ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
Настоящее изобретение относится к способу изготовления жидкокристаллической панели, к жидкокристаллической панели и к устройству коррекции, и более конкретно - к технологии для коррекции упорядочивающей пленки жидкокристаллической панели.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Жидкокристаллическая панель, которая является элементом жидкокристаллического дисплейного устройства, имеет конструкцию, в которой две подложки расположены одна напротив другой при сохранении между подложками предопределенного зазора. В этом зазоре между подложками заключен жидкокристаллический слой, содержащий молекулы жидкого кристалла. На тех поверхностях подложек, которые находятся в контакте с жидкокристаллическим слоем, формируются упорядочивающие пленки, предназначенные для регулировки упорядоченного состояния молекул жидкого кристалла (см., например, патентный документ 1 и др.).
В такой упорядочивающей пленке по нижеуказанным причинам, возможно, могут возникать локальные микроотверстия.
(1) Упорядочивающая пленка имеет добавленные к ней в процессе формирования пленки инородные вещества. При удалении этих инородных веществ упорядочивающая пленка локально вырезается, и таким образом, получается микроотверстие.
(2) Адгезия упорядочивающей пленки к подстилающему слою (пиксельные электроды, контрэлектроды и т.д.) локально слабая, и в процессе формирования пленки материал упорядочивающей пленки на таких участках отлепляется, и таким образом, образуется микроотверстие.
(3) В том случае, когда используется материал упорядочивающей пленки для вертикального упорядочения молекул жидкого кристалла, адгезия упорядочивающей пленки к подстилающему слою обычно слабая. Это, вместе с вышеприведенной причиной (2), вероятно, вызывает образование микроотверстия.
(4) В том случае, когда подстилающий слой упорядочивающей пленки загрубляется для получения выпуклых и вогнутых участков, и в упорядоченном состоянии молекулы жидкого кристалла управляются посредством уступов на поверхности упорядочивающей пленки, образованных этими выпуклыми и вогнутыми участками, площадь поверхности подстилающего слоя, на котором сформирована упорядочивающая пленка, увеличивается. Это, вместе с вышеприведенной причиной (2), вероятно, вызывает образование микроотверстия.
Когда по любой из вышеприведенных причин образуется микроотверстие, в месте образования отверстия изображение не воспроизводится нормально. Это вызывает различные проблемы, например, зависимость размера или положения микроотверстия, в результате чего упорядочивающую пленку необходимо полностью соскрести и сформировать снова, в результате чего возрастает стоимость производства.
Патентный документ 1 предлагает технику печати для переноса в микроотверстие упорядочивающей пленки после того, как это микроотверстие обнаружено, средства для ее коррекции. В соответствии с этой техникой печати к микроотверстию прижимается переносящая головка, содержащая нанесенное на нее средство коррекции пленки. Поэтому упорядочивающая пленка может быть легко скорректирована, а толщина пленки и скорректированного места может легко управляться.
ПАТЕНТНЫЙ ДОКУМЕНТ
Патентный документ 1: Международная заявка РСТ WO2007/132586.
РАСКРЫТИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Раскрытая в патентном документе 1 техника печати является эффективной тогда, когда образованное локальное микроотверстие меньше чем переносящая часть переносящей головки. Однако на самом деле, когда микроотверстие больше, чем переносящая часть переносящей головки, средство коррекции пленки необходимо переносить много раз. После того, как перенос выполнен один раз, чтобы выполнить перенос снова, на переносную головку необходимо нанести средство коррекции упорядочивающей пленки. Вне подложки, на которой сформирована упорядочивающая пленка, имеется контейнер со средством коррекции упорядочивающей пленки. В том случае, когда подложка является "материнским стеклом", для выполнения многоразового переноса переносящая головка должна будет покрыть большое расстояние. Это уменьшает производительность процесса устранения микроотверстий.
Упорядочивающие пленки могут быть сформированы способом центробежного нанесения покрытия, способом распыления или печатным способом. При использовании для формирования упорядочивающей пленки печатного способа могут быть случаи, при которых предназначенная для нанесения жидкость не вылетает из форсунки печатной головки. В этом случае, вследствие плохого испускания ее из форсунки может получиться относительно большое микроотверстие. Поэтому необходима техника для легкого устранения даже такого микроотверстия.
Настоящее изобретение, сделанное в свете такой ситуации, имеет главной целью обеспечение способа изготовления жидкокристаллической панели, в которой можно было бы устранять дефекты более легко.
Способ изготовления жидкокристаллической панели в соответствии с настоящим изобретением включает в себя этапы подготовки подложки, имеющей сформированную на ней упорядочивающую пленку, и коррекции дефектного участка упорядочивающей пленки с использованием корректирующего штампа, на котором присутствует нанесенный на него корректирующий краситель. Этап коррекции включает в себя этап (a) размещения корректирующего штампа в зоне подложки, содержащей дефектный участок, этап (b) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, из положения, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a), и этап (c) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, вновь из положения, в которое этот корректирующий штамп был перемещен на этапе (b), в положение, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a).
В предпочтительном варианте исполнения этап коррекции дополнительно включает в себя этап перемещения корректирующего штампа для сушки нанесенного на дефектный участок корректирующего красителя.
В предпочтительном варианте исполнения размер зоны поверхности корректирующего штампа, которая контактирует с подложкой, меньше размера зоны дефектного участка
В предпочтительном варианте исполнения этап (c) выполняется, по меньшей мере, четыре раза.
В предпочтительном варианте исполнения этап (c) выполняется восемь раз.
Жидкокристаллическая панель в соответствии с настоящим изобретением содержит две подложки, обращенные друг к другу, и жидкокристаллический слой, находящийся между двумя этими подложками. На поверхности каждой из подложек, которая контактирует с жидкокристаллическим слоем, сформирована упорядочивающая пленка; на дефектном участке упорядочивающей пленки образован корректирующий слой, и этот корректирующий слой образован в результате перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с зоной подложки, содержащей упомянутый дефектный участок, из положения, в котором этот корректирующий штамп был размещен изначально, в другое положение, а затем назад в положение, в котором этот корректирующий штамп был размещен изначально.
Устройство коррекции в соответствии с настоящим изобретением представляет собой устройство коррекции дефектного участка упорядочивающей пленки. Это устройство коррекции содержит корректирующий штамп, подвижное устройство для перемещения корректирующего штампа, и устройство управления для управления подвижным устройством. Устройство управления управляет перемещением корректирующего штампа таким образом, что это подвижное устройство выполняет этап (a) размещения корректирующего штампа в зоне упорядочивающей пленки, содержащей дефектный участок, этап (b) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, из положения, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a), и этап (c) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, вновь из положения, в которое этот корректирующий штамп был перемещен на этапе (b), в положение, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a).
В предпочтительном варианте исполнения это устройство коррекции дополнительно содержит контрольное устройство для определения дефектного участка упорядочивающей пленки.
Программа для коррекции упорядочивающей пленки в соответствии с настоящим изобретением есть программа для коррекции упорядочивающей пленки с целью побуждения устройства коррекции, включающего в себя корректирующий штамп для коррекции дефектного участка упорядочивающей пленки, к коррекции упорядочивающей пленки. Эта программа для коррекции упорядочивающей пленки побуждает устройство коррекции к выполнению этапа (a) размещения корректирующего штампа в зоне, содержащей дефектный участок, этапа (b) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, из положения, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a), и этапа (c) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, вновь из положения, в которое этот корректирующий штамп был перемещен на этапе (b), в положение, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a).
В предпочтительном варианте исполнения программа для коррекции упорядочивающей пленки побуждает устройство коррекции выполнять этапы (b) и (c) повторно для перемещения корректирующего штампа в зону, содержащую дефектный участок,
Запоминающее устройство в соответствии с настоящим изобретением представляет собой запоминающее устройство, содержащее в себе записанную программу для коррекции упорядочивающей пленки.
В соответствии с настоящим изобретением, корректирующий штамп расположен в зоне подложки, включающей в себя дефектный участок, перемещенный из положения, в котором этот корректирующий штамп находился, в другое положение, а затем назад в положение, в котором был расположен изначально, для коррекции дефектного участка. Поэтому по сравнению со случаем, когда корректирующий штамп находится на удалении от положения, в котором этот корректирующий штамп находился изначально, нанесенный на корректирующий штамп корректирующий краситель может использоваться более эффективно, и, таким образом, может быть скорректирован больший дефектный участок. В результате, дефект упорядочивающей пленки может быть устранен более легко.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
Фиг.1 представляет собой вид в поперечном сечении жидкокристаллического дисплейного устройства 100, включающего в себя жидкокристаллическую панель 10 в одном варианте исполнения в соответствии с настоящим изобретением.
Фиг.2 представляет собой увеличенный вид в плане, показывающий часть верхней поверхности подложки 12 набора.
Фиг.3 представляет собой увеличенный вид поперечного сечения, показывающий часть жидкокристаллической панели 10.
Фиг.4 представляет собой вид в плане верхней поверхности подложки 12 набора.
Фиг.5а-5с представляют собой поперечные сечения, иллюстрирующие этапы формирования корректирующего слоя 35.
Фиг.6 представляет собой вид в плане подложки 12 набора, иллюстрирующий технику для коррекции, разработанную автором настоящего изобретения.
Фиг.7 представляет собой вид в плане подложки 12 набора, иллюстрирующий технику для коррекции в одном варианте исполнения в соответствии с настоящим изобретением.
Фиг.8A представляет собой вид в плане, иллюстрирующий перемещение корректирующего штампа 60.
Фиг.8B представляет собой вид в плане, иллюстрирующий перемещение корректирующего штампа 60.
Фиг.9 схематически показывает конструкцию устройства 200 коррекции в варианте исполнения в соответствии с настоящим изобретением.
Фиг.10 представляет собой блок-схему, показывающую конструкцию устройства коррекции в варианте исполнения в соответствии с настоящим изобретением.
Фиг.11 представляет собой вид в плане верхней поверхности подложки 12 набора, включающей в себя зону коррекции.
Фиг.12 представляет собой вид в плане, иллюстрирующий перемещение корректирующего штампа 60.
Фиг.13 представляет собой вид в плане, иллюстрирующий перемещение корректирующего штампа 60.
Фиг.14 представляет собой вид в плане, иллюстрирующий перемещение корректирующего штампа 60.
ОСУЩЕСТВЛЕНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Далее со ссылками на чертежи будет описан вариант исполнения настоящего изобретения. На нижеприведенных иллюстрациях для упрощения объяснения элементы, имеющие по существу одинаковые функции, представлены одними и теми же ссылочными позициями. Следующим вариантом исполнения настоящее изобретение не ограничено.
Сначала со ссылками на Фиг.1 по Фиг.3 будет описана жидкокристаллическое дисплейное устройство 100, включающее в себя жидкокристаллическую панель 10, полученную способом изготовления в варианте исполнения в соответствии с настоящим изобретением
Фиг.1 схематически показывает поперечного сечение конструкции жидкокристаллического дисплейного устройства 100, включающего в себя жидкокристаллическую панель 10 по этому варианту исполнения. Показанное на Фиг.1 жидкокристаллическое дисплейное устройство 100 включает в себя жидкокристаллическую панель 10 и устройство 20 задней подсветки, которое представляет собой внешний источник света, выполненный на задней стороне жидкокристаллической панели (на Фиг.1 - нижняя сторона). Эта жидкокристаллическая панель 10 и устройство 20 задней подсветки скрепляются вместе во время сборки посредством скошенного замка 29, выполненного для закрывания передней поверхности жидкокристаллической панели 10.
Устройство 20 задней подсветки включает в себя множество линейных источников 22 света (например, флуоресцентных трубок с холодным катодом) и корпус 24, содержащего эти источники 22 света. Корпус 24 имеет форму коробки, открытой с передней стороны (в сторону жидкокристаллической панели 10). Источники 22 света в корпусе 24 упорядочены параллельно друг другу.
В открытой части корпуса 24 расположено множество оптических слоев 26, которые уложены один на другой. Эти оптические слои представляют собой, например, рассеиватель, рассеивающий экран, слой с линзами и слой увеличения светимости, которые расположены последовательно в этом порядке относительно задней стороны. В дополнение, корпус 24 оснащен рамой 28, обычно имеющей форму рамки, предназначенной для удержания оптических слоев 2 6 в таком состоянии, при котором эти оптические слои 26 вставлены в корпус 24.
Жидкокристаллическая панель 10 обычно имеет общую прямоугольную форму и содержит две светопропускающие подложки (стеклянные подложки) 11 и 12. В качестве каждой из подложек 11 и 12 используется подложка, вырезанная в процессе ее изготовления из большого материнского элемента, называемого "материнским стеклом".
Подложки 11 и 12 расположены таким образом, что их поверхности обращены друг к другу, а между подложками 11 и 12 находится жидкокристаллический слой 13. Жидкокристаллический слой 13 образован из жидкокристаллического материала, оптические характеристики которого изменяются при приложении между подложками 11 и 12 электрического поля. По внешнему периферийному участку каждой из подложек 11 и 12 нанесен герметизатор 15, предназначенный для ограждения
жидкокристаллического слоя 13. Зазор между подложками 11 и 12 надежно обеспечивается разделителями (не показаны) и герметизатором 15. Эти разделители выполнены, например, из эластично деформируемой смолы и являются сферическими, похожими на частицы. В жидкокристаллическом слое 13 в предопределенном положении в дисперсном состоянии находится огромное количество разделителей. По внешним поверхностям подложек 11 и 12 соответствующим образом закреплены пластины 17 и 18 поляризаторов.
В этом варианте исполнения из подложек 11 и 12 подложка, расположенная с передней стороны, является подложкой 11 цветовых фильтров (подложка CF), а подложка, расположенная с задней стороны, является подложкой 12 набора. Фиг.2 показывает в увеличенном виде часть верхней поверхности подложки 12 набора. Фиг.3 показывает в увеличенном виде поперечное сечение части подложек 11 и 12.
Как показано на Фиг.2, на верхней поверхности подложки 12 набора (со стороны жидкокристаллического слоя 13, на стороне, обращенной к подложке 11 цветовых фильтров) расположен переключающий элемент 44 (например, тонкопленочный транзистор) и пиксельный электрод 46. В виде сетчатой картины выполнены также дорожки 41 источника питания и дорожки 42 логических вентилей, так что они окружают переключающий элемент 44 и пиксельный электрод 46. Каждая из дорожек 41 источника питания соединена с электродом источника питания соответствующего переключающего элемента 44, и каждая из дорожек 42 логических вентилей соединена с вентильным электродом соответствующего
переключающего элемента 44. Пиксельный электрод 4 6 выполнен, например, из окиси индия - окиси олова (ITO). Пиксельный электрод 46 сформирован, например, таким образом, что является прямоугольным или квадратным. В примере, показанном на Фиг.2, пиксельный электрод сформирован в прямоугольную форму, которая вытянута в направлении, в котором продолжаются дорожки 41 источника питания.
В этом варианте исполнения, как показано на Фиг.3, на подложке 12 набора (более конкретно - на стеклянной подложке) сформированы дорожки 42 логических вентилей. На подложке 12 набора образован изолирующий слой 31 таким образом, что он покрывает дорожки 42 логических вентилей. На изолирующем слое 31 образован изолирующий слой 32. А на изолирующем слое 32 сформирован пиксельный электрод 46. В некоторых случаях, сборка элементов, включающих подложку 12, изолирующий слой 32 и пиксельный электрод 4 6, а также элементы, расположенные между этими элементами, все вместе называются подложкой 12 набора.
На пиксельном электроде 4 6 и изолирующем слое 32 нанесена упорядочивающая пленка 30 (30A), предназначенная для упорядочения молекул жидкого кристалла в жидкокристаллическом слое 13. Другими словами, упорядочивающая пленка 30 (30A) сформирована на пиксельном электроде 4 6 и на нанесенных сверху на него частях изолирующего слоя 32, причем эти части находятся в контакте с жидкокристаллическим слоем 13. В этом варианте исполнения упорядочивающая пленка 30 сформирована из материала, который - в отсутствии напряжения, приложенного к жидкокристаллическому слою 13 - упорядочивает молекулы жидкого кристалла вертикально относительно поверхности упорядочивающей пленки 30 (так называемый материал вертикального упорядочения). Упорядочивающая пленка 30 в этом варианте исполнения выполнена из полиимида. Упорядочивающая пленка 30 имеет, например, толщину от примерно 100 до примерно 200 нм. В этом варианте исполнения пиксельный электрод 46 и изолирующий слой 32 образуют подстилающий слой упорядочивающей пленки 30. В жидкокристаллической панели, принимающей иные наборные конструкции, в качестве подстилающего слоя упорядочивающей пленки 30 может быть использоваться другой слой.
В этом варианте исполнения пиксельный электрод 4 6 (поверхность подложки 12 набора) имеет канавки 33 (пазы, отверстия, уступы). Соответственно, поверхность упорядочивающей пленки 30, образованной на пиксельном электроде 4 6, имеет уступы. В данном примере, как показано на Фиг.2, канавки 33 выполнены как пазы, имеющие предопределенную ширину. Более конкретно, канавки 33 выполнены в пиксельном электроде 46, в центральном положении в продольном направлении, вблизи обоих концов в продольном направлении, а также в промежуточном положении между этими концами. Канавка 33 в продольном положении имеет V-образную форму, как показано на виде в плане. Канавка 33 центрального положения расположена по боковому краю пиксельного электрода 46 и, как видно из вида в плане, является треугольной. Канавки 33 по обоим концам являются прямолинейными и обычно параллельными канавке 33 центрального положения. Канавки 33, как правило, расположены с равными интервалами.
Уступы в упорядочивающей пленке 30, образованные канавками 33, позволяют регулировать состояние упорядочения молекул жидкого кристалла таким образом, чтобы молекулы жидкого кристалла на Фиг.3 были наклонены относительно направления "вверх-вниз" (направление, перпендикулярное подложкам 11 и 12). Уступы, образованные канавками 33, могут обойтись без обработки трением на упорядочивающей пленке 30. Канавки 33 могут иметь такую глубину, при которой, например, канавки 33 доходят до изолирующего слоя 32, как показано на Фиг.3.
Как показано на Фиг.3, на внутренней поверхности подложки 11 цветовых фильтров (со стороны жидкокристаллического слоя 13, поверхность, направленная в сторону подложки 12 набора), один рядом с другим установлены цветовые фильтры 36, расположенные в местах, соответствующих пиксельным электродам 46. Эти цветовые фильтры 36 предназначены для пропускания света предопределенной длины волны и поглощения света других длин волн. Цветовые фильтры 36 в этом варианте исполнения являются R (красный), G (зеленый) и В (синий) цветовыми фильтрами 36. Цветовые фильтры 36 установлены в порядке цветов, например, R, G и В.
Между смежными цветовыми фильтрами 36 разных цветов проложен светоэкранирующий слой 37 (черная матрица), предназначенная для экранирования света от смежных цветовых фильтров 36. Это предотвращает смешение цветов. Светоэкранирующий слой 37 выполнен в виде сетчатого рисунка таким образом, что он окружает каждый из цветовых фильтров 36.
На внутренней стороне цветовых фильтров 36 образован контрэлектрод 48, сформированный, например, из ITO, как и пиксельный электрод 46. В этом варианте исполнения на внутренней поверхности контрэлектрода 48 выполнены ребра 34 (выпуклые участки, выступы, уступы). В соответствии с конструкцией этого варианта исполнения ребра 34 выступают от внутренней поверхности контрэлектрода 48 в направлении подложки 12 набора, обращенной к контрэлектроду 48, и имеют удлиненную форму предопределенной ширины. Как показано на Фиг.2, ребра 34 имеют V-образную форму, как это видно на виде в плане, и расположены в линию, будучи образованы, как правило, посередине между двумя канавками 33 таким образом, что расположены по соседству один с другим на стороне подложки 12 набора. Эти ребра 34 образованы таким образом, что осевые направления их, как правило, параллельны направлениям, в которых продолжаются канавки 33.
На внутренней поверхности контрэлектрода 48 и ребер 34 расположена упорядочивающая пленка 30 (30B), предназначенная для упорядочения молекул жидкого кристалла в жидкокристаллическом слое 13. Другими словами, упорядочивающая пленка 30 (30B) сформирована на поверхностях контрэлектрода 48 и ребер 34, причем эти поверхности находятся в контакте с в жидкокристаллическим слоем 13. Поэтому ребра 34, выступающие из контрэлектрода 48, являются причиной того, что упорядочивающая пленка 30 (30B) имеет уступы. Эти уступы позволяют регулировать состояние упорядочения молекул жидкого кристалла таким образом, чтобы молекулы жидкого кристалла на Фиг.3 были наклонены относительно направления "вверх-вниз" (направление,
перпендикулярное поверхностям подложек 11 и 12). Уступы, образованные канавками 33, могут обойтись без обработки трением на упорядочивающей пленке 30.
В жидкокристаллической панели 10 во время процесса изготовления упорядочивающих пленок 30 (30A, 30B) могут образоваться дефектные участки 50. В этом варианте исполнения каждый из дефектных участков 50 упорядочивающих пленок 30 исправляется посредством корректирующего слоя 35, сформированного из корректирующего красителя.
Фиг.4 представляет собой вид в плане, показывающий подложку 12 набора, имеющую относительно большой дефектный участок 50, образованный в процессе ее изготовления. В соответствии с конструкцией этого варианта исполнения на дефектном участке 50 сформирован корректирующий слой 35, и, таким образом, упорядочивающая пленка 30 корректируется.
Корректирующий слой 35 формируется так, как показано на Фиг.5a-5c. Фиг.5a-5c представляют собой поперечные сечения, показывающие этапы формирования корректирующего слоя 35.
Сначала, после того, как завершился этап формирования упорядочивающей пленки 30, как показано на Фиг.5а, на упорядочивающей пленке 30 проверкой обнаруживается дефектный участок 50.
Далее, как показано на Фиг.5b, определяется зона (зона коррекции) 55, включающая в себя обнаруженный во время проверки дефектный участок 50. Затем близко к зоне 55 коррекции подводится корректирующий штамп 60, имеющий приставший к нему корректирующий краситель 61. Более конкретно, корректирующий штамп 60, имеющий нанесенный на его нижнюю поверхность корректирующий краситель 61, удерживается держателем 62 и перемещается к зоне 55 коррекции. После этого корректирующий краситель 61, нанесенный на корректирующий штамп 60, приводится в соприкосновение с дефектным участком 50 (стрелка 65), после чего корректирующий штамп 60 совершает перемещения (стрелка 65) для того чтобы нанести корректирующий краситель 61 на дефектный участок 50. По завершении нанесения корректирующего красителя 61 корректирующий штамп 60 из зоны 55 коррекции уводится (стрелка 66).
Затем как показано на Фиг.5 с, нанесенный в зоне 55 коррекции корректирующий краситель 61 высыхает (стрелка 64) и образует корректирующий слой 35. Когда, например, корректирующий краситель 61 представляет собой смолу, отверждаемую ультрафиолетовым излучением, корректирующий слой 35 отверждается, будучи подвергнут облучением ультрафиолетовым излучением. Таким образом, исправление дефектного участка 50 упорядочивающей пленки 30 завершается. Здесь дефектный участок 50 упорядочивающей пленки 30 (ЗОА) на изолирующем слое 32 подложки 12 набора описан в качестве примера. Для упорядочивающей пленки 30 (30B) подложки 11 цветовых фильтров применяется по существу та же самая обработка.
Фиг.6 представляет собой вид в плане подложки 12 набора, иллюстрирующий технику для коррекции, разработанную автором настоящего изобретения. Фиг.6 показывает, как корректирующий штамп 60 перемещается в зоне 55 коррекции подложки 12 набора, имеющей дефектный участок 50, для выполнения коррекции.
В соответствии с показанной на Фиг.6 техникой, корректирующий штамп 60 располагается в центральном положении зоны 55 коррекции, а затем совершает спиральные перемещения (стрелка 53), корректируя дефектный участок 50 в зоне 55 коррекции. Эта техника хорошо работает в том случае, когда дефектный участок 50 небольшой, и размер зоны 55 коррекции также относительно мал. Однако выполненные автором настоящего изобретения исследования показали, что в том случае, если размер зоны 55 коррекции относительно велик, как показано на Фиг.6, когда корректирующий штамп 60 совершает спиральные перемещения (стрелка 53), возникает ситуация, в которой корректирующий штамп 60 остается без красителя (на нем не остается достаточного количества корректирующего красителя).
Более конкретно, когда корректирующий штамп 60 перемещается так, как показано стрелкой 53, корректирующий краситель может наноситься на область коррекции, которая примерно в шесть раз больше размера области корректирующего штампа 60, но нанести корректирующий краситель на 6 льшую область, на самом деле, трудно. Поэтому для исправления зоны 55 коррекции, имеющей относительно большой размер площади, каждый раз, когда корректирующий штамп 60 остается без красителя, на этот корректирующий штамп 60 необходимо подать дополнительное количество корректирующего красителя. С внешней стороны опоры подложки, удерживающей подложку 12, имеется контейнер с корректирующим красителем. Поэтому, как только корректирующий штамп 60 остается без красителя, производительность этапа коррекции значительно уменьшается. В том же случае, когда подложка 12 представляет собой "материнское стекло", расстояние перемещения или затрачиваемое на это перемещение время, необходимое для пополнения корректирующего штампа 60 корректирующим красителем, является значительным.
В результате проведения активных исследований для решения проблемы, связанной с техникой, показанной на Фиг.6, автор настоящего изобретения придумал технику, показанную на Фиг.7. В соответствии с показанной на Фиг.7 техникой этого варианта исполнения, корректирующий штамп 60 после установки его в центральное положение зоны 55 коррекции перемещается так, как показано стрелкой 70, а затем отводится назад в первое положение (центральное положение) для коррекции дефектного участка 50 в зоне 55 коррекции. При повторении такого перемещения корректирующего штампа 60 (стрелка 70) корректирующий краситель наносится на зону 55 коррекции.
Использование техники, показанной на Фиг.7 в этом варианте исполнения позволяет наносить корректирующий краситель на б льшую область, чем посредством техники, показанной на Фиг.6. Причиной этого является то, что резервуар с красителем остается в положении, в котором изначально находился корректирующий штамп 60 (то есть, в центральном положении), и поэтому корректирующий штамп 60 может по существу пополняться корректирующим красителем, когда, он перемещен назад в положение, в котором корректирующий штамп 60 находился изначально. В соответствии с этой новой техникой, придуманной автором настоящего изобретения, корректирующий краситель может наноситься на б льшую область, чем посредством техники, показанной на Фиг.6.
Размеры корректирующего штампа 60, зоны 55 коррекции и им подобных, показанных на Фиг.7, например, такие, как указаны далее в примерах. Диаметр корректирующего штампа 60, например, составляет от 150 мкм до 300 мкм. Размер зоны корректирующего штампа 60 составляет, например, от 0,017 до 0,07 мм2. Нижняя поверхность корректирующего штампа 60 является круговой, но вместо круговой может иметь любую другую форму (например, прямоугольную, квадратную и т.д.). Корректирующий штамп 60 образован, например, из смолы, отверждаемой ультрафиолетовым излучением. Смола с ультрафиолетовым отверждением формуется, а затем отверждается, будучи подвергнута облучением
ультрафиолетовым излучением, в результате чего образуется корректирующий штамп 60. Размер зоны 55 коррекции составляет, например, от 0,017 мм2 (диаметр - 150 мкм) до 2,25 мм2 (квадрат со стороной 1,5 мм). Зона 55 коррекции может быть ограничена в соответствии с дефектным участком 50 и может быть определена, например, исходя из координаты X и координаты Y внешней окружности дефектного участка 50. В этом варианте исполнения размер зоны нижней поверхности корректирующего штампа 60 меньше, чем размер зоны дефектного участка 50 или размер зоны 55 коррекции, и зона 55 коррекции, включающая в себя дефектный участок 50, исправляется перемещениями корректирующего штампа 60. Нет необходимости говорить, что корректирующий штамп 60 в этом варианте исполнения может использоваться для исправления дефектного участка 50 зоны 55 коррекции меньшего, чем размер зоны нижней поверхности корректирующего штампа 60.
Далее способ коррекции упорядочивающей пленки 30 этого варианта исполнения будет описан со ссылками на Фиг.8A и 8B. Фиг.8A и 8B показывают технику перемещения корректирующего штампа 60 в зоне 55 коррекции.
Сначала, как показано на Фиг.8A, корректирующий штамп 60 располагается в центральном положении зоны 55 коррекции. Центральное положение, в котором расположен корректирующий штамп 60, то есть положение корректирующего штампа 60a есть начальное положение. В примере, представленном на Фиг.8A, корректирующий штамп 60 перемещается из положения корректирующего штампа 60a, которое показано стрелкой 71a, в положение корректирующего штампа 60b. Затем корректирующий штамп 60 передвигается из положения корректирующего штампа 60b, которое показано стрелкой 71b, назад, в положение корректирующего штампа 60a. При перемещении корректирующего штампа 60 из первого положения (60a) в другое положение (60b), а затем - назад в первое положение (60a) может быть использован резервуар красителя, находящийся в первом положении (60a), и, таким образом, зона, к которой может быть приложен краситель посредством корректирующего штампа 60, может быть увеличена.
Далее корректирующий штамп 60 перемещается из первого положения корректирующего штампа 60a, которое представлено стрелкой 72a, в положение корректирующего штампа 60c. Затем корректирующий штамп 60 перемещается из положения корректирующего штампа 60c, как оно представлено стрелкой 72b, снова в положение корректирующего штампа 60a. После этого, такое перемещение повторяется. Проще говоря, корректирующий штамп 60 перемещается из положения корректирующего штампа 60a в положение корректирующего штампа 60d (стрелка73a) а затем перемещается назад в положение корректирующего штампа 60a (стрелка73b). Подобным же образом, корректирующий штамп 60 перемещается из положения корректирующего штампа 60a в положения корректирующего штампа 60е, 60f, 60g, 60h и 60i (стрелки 74a, 75a, 76a, 77a и 78a), а затем - назад в положение корректирующего штампа 60a (стрелки 74b, 75b, 76b, 77b и 78b).
Таким образом, с использованием корректирующего штампа 60 зона 55 коррекции может быть скорректирована. Фиг.8B показывает след корректирующего штампа 60, который легко видно. В примере, показанном на Фиг.8A и 8B, для того чтобы нанести краситель на зону 55 коррекции, корректирующий штамп 60 возвращается в первое положение (60a) восемь раз, что представлено стрелками 71-78. В соответствии с техникой, показанной на Фиг.6, корректирующий краситель может быть приложен к зоне, которая только около шести раз больше чем размер зоны корректирующего штампа 60, в то время как в соответствии с техникой, показанной на Фиг.8A и 8B, корректирующий краситель может быть приложен к гораздо большей зоне (то есть, примерно в 40 раз больше или еще большей). После того, как этап коррекции упорядочивающей пленки 30 выполнен, продолжается остающийся процесс изготовления жидкокристаллической панели.
Фиг.9 схематически показывает конструкцию устройства 200 коррекции по этому варианту исполнения. Устройство 200 коррекции в этом варианте исполнения предназначено для коррекции дефектного участка 50 упорядочивающей пленки 30. Это устройство 200 коррекции может выполнять вышеописанные этапы коррекции. Фиг.10 есть блок-схема, показывающая конструкцию устройства 200 коррекции.
Устройство 200 коррекции в этом варианте исполнения включает в себя корректирующий штамп 60, имеющий нанесенный на него корректирующий краситель 61, подвижное устройство 120 для перемещения корректирующего штампа 60 и устройство 110 управления для управления подвижным устройством 120. на Фиг.9 подвижное устройство 120 и устройства 110 управления опущены.
В показанном на Фиг.9 примере конструкции имеются питающий резервуар 80, предназначенный для подачи корректирующего красителя 61, и стол 90 для укладки подложки (подложки набора) 12, имеющей зону 55 коррекции. На столе 90 стеклянная подложка, имеющая образованную на ней упорядочивающую пленку 30, расположена как подложка 12. Упорядочивающая пленка 30 в этом варианте исполнения образована способом струйного нанесения. Подложка 12 может быть "материнским стеклом", прежде чем она будет разрезана под размер жидкокристаллической панели, или стеклянной пластиной после того, как она вырезана под размер жидкокристаллической панели. Подложка 12 набора является только примером, и вместо подложки набора 12 может быть подложка 11 цветовых фильтров.
Питающий резервуар 80 присутствует вместе с промывочной секцией 81 для промывки корректирующего штампа 60 и с подающей секцией 82 для подачи корректирующего красителя 61. В том случае, когда, например, упорядочивающая пленка 30 образована из полиимида, корректирующий краситель 61 представляет собой раствор, полученный разведением полиимида для корректирующего красителя в предписанном отношении. Под промывочной секцией 81 и подающей секцией 82 расположена секция 83 приема текучих отходов. Секция 83 приема текучих отходов соединена с резервуаром 84 возврата текучих отходов.
Корректирующий штамп 60 соединен с держателем 62 штампа. Держатель 62 штампа соединен с подвижным устройством 120. Штамп 60 перемещается подвижным устройством 120, управляемым устройством 110 управления, и выполняет предписанную операцию. Стол 90 для укладки подложки 12 может управляться устройством 110 управления. Стол 90, штамп 60 могут перемещаться устройством 110 управления вместе друг с другом. Более конкретно, для перемещения штампа 60 этот штамп 60 и стол 90 могут быть соединены друг с другом таким образом, чтобы штамп 60 был неподвижен, а перемещение совершалось только столом 90.
Как показано на Фиг.10, устройство 110 управления в этом варианте исполнения соединено с запоминающим устройством 112, входным устройством 114 и выходным устройством 116. Устройство 110 управления образовано, например, центральным процессором (CPU). Запоминающее устройство 112 представляет собой жесткий диск, полупроводниковую память, оптический диск (CD, DVD), магнитооптический диск (МО) и т.п. Выходное устройство 116 есть устройство воспроизведения (жидкокристаллический дисплей, ЭЛТ, органический электролюминесцентный дисплей и т.д.) или принтерное устройство (лазерный принтер и т.д.). Устройство 110 управления, запоминающее устройство 112, входное устройство 114 и выходное устройство 116 могут быть образованы персональным компьютером (ПК).
Запоминающее устройство 112, соединенное с устройством 110 управления, имеет сохраненную в себе программу 113 для коррекции упорядочивающей пленки. Программа 113 для коррекции упорядочивающей пленки представляет собой программу для управления работой устройства 200 коррекции и включает в себя программу для управления перемещением корректирующего штампа 60. В этом варианте исполнения программа 113 для коррекции упорядочивающей пленки дает команду устройству 200 коррекции на выполнение этапа (a) размещения корректирующего штампа 60 в зоне 55 коррекции, этапа (b) перемещения корректирующего штампа 60 из положения, в котором этот корректирующий штамп 60 был размещен на этапе (a), и этапа (c) перемещения корректирующего штампа 60 вновь из положения, в которое этот корректирующий штамп 60 был перемещен на этапе (b), в положение, в котором этот корректирующий штамп 60 был размещен на этапе (a). Пример этапов от (a) до (c) - такой, который был описан со ссылкой на Фиг.8A.
Устройство 200 коррекции в этом варианте исполнения включает в себя контрольное устройство 130 для проверки дефектного участка 50 упорядочивающей пленки 30. Контрольное устройство 130 соединено с устройством 110 управления. Данные по дефектному участку 50, обнаруженному контрольным устройством 130, выдаются в устройство 110 управления и в запоминающее устройство 112. Контрольное устройство 130 образовано на основе элемента воспроизведения изображения (то есть, датчика изображения типа ПЗС или КМОП). Кроме того, контрольное устройство 130 включает в себя программное обеспечение для обнаружения дефектного участка 50 по изображению, полученному элементом воспроизведения изображения, но это программное обеспечение может храниться в запоминающем устройстве 112. Рабочие операции по определению зоны 55 коррекции, исходя из данных по дефектному участку 50, могут быть выполнены устройством 110 управления или контрольным устройством 130. Конкретная структура контрольного устройства 130 не ограничена, лишь бы контрольное устройство 130 при этом выполняло функцию обнаружения дефектного участка 50 упорядочивающей пленки 30, и для этого контрольного устройства 130 может быть приемлема любая предпочтительная структура.
Соединение между элементами устройства 200 коррекции (устройство 110 управления и т.д.) в этом варианте исполнения не ограничено электрическими соединениями, и это может быть, например, беспроводное соединение, оптическое соединение и т.п. Устройство 110 управления и запоминающее устройство 112 могут быть объединены друг с другом, и входное устройство 114 и выходное устройство 116 могут быть объединены друг с другом (например, в виде сенсорного дисплея). Соединение частично может осуществляться через интернет. Например, частично могут быть связаны друг с другом через Интернет устройство 110 управления и запоминающее устройство 112, так чтобы в качестве запоминающего устройства 112 мог бы использоваться жесткий диск или иное подобное устройство, находящееся в сервере, расположенном вне устройства 110 управления.
Операция коррекции в этом варианте исполнения может быть выполнена при использовании устройства 200 коррекции следующим образом. Как описано выше, корректирующий штамп 60 перемещается при перемещении подвижного устройства 120, управляемого устройством 110 управления. Подвижное устройство 120 в этом варианте исполнения может перемещать корректирующий штамп 60 в направлении оси X, в направлении оси Y и в направлении оси Z.
Как показано на Фиг.9, нижняя поверхность корректирующего штампа 60 находится в контакте с промывочной секцией 81 (см. стрелку 91) для промывки корректирующего штампа 60. Промывочная секция 81 содержит промывочный раствор (например, N-метилпиролидон). Затем промытый корректирующий штамп 60 перемещается (см. стрелку 92), и нижняя поверхность корректирующего штампа 60 касается подающей секции 82 красителя (см. стрелку 93). В результате, корректирующий краситель 61 наносится на корректирующий штамп 60.
Далее корректирующий штамп 60, имеющий нанесенный на него корректирующий краситель 61, перемещается таким образом, чтобы он расположился над столом 90 (см. стрелку 94). После этого, корректирующий штамп 60 перемещается в зону 55 коррекции подложки 12 (стрелка 95). В этом положении выполняется этап коррекции (стрелка 70) с образованием корректирующего слоя 35. Примером этапа коррекции является этап, как тот, который описан ранее со ссылкой на Фиг.8А.
Затем корректирующий штамп 60, лишенный корректирующего красителя 61, перемещается (см. стрелку 96), возвращаясь в подающую секцию 82 красителя (см. стрелку 97) для совершения следующего цикла этапа коррекции. Для начала следующего цикла этапа коррекции корректирующий штамп 60 посредством подающей секции 82 красителя пополняется корректирующим красителем 61 (см. стрелку 93), и снова выполняется тот же самый процесс.
В примере, показанном, например, на Фиг.11, на подложке 12 есть две зоны 55 коррекции (55a и 55b). Поэтому один цикл этапа коррекции может быть выполнен для зоны 55а коррекции, а другой цикл этапа коррекции может быть выполнен для зоны 55b коррекции. В соответствии с техникой, показанной на Фиг.6, пополнение корректирующего красителя 61 необходимо выполнять много раз, даже для коррекции одной зоны 55 коррекции, и поэтому этап коррекции может быть очень длительным. По сравнению с этим, этап коррекции в этом варианте исполнения может быть завершен за более короткое время.
В соответствии с этапами коррекции, показанными на Фиг.8A и 8B, корректирующий штамп 60 перемещается для возврата в первое положение (60a) восемь раз. Настоящее изобретение не ограничено этой величиной. В зависимости от корректирующего красителя 61, нанесенного на корректирующий штамп 60, корректирующий штамп 60, чтобы нанести корректирующий краситель на всю зону 55 коррекции, может возвращаться, например, не восемь раз, а четыре раза, как показано на Фиг.12. В примере, показанном на Фиг.12, корректирующий краситель прилагается в зону в верхнем правом углу. В этом примере корректирующий штамп 60 перемещается так, как показано стрелками 79 от положения 60a к 60b, к 60c, а затем - назад в 60a.
В дополнение, форма зона 55 коррекции не ограничена квадратом, как показано на Фиг.8A, и может быть определена в соответствии с формой дефектного участка 50. На Фиг.13 зона 55 коррекции имеет ромбовидную форму, а этап коррекции (см. стрелку 70) выполняется с использованием корректирующего штампа 60 в указанной зоне 55 коррекции. На Фиг.14 зона 55 коррекции имеет продолговатую форму. Для каждой зоны 55 коррекции траектория перемещения корректирующего штампа 60, количество возвращений корректирующего штампа 60 в первое положение (60а) и иные параметры могут быть определены подходящим образом. Кроме того, в запоминающем устройстве 112 может быть сохранено множество типов программ 113 для коррекции упорядочивающей пленки в соответствии с формами зон 55 коррекции. В этом варианте исполнения может быть использована программа 113 для коррекции упорядочивающей пленки, как сохраненная в запоминающем устройстве 112, так и сохраненная на носителе данных (например, на оптическом диске, на жестком диске, в полупроводниковой памяти и т.д.). Альтернативно, программа 113 для коррекции упорядочивающей пленки может быть передана по Интернету посредством несущей волны с сервера, на котором сохранена эта программа 113 для коррекции упорядочивающей пленки.
Настоящее изобретение было описано посредством предпочтительного варианта исполнения. Вышеприведенные описания не ограничивают настоящее изобретение, и настоящее изобретение может быть изменено самыми различными образами.
Например, Фиг.2 и Фиг.3 показывают конструкцию, в которой выполнены канавки 33 и ребра 34. Технология варианта исполнения в соответствии с настоящим изобретением применима к конструкциям без канавок 33 или ребер 34. Технология варианта исполнения в соответствии с настоящим изобретением применима для коррекции упорядочивающей пленки 30 жидкокристаллической панели, в которой содержащиеся в жидкокристаллическом слое 13 молекулы жидкого кристалла упорядочены вертикально, а также применима для коррекции упорядочивающей пленки 30 жидкокристаллической панели любого иного типа, чем панель с вертикальным упорядочением. Этапы коррекции по этому варианту исполнения применимы независимо от того, образована ли упорядочивающая пленка 30 способом центробежного покрытия, способом напыления или способом струйной печати. Подложка 12 набора и подложка 11 цветовых фильтров образованы со стеклянным покрытием, но технология данного варианта исполнения в соответствии с настоящим изобретением применима также и к любому другому типу подложки (например, к подложке из смолы). Дополнительно, конструкция устройства 20 задней подсветки жидкокристаллического дисплейного устройства 200 не ограничена показанным на Фиг.1 типом во весь набор, а может быть любого иного типа (например, типа с кромочной подсветкой). Устройство 20 задней подсветки не ограничено тем, что включает в себя линейные источники света, а может быть устройством любого другого типа (например, включающее в себя светодиодные источники света).
В соответствии с настоящем изобретением, способ изготовления жидкокристаллической панели позволяет более легко производить устранение дефектного участка упорядочивающей пленки.
Ссылочные позиции
10 - жидкокристаллическая панель
11 - подложка цветовых фильтров (CF)
12 - подложка набора
13 - жидкокристаллический слой 15 - герметизатор 15
17, 18 - поляризационная пластина
20 - устройство задней подсветки
22 - линейный источник света
24 - корпус
26 - оптический лист
28 - рама
29 - скошенный замок
30 - упорядочивающая пленка
31 - изолирующий слой
32 - изолирующий слой
33 - канавка
34 - ребро
35 - корректирующий слой
36 - цветовой фильтр
37 - светоэкранирующий слой
41 - дорожка источника питания
42 - дорожка логических вентилей
44 - переключающий элемент
46 - пиксельный электрод
48 - контрэлектрод
50 - дефектный участок
55 - зона коррекции
60 - корректирующий штамп
61 - корректирующий краситель
62 - держатель штампа
80 - питающий резервуар
81 - промывочная секция
82 - подающая секция красителя
83 - секция приема текучих отходов
84 - резервуар возврата текучих отходов
90 - стол
100 - жидкокристаллическое дисплейное устройство
110 - устройство управления
112 - запоминающее устройство
113 - программа для коррекции упорядочивающей пленки
114 - входное устройство
116 - выходное устройство
120 - подвижное устройство
130 - контрольное устройство
200 - устройство коррекции
Предложен способ изготовления жидкокристаллической панели, позволяющий более легко выполнять коррекцию дефектного участка упорядочивающей пленки. Предложенный способ включает в себя этап коррекции дефектного участка 50 упорядочивающей пленки 30, сформированной на подложке 12, посредством использования корректирующего штампа 60, имеющего нанесенный на него корректирующий краситель 61. Этап коррекции включает в себя этап (a) размещения корректирующего штампа 60 в зоне (зоне коррекции) 55, содержащей дефектный участок 50, этап (b) перемещения корректирующего штампа 60, находящегося в контакте с зоной подложки, из положения 60а, в котором этот корректирующий штамп 60 был размещен на этапе (a), и этап (c) перемещения корректирующего штампа 60 вновь из положения 60b, в которое этот корректирующий штамп 60 был перемещен на этапе (b), в положение 60а, в котором этот корректирующий штамп находился на этапе (а). 4 н. и 6 з.п. ф-лы, 15 ил.
1. Способ изготовления жидкокристаллической панели, включающий в себя этапы:
подготовки подложки, имеющей сформированную на ней упорядочивающую пленку, и
коррекции дефектного участка упорядочивающей пленки посредством использования корректирующего штампа, имеющего нанесенный на него корректирующий краситель,
при этом этап коррекции включает в себя:
этап (a) размещения корректирующего штампа в зоне подложки, содержащей дефектный участок,
этап (b) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, из положения, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a), и
этап (c) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, вновь из положения, в которое этот корректирующий штамп был перемещен на этапе (b), в положение, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a).
2. Способ изготовления жидкокристаллической панели по п.1, в котором этап коррекции дополнительно включает в себя этап перемещения корректирующего штампа для сушки нанесенного на дефектный участок корректирующего красителя.
3. Способ изготовления жидкокристаллической панели по п.1, в котором размер зоны поверхности корректирующего штампа, которая контактирует с подложкой, меньше, чем размер зоны дефектного участка.
4. Способ изготовления жидкокристаллической панели по любому из пп.1-3, в котором этапы (b) и (c) выполняются, по меньшей мере, четыре раза.
5. Способ изготовления жидкокристаллической панели по п.4, в котором этапы (b) и (c) выполняются восемь раз.
6. Жидкокристаллическая панель, содержащая
две подложки, обращенные друг к другу, и
жидкокристаллический слой, находящийся между двумя этими подложками,
при этом:
на поверхности каждой из подложек, которая контактирует с жидкокристаллическим слоем, сформирована упорядочивающая пленка;
на дефектном участке упорядочивающей пленки образован корректирующий слой, и
корректирующий слой образован в результате перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с зоной подложки, содержащей упомянутый дефектный участок, из положения, в котором этот корректирующий штамп был размещен изначально, в другое положение, а затем назад, в положение, в котором этот корректирующий штамп был размещен изначально.
7. Устройство коррекции дефектного участка упорядочивающей пленки, причем устройство коррекции содержит:
корректирующий штамп;
подвижное устройство для перемещения корректирующего штампа, и устройство управления для управления подвижным устройством,
при этом устройство управления управляет перемещением корректирующего штампа таким образом, что это подвижное устройство выполняет:
этап (a) размещения корректирующего штампа в зоне упорядочивающей пленки, содержащей дефектный участок,
этап (b) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, из положения, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a), и
этап (с) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, вновь из положения, в которое этот корректирующий штамп был перемещен на этапе (b), в положение, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a).
8. Устройство коррекции по п.7, дополнительно содержащее контрольное устройство для определения дефектного участка упорядочивающей пленки.
9. Носитель данных, на котором хранится программа для коррекции упорядочивающей пленки для побуждения устройства коррекции, включающего в себя корректирующий штамп для коррекции дефектного участка упорядочивающей пленки, к коррекции упорядочивающей пленки, при этом программа для коррекции упорядочивающей пленки побуждает устройство коррекции к выполнению:
этапа (a) размещения корректирующего штампа в зоне, содержащей дефектный участок,
этапа (b) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, из положения, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a), и
этапа (c) перемещения корректирующего штампа, находящегося в контакте с упомянутой зоной подложки, вновь из положения, в которое этот корректирующий штамп был перемещен на этапе (b), в положение, в котором этот корректирующий штамп был размещен на этапе (a).
10. Носитель данных по п.9, причем этапы (b) и (c) выполняются неоднократно для перемещения корректирующего штампа в зону, содержащую дефектный участок.
СПОСОБ РАБОТЫ РОТОРНОГО ДВИГАТЕЛЯ И РОТОРНЫЙ ДВИГАТЕЛЬ ВНУТРЕННЕГО СГОРАНИЯ | 1991 |
|
RU2023185C1 |
KR 20080030193 A, 04.04.2008 | |||
US 2006050223 A1, 09.03.2006. |
Авторы
Даты
2014-02-20—Публикация
2010-04-28—Подача