Полупроводниковый пиксельный детектор заряженных сильно ионизирующих частиц (многозарядных ионов) Российский патент 2018 года по МПК G01T1/24 

Описание патента на изобретение RU2659717C2

Изобретение относится к измерению ядерных излучений, и в частности к измерению заряженных ионов с помощью полупроводниковых твердотельных детекторов ионизирующих частиц.

В современных полупроводниковых детекторах ионизирующих частиц [1] отклик на факт регистрации частицы происходит в виде электрического сигнала, в отличие от детекторов, формирующих визуальное изображение трека частицы (фотоэмульсии, камеры Вильсона и пузырьковые камеры).

Материал сенсора полупроводник (Si, GaAs, CdTe, CZT,…) должен удовлетворять следующим требованиям: иметь достаточно большое удельное сопротивление (r>10 kOм/см) и достаточно большое время жизни носителей, возникших в результате ионизации детектируемой частицей вещества сенсора. Выполнение этих требований позволяет создать в объеме сенсора путем нанесения металлизации на противоположные поверхности сенсора электродов и подключения к ним источника напряжения электрическое поле достаточной величины для направленного дрейфа свободных носителей, возникших в объеме сенсора, при прохождении через него частицы или гамма-кванта, к электродам и возникновения, в результате этого, импульса тока в цепи подачи напряжения на электроды детектора. Необходимо подчеркнуть, что требование создания в объеме любого сенсора электрического поля - есть одно из основополагающих требований к любому детектору, генерирующему электрический сигнал в качестве отклика на факт регистрации в нем частицы [1-10].

Известны координатные детекторы ионизирующих излучений, выполненные на кремнии. Известные детекторы на кремнии содержат рабочий объем сенсора из высокоомного материала (обычно n-типа проводимости с удельным сопротивлением 15 кОм/см) [1]. На одну поверхность рабочего объема сенсора нанесена сплошная металлизация на другую металлизация в виде параллельных полосок (стрипов) с заданным шагом или двумерной матрицы пикселей, каждый из которых соединен со входом микросхемы считывающей электроники. На описанные обкладки сенсора подается напряжение смещения.

Известны координатные детекторы ионизирующих излучений, выполненные на высокоомном арсениде галлия (GaAs:Cr). Детекторы на GaAs:Cr содержат рабочий объем сенсора из высокоомного GaAs:Cr [2] с удельным сопротивлением до 109 Ом/см. На одну поверхность рабочего объема сенсора нанесена сплошная металлизация, на другую - металлизация в виде параллельных полосок (стрипов) с заданным шагом или двумерной матрицы пикселей, каждый из которых соединен со входом микросхемы считывающей электроники. На описанные обкладки сенсора также подается напряжение смещения.

Недостатком таких детекторов является то, что для обеспечения работы всех этих детекторов требуется источник стабильного питания с напряжением в десятки (для кремния) и сотни (для GaAs:Cr) вольт, что существенно усложняет конструкцию детектора и повышает его вес.

Наиболее близкий аналог - патент пиксельного полупроводникового детектора элементарных частиц "Однослойный полупроводниковый детектор трехмерных изображений (3D)" [10].

Детектор состоит из монолитного слоя высокоомного полупроводникового материала (сенсора), в котором могут возникать заряды в результате взаимодействия частицы, которая будет зарегистрирована. Сенсор имеет сплошной внешний и пиксельный внутренний металлические электроды. К сенсору последовательно подсоединена регистрирующая матричная микросхема с коэффициентом усиления не менее 80 мВ/фКл. Микросхема пиксельной электроники считывания типа Timepix, регистрирует величину зарядов, образовавшихся и дрейфующих под действием приложенного электрического напряжения. Каждый пиксель микросхемы Timepix соединяется с соответствующим пикселем на внутренней поверхности сенсора с помощью метода перевернутого кристалла. На внешние и внутренние металлические электроды сенсора подается напряжение смещения.

Недостатком всех этих, а также и других известных твердотельных полупроводниковых детекторов сильно ионизирующих частиц (многозарядных ионов) является необходимость подключения источника напряжения смещения.

Технической задачей изобретения является устранение этого недостатка. Отсутствие необходимости в источнике напряжения позволит существенно упростить конструкцию детектора, уменьшить его вес, повысить надежность работы детектора и удобство его эксплуатации.

Решение технической задачи заключается в том, что в схему детектора добавлен резистор, который подключен к внешнему металлическому электроду сенсора и регистрирующей микросхеме.

В результате комбинированного эффекта большого энерговыделения (более 4 МэВ) в сенсоре из высокоомного полупроводника и высокой чувствительности современных пиксельных микросхем электроники (коэффициент усиления не менее 80 мВ/фКл при малом уровне шумов <75е-) детектор регистрирует факт прохождения сильно ионизирующей частицы даже при полном отсутствии электрического напряжения смещения, подаваемого на электроды сенсора.

Существенный признак изобретения - включение в схему детектора резистора позволяет отказаться от источника напряжения, подаваемого на металлические электроды сенсора, решает все поставленные технические задачи и открывает новые возможности использования подобных детекторов в условиях ограниченного пространства, энергопотребления и необходимости длительной автономной работы.

Перечень фигур

Фиг. 1 Принципиальная схема пиксельного полупроводникового детектора элементарных частиц (прототип).

Фиг. 2 Принципиальная схема полупроводникового матричного детектора сильно ионизирующих заряженных частиц (многозарядных ионов).

Фиг. 3 и 4 Примеры реализации предлагаемого детектора.

Описание фигур:

На Фиг. 1 представлена принципиальная схема пиксельного полупроводникового детектора элементарных частиц в соответствии с прототипом [10], где:

1 - Монолитный слой высокоомного полупроводникового материала (сенсора);

2 - Сплошной внешний металлический электрод;

3 - Пиксельный внутренний металлический электрод;

4 - Регистрирующая пиксельная микросхема;

5 - Трек заряженной частицы;

6 - Источник напряжения смещения;

На Фиг. 2 представлена принципиальная схема полупроводникового матричного детектора сильно ионизирующих заряженных частиц (многозарядных ионов), где:

1 - Монолитный слой высокоомного полупроводникового материала (сенсора);

2 - Сплошной внешний металлический электрод;

3 - Пиксельный внутренний металлический электрод;

4 - Регистрирующая пиксельная микросхема;

5 - Трек заряженной частицы;

7- Резистор;

На Фиг. 3 представлен пример реализации предлагаемого детектора, а именно факт регистрации ионов криптона (84 Кr) после замены источника питания на сопротивление, где:

- По оси X - номер пикселя вдоль оси X,

- По оси Y - номер пикселя вдоль оси Y,

- Цветовая шкала справа (Е) - энергия, зарегистрированная в пикселе в относительных единицах.

Пример регистрации 16 ионов криптона (84Кr) с энергией 240 МэВ, прошедших за время экспозиции 50 мсек в пучке тяжелых ионов в Лаборатории Ядерных Реакций ОИЯИ через детектор с сенсором из кремния (толщиной 300 мкм) и чипа микроэлектроники Timepix после замены источника питания на сопротивление. Цвет пикселя соответствует энергии, зарегистрированной в данном пикселе (отн.единицы) в соответствии с приведенной цветовой шкалой.

На Фиг. 4 представлен более подробно пример регистрации одного иона криптона (84Кr) с энергией 240 МэВ в пучке тяжелых ионов в Лаборатории Ядерных Реакций ОИЯИ в детекторе с сенсором из кремния (толщиной 300 мкм) и чипа микроэлектроники Timepix после замены источника питания на сопротивление. Цвет пикселя соответствует энергии, зарегистрированной в данном пикселе (отн. единицы) в соответствии с приведенной цветовой шкалой.

- По оси X - номер пикселя вдоль оси X,

- По оси Y - номер пикселя вдоль оси Y,

- По оси Z - энергия (Е), зарегистрированная в пикселе в относительных единицах.

Изобретение может быть использовано в ядерной технике на ускорителях тяжелых ядер и, особенно, при создании установок для регистрации тяжелых ядер в космическом пространстве мало чувствительных к фону от релятивистских однозаряженных частиц (протонов и электронов) и гамма квантов. Для установок, входящих в состав космических аппаратов особенно важно отсутствие в таких детекторах источников постоянного напряжения, что позволит существенно снизить вес и энергопотребление такой аппаратуры.

Источники информации

1. J. Bouchami et al., Fast neutron detection efficiency of ATLAS-MPX detectors for the evaluation of average neutron energy in mixed radiation fields. NIM A 633 (2011)S226-S230.

2. Lukas Tlustos, Georgy Shelkov, Oleg P. Tolbanov. Characterisation of a GaAs(Cr) Medipix2 hybrid pixel detector. NIM A 633 (2011) S103-S107.

3. Прайс В. Регистрация ядерного излучения. «Издательство иностранной литературы», Москва, 1960.

4. Л.К.Л. Юан и Ц. By. Принципы и методы регистрации элементарных частиц. Изд. Иностр. Литературы, Москва 1963 г.

5. Д. Ритсон. Экспериментальные методы в физике высоких энергий. М.: Наука, 1964.

6. К. Кляйнкнехт. Детекторы корпускулярных излучений. М.: Мир 1994.

7. L.Rossi, P.Fischer, T.Rohe, N.Wermes. Pixel Detectors.

Springer ISSN 1611-1052 2006.

8. C. Teyssier, et al., Performance of the Medipix and Timepix devices for the recognition of electron-gamma radiation fields. Nucl.Instrum.Meth. A650 (2011) 92-97,

9. a) X. Llopart, R. Ballabriga, M. Campbell, L. Tlustos, W. Wong - Timepix, a 65k programmable pixel readout chip for arrival time, energy and/or photon counting measurements. NIM A 581 (2007) 485-494,

б) T. Poikela et al., Timepix3: a 65k channel hybrid pixel readout chip with simultaneous toa/tot and sparse readout, Journal of Instrumentation 9 (2014) C05013.

10. Патент США US9297912 "Однослойный полупроводниковый детектор трехмерных изображений (3D)" от 29.03.2016.

Похожие патенты RU2659717C2

название год авторы номер документа
ГИБРИДНЫЙ ПИКСЕЛЬНЫЙ ДЕТЕКТОР ИОНИЗИРУЮЩИХ ИЗЛУЧЕНИЙ 2018
  • Кожевников Данила Александрович
  • Шелков Георгий Александрович
  • Смолянский Петр Игоревич
RU2730045C2
ПЛАНАРНЫЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДЕТЕКТОР 2017
  • Шелков Георгий Александрович
  • Кожевников Данила Александрович
  • Смолянский Петр Игоревич
  • Котов Сергей Анатольевич
  • Кручонок Владимир Геннадьевич
  • Жемчугов Алексей Сергеевич
  • Лейва Фабело Антонио
RU2672039C1
СЕНСОР ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ Р-ТИПА ПРОВОДИМОСТИ 2016
  • Елин Владимир Александрович
  • Меркин Михаил Моисеевич
RU2634324C1
СЕНСОР ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2013
  • Елин Владимир Александрович
  • Меркин Михаил Моисеевич
RU2545502C2
МАТРИЧНЫЙ СЕНСОР ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2013
  • Елин Владимир Александрович
  • Меркин Михаил Моисеевич
RU2551257C1
ГИБРИДНЫЙ ПИКСЕЛЬНЫЙ ФОТОПРИЕМНИК - ДЕТЕКТОР ИЗЛУЧЕНИЙ, КОНСТРУКЦИЯ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ 2015
  • Леготин Сергей Александрович
  • Мурашев Виктор Николаевич
RU2603333C1
Фотоприемное устройство (варианты) и способ его изготовления 2015
  • Кабальнов Юрий Аркадьевич
  • Киселев Владимир Константинович
  • Труфанов Алексей Николаевич
RU2611552C2
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ КООРДИНАТНЫЙ ДЕТЕКТОР ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2006
  • Айзенштат Геннадий Исаакович
  • Лелеков Михаил Александрович
  • Иващенко Анна Ивановна
  • Толбанов Олег Петрович
RU2306633C1
ДЕТЕКТОР ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2000
  • Айзенштат Г.И.
  • Толбанов О.П.
  • Хан А.В.
RU2178602C2
ДЕТЕКТОР ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2002
  • Айзенштат Г.И.
  • Воробьев А.П.
  • Толбанов О.П.
RU2229730C2

Иллюстрации к изобретению RU 2 659 717 C2

Реферат патента 2018 года Полупроводниковый пиксельный детектор заряженных сильно ионизирующих частиц (многозарядных ионов)

Использование: для создания полупроводникового пиксельного детектора сильно ионизирующих заряженных частиц. Сущность изобретения заключается в том, что детектор включает последовательное соединение монолитного слоя высокоомного полупроводникового материала (сенсора) со сплошным внешним и пиксельным внутренним металлическими электродами и регистрирующей пиксельной микросхемы с коэффициентом усиления не менее 80 мВ/фКл, при этом из схемы детектора исключен источник напряжения смещения и добавлен резистор, который подключен к внешнему металлическому электроду сенсора и регистрирующей схеме. Технический результат - обеспечение возможности упрощения конструкции детектора, снижения веса и энергопотребления такой аппаратуры, повышения надежности работы детектора и удобство его эксплуатации. 4 ил.

Формула изобретения RU 2 659 717 C2

Полупроводниковый пиксельный детектор сильно ионизирующих заряженных частиц (многозарядных ионов), включающий последовательное соединение монолитного слоя высокоомного полупроводникового материала (сенсора) со сплошным внешним и пиксельным внутренним металлическими электродами и регистрирующей пиксельной микросхемы с коэффициентом усиления не менее 80 мВ/фКл, отличающийся тем, что в схему добавлен резистор, который подключен к внешнему металлическому электроду сенсора и регистрирующей микросхеме.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2018 года RU2659717C2

F
Krejci, J
Jakubek, M
Kroupa, P
Bruzab and D
Panek, Pixel detector Timepix operated in pile-up mode for pulsed imaging with ultra-soft X-rays, 14th INTERNATIONAL WORKSHOP ON RADIATION IMAGING DETECTORS, FIGUEIRA DA FOZ, PORTUGAL, 1-5 JULY 2012
M
Kroupa, J
Jakubek and P
Soukup, Optimization of the spectroscopic response of the Timepix detector, 13th INTERNATIONAL WORKSHOP ON RADIATION IMAGING DETECTORS, ETH ZURICH, SWITZERLAND, 3-7 JULY 2011
WO 2016197338 A1, 15.12.2016
СПОСОБ ОЦЕНКИ ОСТАТОЧНОГО РЕСУРСА ОСНОВНЫХ УЗЛОВ ГАЗОТУРБИННОЙ УСТАНОВКИ 2018
  • Лифшиц Михаил Валерьевич
RU2703846C1
US 9134439 B2, 15.09.2015
EP 1531344 A1, 18.05.2005
Затвор к замочной скважине 1928
  • Федотов М.А.
SU14137A1

RU 2 659 717 C2

Авторы

Шелков Георгий Александрович

Кожевников Данила Александрович

Смолянский Петр Игоревич

Демичев Михаил Андреевич

Котов Сергей Анатольевич

Кручонок Владимир Геннадьевич

Жемчугов Алексей Сергеевич

Абдельшакур Эль Саид Мохаммед Абу Эльазм

Даты

2018-07-03Публикация

2016-12-22Подача