радиальная скорость микрочастиц, м/с,

где Vкр=724 i0,22/(0,9 ro)0,33 - скорость потока плазмы в критическом сечении, м/с;

ρкр - плотность потока плазмы в критическом сечении, г/см3;

2lo - толщина диафрагмы, см;

ρпогр - плотность вещества в пограничном слое, г/см3.

5. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что до формирования МГД режима разряда в разрядный промежуток вводят микрочастицы выбранного размера и химического состава.6. Устройство для получения потока микрочастиц, включающее герметичную разрядную камеру с источником электропитания, газовакуумной системой, кольцевыми электродами, с установленной на оси кольцевых электродов диафрагмой толщиной 2lo из плазмообразующего материала с отверстием диаметром 2ro, отличающееся тем, что в качестве источника питания выбран генератор импульсных токов МГД режима струйного диафрагменного разряда с величиной тока i(t), удовлетворяющей условию

Pмагн>Pкр,

где Рмагн=(80 π)-1 (0,2i/ro)2 - давление, обусловленное магнитным полем тока разряда, Па;

Ркр=[0,14 i1,34 (2lo)0,98]/[ro 2,95 (1+ro/2lo)0,67] - давление в критическом сечении, Па;

а диафрагма выполнена из плазмообразующего материала.

7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что за кольцевым катодом дополнительно размещены три металлических диска Э1, Э2 и Э3 на расстояниях от среза кольцевого электрода Д1=2L, Д2=3L и Д3=4L с отверстиями, радиусы которых равны R1=R; R2=2R мм и R1<R3<R2 соответственно, где L - межэлектродное расстояние, см; R – радиус отверстия в кольцевых электродах, см, причем диски Э1 и Э3 электрически соединены с катодом, диск Э2 - с кольцевыми анодом и катодом вне вакуумной разрядной камеры через емкостной делитель напряжения, емкостной делитель напряжения своим высоковольтным плечом относительно катода - с анодом, а низковольтным плечом с коэффициентом деления k - с диском Э2.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2003 года RU2220518C1

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФРАКТАЛОПОДОБНЫХ СТРУКТУР И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2000
  • Калашников Е.В.
  • Рачкулик С.Н.
RU2180160C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ 1997
  • Борисов Д.П.
  • Коваль Н.Н.
  • Щанин П.М.
RU2116707C1
US 5593740 A, 14.01.1997
US 5382866 A, 17.01.1995
Нанесение покрытий напылением
Теория, технология и оборудование
Под ред
Б.С
Митина
- М.: Металлургия, 1992, с.198-199.

RU 2 220 518 C1

Авторы

Калашников Е.В.

Рачкулик С.Н.

Даты

2003-12-27Публикация

2002-05-29Подача