Способ деселекции последовательностей избыточно шумящих элементов в каналах инфракрасного фоточувствительного модуля с режимом временной задержки и накопления Российский патент 2023 года по МПК H01L27/00 

Заявляемый способ относится к средствам обнаружения дефектов в многоканальных инфракрасных (ИК) фоточувствительных модулях (ФМ) с режимом временной задержки и накопления (ВЗН) и применяется для обнаружения в каналах ИК ФМ последовательностей избыточно шумящих (дефектных) элементов и деселекции (отключения) обнаруженных последовательностей, что позволяет увеличить отношение сигнал/шум (ОСШ) каналов ИК ФМ.

На фиг. 1 представлена упрощенная блок-схема канала ИК ФМ формата N×M с режимом ВЗН, где параметр формата N - целое положительное число фоточувствительных элементов (ФЧЭ) в каждом канале фотоприемника, а параметр формата М - целое положительное число каналов в фотоприемнике. На фиг. 1 обозначены:

1. Фоточувствительный элемент;

2. Входная ячейка (ВЯ), расположенная вдоль направления сканирования;

3. Ключ RD из общей для всех ВЯ коммутационной шины BUS;

4. Коммутационная шина BUS с ключами RD и RDT, общая для всех ВЯ;

5. Ключ RDT из общей для всех ВЯ коммутационной шины BUS;

6. Конденсатор выборки-хранения C_{SH ВЗН}sh;

7. Блок ФНЧ/КУ для подстройки либо фильтра нижних частот (ФНЧ), либо коэффициента усиления (КУ);

8. ВЗН-регистр для суммирования и задержки сигнала в форме заряда;

9. Зарядочувствительный усилитель Q/V;

10. Аналого-цифровой преобразователь (АЦП);

11. Выходной сигнал OUT канала ИК ФМ.

В каждом канале ИК ФМ имеются N фоточувствительных элементов ФЧЭ_1,…,ФЧЭ_N, N входных ячеек ВЯ₁,…,ВЯ_N, одна общая для всех ВЯ коммутационная шина BUS с ключами RD₁,…,RD_N и RDT₁,…,RDT_N, N конденсаторов выборки-хранения C_{SH ВЗН1},…,C_{SH ВЗНN}, N блоков ФНЧ/КУ_1,…,ФНЧ/КУ_N, один ВЗН-регистр, а также один зарядочувствительный усилитель Q/V. Если фотоприемник является цифровым, то после усилителя Q/V устанавливается один АЦП.

В канале каждому ФЧЭ_i(1≤i≤N) соответствуют свои ВЯ_i, ключи RD_i и RDT_i, конденсатор выборки-хранения C_SHВЗНi и блок ФНЧ/КУ_i. Указанная последовательность элементов для простоты будет называться элементной цепочкой или цепочкой. Итого в каждом из М каналов ИК ФМ формата N×M содержатся N элементных цепочек. Максимально допустимое число деселектируемых цепочек в каждом канале ИК ФМ, обозначим K, K - целое положительное число, меньшее N.

Прохождение сигналов в каждом канале в режиме ВЗН состоит в следующем. Сначала оптический сигнал попадает на входы ФЧЭ. После этого выходные сигналы всех ФЧЭ поступают на соответствующие ВЯ, расположенные вдоль направления сканирования. Затем выходные сигналы ВЯ через общую коммутационную шину BUS при помощи ключей коммутируются на конденсаторы выборки-хранения с последующей фильтрацией либо усилением посредством блоков ФНЧ/КУ, предназначенных для подстройки либо ФНЧ, либо КУ. После блоков подстройки сигналы попадают на вход ВЗН-регистра, выходной сигнал регистра представляет собой сумму его входных сигналов. Выходной сигнал ВЗН-регистра передается на вход зарядочувствительного усилителя, где происходит преобразование заряда в напряжение. Если ИК ФМ является цифровым, то выходной сигнал зарядочувствительного усилителя попадает на вход АЦП, где происходит его оцифровка. Выходной сигнал канала OUT поступает на внешнее относительно ИК ФМ устройство обработки информации.

В настоящее время известен способ выявления цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ фиксированного формата 6×576 [Балиев Д.Л. Влияние многократных термоударов на распределение элементов с повышенным шумом в многорядном МФПУ / Д.Л. Балиев, К.О. Болтарь // Прикладная физика. - 2015. - №3. - С. 57-60]. Данный способ предлагает за счет отключения цепочек дефектных элементов увеличить ОСШ каналов ИК ФМ формата 6x576 с режимом ВЗН. Отключение цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ осуществляется за счет выявления цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ. Выявление цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ осуществляется обработкой сигналов и шумов цепочек каналов ИК ФМ с использованием критериев наличия в цепочке дефектных элементов. Выявление цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ и их последующее отключение осуществляются после получения массивов многократных прямых измерений напряжения сигналов и шумов цепочек каналов ИК ФМ. Измерения проводят после установки абсолютно черного тела (АЧТ) на оптической оси с ИК ФМ и облучения фотоприемника. Недостатком известного способа является его привязка к конкретному формату ИК ФМ. Недостаток обусловлен тем, что критерии наличия в цепочке дефектных элементов использует фиксированные значения параметров формата ИК ФМ.

Задача, которая решается в заявляемом изобретении, заключается в увеличении ОСШ каналов ИК ФМ произвольного формата с режимом ВЗН за счет деселекции цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ.

Способ деселекции цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ с режимом ВЗН заключается в том, что устанавливают АЧТ на оптической оси с ИК ФМ, облучают ИК ФМ посредством АЧТ, многократно измеряют напряжения сигналов и шумов цепочек каналов ИК ФМ, обрабатывают измеренные напряжения с использованием критерия наличия в цепочке дефектных элементов, выявляют цепочки дефектных элементов в каналах ИК ФМ по результатам обработки, отключают выявленные цепочки в каналах ИК ФМ, выявление цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ осуществляют посредством обработки сигналов цепочек каждого канала с помощью соотношения (1):

цепочка содержит дефектные элементы, если левая часть соотношения меньше правой части, где N - число ФЧЭ в каждом канале ИК ФМ, k - количество цепочек канала, в которых известно наличие дефектных элементов, j - номер канала ИК ФМ, i - номер значения дисперсии напряжения шума цепочки в сортированном по возрастанию массиве из N значений дисперсий напряжений шумов различных цепочек j-го канала, S_i,j - среднее арифметическое значение напряжения сигнала цепочки j-го канала, δ²_i,j - дисперсия напряжения шума цепочки j-го канала, каждому значению δ²_i,j дисперсии напряжения шума цепочки соответствует значение S_i,j среднего арифметического напряжения сигнала цепочки.

Поставленная задача решается за счет того, что обнаружение цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ обеспечивается обработкой сигналов и шумов цепочек каналов ИК ФМ с использованием общего критерия (1) наличия в цепочке дефектных элементов. Основное отличие общего критерия, применяемого в заявляемом способе, от критериев, применяемых в известном способе - новый критерий представляет собой правила, в которых параметры формата ИК ФМ присутствуют в виде переменных.

Обнаружение цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ обеспечивает увеличение ОСШ в каналах ИК ФМ за счет того, что отбираются наиболее шумящие цепочки в одном канале. Отобранные цепочки посредством нового критерия проверяются на наличие дефектных элементов. Таким же образом проверяются и другие цепочки в остальных каналах ИК ФМ. В результате проверки выявляются цепочки дефектных элементов в каналах ИК ФМ. Выявленные цепочки подлежат отключению, их отключение приводит к увеличению ОСШ в каналах ИК ФМ.

Обработка сигналов и шумов цепочек каналов ИК ФМ с использованием общего критерия обеспечивает увеличение ОСШ в каналах ИК ФМ независимо от формата ИК ФМ. Это происходит за счет того, что новый критерий представляет собой правило, в котором параметры формата ИК ФМ присутствуют в виде переменных. Такое использование значений параметров обеспечивает общность используемого правила по отношению к ИК ФМ различного формата.

Деселекцию цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ с режимом ВЗН осуществляют следующим образом.

Сперва устанавливают АЧТ на оптической оси с ИК ФМ, после этого облучают ИК ФМ. Затем выполняют многократные прямые измерения напряжений сигналов и шумов цепочек каналов ИК ФМ. По полученной измерительной информации рассчитывают средние арифметические значения напряжений сигналов цепочек каналов и оценки дисперсий напряжений шумов. Для краткости дисперсия напряжения шума будет обозначаться как дисперсия шума, а среднее арифметическое значение напряжения сигнала как средний сигнал.

Результаты расчетов и оценок для каждого канала представляют собой сортированную по возрастанию выборку из N значений дисперсий шумов δ²₁,…,δ²_N, а также выборку из N значений средних сигналов S₁,…,S_N. δ²₁ - дисперсия шума цепочки с минимальной дисперсией среди δ²₁,…,δ²_N. δ²_N - дисперсия шума цепочки с максимальной дисперсией среди δ²₁,…,δ²_N. Каждой дисперсии δ²_i соответствует свое значение среднего сигнала S_i.

По результатам расчетов и оценок детектируют цепочки дефектных элементов в каналах ИК ФМ. При детектировании цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ произвольного формата используют новый, по отношению к известному способу, критерий наличия в канале с номером j (1≤j≤M) цепочек дефектных элементов. Данный критерий позволяет обнаружить вышеуказанные цепочки посредством обработки сигналов и шумов цепочек каждого канала с помощью соотношения (1).

Критерий позволяет сравнить ОСШ с цепочкой, имеющей максимальную дисперсию среди дисперсий N - k цепочек, и ОСШ без данной цепочки. Условие (1) представляет собой цикл, который последовательно проходит по цепочкам j-го канала и повторяется для каналов с другими номерами.

Формулировка критерия (1) исходит из следующего. Имеется ИК ФМ формата N×M, в j-ом канале которого имеются k цепочек, в которых известно наличие дефектных элементов. Тогда цепочка с максимальной дисперсией шума δ²_N-k,j среди дисперсий шума N - k цепочек считается имеющей дефектные элементы, если отношение суммы средних сигналов N - k цепочек к квадратному корню из суммы дисперсий шумов N - K цепочек меньше того же самого отношения, но не учитывающего цепочку с дисперсией δ²_N-k,j.

Иными словами, элементная цепочка с максимальной дисперсией шума среди дисперсий шума остальных цепочек j-го канала считается содержащей дефектные элементы, если левая часть соотношения (1) меньше, чем правая часть соотношения (1).

Критерий наличия в каналах ИК ФМ цепочек дефектных элементов определяется последовательностью действий:

1) задать номер канала j=1;

2) задать k=0;

3) вычислить k+1;

4) проверить условие (1). Если оно не выполнилось, то отвергнуть для j-го канала наличие дефектных элементов в цепочке, имеющей дисперсию δ²_N-k,j, и считать, что в j-ом канале имеются ровно k цепочек с дефектными элементами. Перейти к пятому шагу. Если же условие (1) выполнилось, то принять для j-го канала наличие дефектных элементов в цепочке, имеющей дисперсию δ²_N-k,j, и считать, что в j-ом канале имеются k+1 цепочек с дефектными элементами. Перейти к седьмому шагу;

5) увеличить номер канала j на единицу;

6) если j≤М, то вернуться ко второму шагу. Если же j>М, то перейти к девятому шагу;

7) увеличить k на единицу;

8) если k≤K-1, то вернуться к третьему шагу. Если же k>K, то считать, что в j-ом канале имеются как минимум K цепочек с дефектными элементами. Вернуться к пятому шагу;

9) завершить проверку на наличие цепочек с избыточно шумящими элементами в каналах ИК ФМ и деселектировать данные цепочки в каналах фотоприемника.

Реализацию способа деселекции можно представить в виде схемы на фиг. 2.

Результаты деселекции цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ с режимом ВЗН при использовании заявляемого способа иллюстрируются на фиг. 3-5.

На фиг. 3 продемонстрировано распределение ОСШ по каналам ИК ФМ формата 6×576 до деселекции. На графике по горизонтальной оси отложены номера каналов, а по вертикальной оси отложены значения ОСШ до деселекции в процентах от максимального значения ОСШ до деселекции. Непрерывной толстой линией обозначено распределение ОСШ по каналам до деселекции, а пунктирной толстой линией обозначено среднее арифметическое значение ОСШ до деселекции. Минимальное значение ОСШ равно 36,9%, максимальное значение ОСШ равно 100%, среднее арифметическое значение ОСШ равно 78,8%.

На фиг. 4 продемонстрировано распределение ОСШ по каналам ИК ФМ формата 6×576 после деселекции не более двух избыточно шумящих элементов. На графике по горизонтальной оси отложены номера каналов, а по вертикальной оси отложены значения ОСШ после деселекции в процентах от максимального значения ОСШ до деселекции. Непрерывной толстой линией обозначено распределение ОСШ по каналам после деселекции, а пунктирной толстой линией обозначено среднее арифметическое значение ОСШ после деселекции. Минимальное значение ОСШ равно 37,3%, максимальное значение ОСШ равно 110%, среднее арифметическое значение ОСШ равно 84,5%.

На фиг. 5 показано распределение разницы между ОСШ до и после деселекции по каналам ИК ФМ формата 6×576. На графике по горизонтальной оси отложены номера каналов, а по вертикальной оси отложены значения разницы между ОСШ до и после деселекции в процентах от максимального значения ОСШ до деселекции. Непрерывной толстой линией обозначено распределение разницы между ОСШ до и после деселекции по каналам, а пунктирной толстой линией обозначено среднее арифметическое значение разницы между ОСШ до и после деселекции. Видно, что существуют каналы, ОСШ которых после деселекции не изменилось. Есть каналы, ОСШ которых после деселекции значительно увеличилось, максимальная увеличение составило 37,6%. В среднем ОСШ каналов ИК ФМ после деселекции увеличилось на 5,7%.

Осуществление способа на практике обеспечивается устройством деселекции последовательностей избыточно шумящих элементов в каналах ИК ФМ с режимом ВЗН. На фиг. 6 приведена блок-схема указанного устройства. На фиг. 6 обозначены:

12. Дюар с азотом;

13. АЧТ с регулируемым диаметром диафрагмы, находящееся на оптической оси с модулятором, диафрагмой, заслонкой и входным окном криостата, внутри которого находится ИК ФМ;

14. Блок управления модулятором;

15. Модулятор;

16. Внешняя металлическая зачерненная диафрагма с датчиком температуры;

17. Круглая зачерненная заслонка (устанавливается только при измерении напряжения шума);

18. Входное окно криостата;

19. ИК ФМ внутри криостата напротив входного окна криостата;

20. Криостат с входным окном, датчиками температуры и давления;

21. Высоковакуумный насос;

22. Блок управления и питания (БУиП);

23. Плата аналого-цифрового преобразования (ПАЦП);

24. Персональная электронно-вычислительная машина (ПЭВМ) со следующими программными блоками:

- виртуальный прибор (ВП) для дистанционного контроля БУиП;

- блок сохранения данных;

- блок расчета средних арифметических значений напряжений сигналов последовательностей избыточно шумящих элементов в каналах ИК ФМ и оценки дисперсий напряжений шумов последовательностей избыточно шумящих элементов в каналах ИК ФМ;

- блок детектирования последовательностей избыточно шумящих элементов в каналах ИК ФМ.

Работа с устройством производится следующим образом.

АЧТ с регулируемым диаметром диафрагмы устанавливается на оптической оси с модулятором, диафрагмой, заслонкой и входным окном криостата, напротив которого будет размещаться ИК ФМ.

ИК ФМ размещается в криостате таким образом, чтобы ИК ФМ находился напротив входного окна окно криостата. Затем внутри криостата с помощью высоковакуумного насоса снижается давление до высокого вакуума, уровень давления контролируется соответствующим датчиком внутри криостата. Затем ИК ФМ охлаждается с помощью жидкого азота до необходимой температуры, контроль которой выполняется соответствующим датчиком внутри криостата. Затем выполняется питание и первичная настройка ИК ФМ посредством БУиП. Настройка может выполняться вручную с лицевой панели БУиП, так и дистанционно с помощью ВП, который передает команды от ПЭВМ к БУиП через ПАЦП.

Затем включается АЧТ с регулируемым диаметром диафрагмы и модулятор оптического излучения, управление которым выполняется соответствующим модулем. Изменяя температуру АЧТ и скорость вращения диска модулятора, настраивается формируемый оптический сигнал. Оптический сигнал попадает во входное окно криостата, перед самим входным окном на пути следования оптического сигнала устанавливается внешняя металлическая зачерненная диафрагма («шторка») с датчиком температуры, регулировка температуры «шторки» позволяет изменять мощность фонового излучения.

Затем выполняется юстировка, которая позволяет совместить ИК ФМ с центром диафрагмы АЧТ.

После юстировки переходят к многократным прямым измерениям напряжений сигналов цепочек каналов ИК ФМ. Для этого температура АЧТ и диаметр диафрагмы АЧТ, а также скорость вращения диска модулятора настраиваются таким образом, чтобы равномерно засветить все ФЧЭ в ИК ФМ, после чего выполняются измерения п значений напряжения сигнала для каждой цепочки каждого канала ИК ФМ. п лежит в пределах нескольких сотен тысяч.

После измерений напряжений сигналов проводят многократные прямые измерения напряжений шумов цепочек каналов ИК ФМ. Для этого круглая зачерненная заслонка располагается между охлажденной «шторкой» и входным окном криостата с ИК ФМ, при этом круглая зачерненная заслонка должна закрывать входное окно. Таким образом, круглая зачерненная заслонка выступает в качестве источника оптического сигнала. После этого выполняются измерения п значений напряжения шума для каждой цепочки каждого канала ИК ФМ. Количество измерений напряжения шума каждой цепочки каждого канала совпадает с количеством измерений напряжения сигнала каждой цепочки каждого канала.

Время измерения напряжения шума одной цепочки определяется, исходя из п измерений напряжения шума и скорости измерения напряжения шума. Если скорость равна 465 измерениям в секунду, а n=209250, то деление n на скорость даст время измерения напряжения шума одной цепочки, равное 7,5 минутам. Измерения ведутся в параллельном режиме, это означает, что одновременно измеряются значения напряжения шума одной цепочки во всех каналах ИК ФМ.

Время измерения напряжения сигнала одной цепочки определяется, исходя из n измерений напряжения сигнала и скорости измерения напряжения сигнала. Если скорость равна 465 измерениям в секунду, а n=209250, то деление n на скорость даст время измерения напряжения сигнала одной цепочки, равное 7,5 минутам. Измерения ведутся в параллельном режиме, это означает, что одновременно измеряются значения напряжения сигнала одной цепочки во всех каналах ИК ФМ.

Измерительная информация поступает на БУиП, который усиливает и фильтрует выходные сигналы ИК ФМ. Из БУиП данные передаются в ПЭВМ через ПАЦП. ПАЦП преобразует обработанные посредством БУиП выходные сигналы ИК ФМ в цифровой код, который используется в блоках ПЭВМ. В ПЭВМ информация передается в ВП, где происходит отображение результатов измерений. Из ВП результаты измерений передаются в блок сохранения данных.

Выполнить представленные многократные прямые измерения напряжений сигналов и шумов цепочек каналов ИК ФМ возможно за счет переключения ИК ФМ из режима ВЗН в режим «bypass», который позволяет выводить сигнал с одной выбранной элементной цепочки для всех каналов. На фиг. 7 представлена упрощенная блок-схема канала ИК ФМ в режиме «bypass». Обозначения, принятые на фиг. 7, полностью совпадают с обозначениями, принятыми на фиг.1.

Опишем режим «bypass». В каждом канале ИК ФМ имеются N ФЧЭ. Выбирается одна цепочка с i-ым ФЧЭ, характеристики которой необходимо измерить в каждом канале. Оптический сигнал подается на вход i-го ФЧЭ, выходной сигнал данного элемента поступает на i-ую ВЯ. С помощью ключей RD_i и RDT_N шины BUS выходной сигнал ВЯ коммутируется на конденсатор C_{SH ВЗНN}, после чего фильтруется либо усиливается блоком ФНЧ/КУ_N. Отфильтрованный, либо усиленный сигнал подается на вход зарядочувствительного усилителя в обход ВЗН-регистра, далее в случае цифрового ИК ФМ выходной сигнал усилителя оцифровывается с помощью АЦП. Выходной сигнал канала OUT подается на внешнее относительно ИК ФМ устройство обработки. В процессе измерений характеристик в режиме «bypass» включенной остается только одна цепочка, остальные цепочки отключены, так как все ключи, кроме RD_i и RDT_N, разомкнуты. На этом описание режима «bypass» завершается.

Из блока сохранения данных сохраненная на ПЭВМ измерительная информация передается в блок расчета средних арифметических значений напряжений сигналов цепочек каналов и оценки дисперсий напряжений шумов.

Результаты расчетов и оценок передаются в блок детектирования цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ. В блоке вводятся параметры формата N и M, a также параметр K.

Информация о деселектируемых цепочках передается в БУиП через ПАЦП следующим образом. Блок детектирования цепочек дефектных элементов в каналах ИК ФМ формирует файл, в котором записана информация о цепочках дефектных элементов. Через ВП данный файл выбирается оператором. ВП преобразует считанную из файла информацию в одномерный массив байт.Оператор отправляет данный массив от ПЭВМ к БУиП через ПАЦП. БУиП принимает отправленный массив и считывает из него, в каких каналах ИК ФМ расположены цепочки дефектных элементов, для каждого такого канала считываются число цепочек дефектных элементов и позиции этих цепочек в канале. Затем БУиП организовывает деселекцию указанных выше цепочек в каналах ИК ФМ, отправляя соответствующие команды ИК ФМ.

Заявляемый способ относится к средствам обнаружения дефектов в многоканальных инфракрасных фоточувствительных модулях с режимом временной задержки и накопления. Техническая задача заключается в увеличении отношения сигнал/шум каналов инфракрасного фоточувствительного модуля произвольного формата с режимом временной задержки и накопления за счет деселекции цепочек дефектных элементов в каналах фотоприемника. Поставленная задача решается за счет того, что обнаружение цепочек дефектных элементов в каналах инфракрасного фоточувствительного модуля обеспечивается обработкой сигналов и шумов цепочек каналов фотоприемника с использованием общего критерия наличия в цепочке дефектных элементов. Основное отличие общего критерия от критериев, применяемых в известном способе - новый критерий представляет собой правила, в которых параметры формата инфракрасного фоточувствительного модуля присутствуют в виде переменных. Обнаружение цепочек дефектных элементов в каналах инфракрасного фоточувствительного модуля обеспечивает увеличение отношения сигнал/шум в каналах фотоприемника за счет того, что отбираются наиболее шумящие цепочки в одном канале. Отобранные цепочки посредством нового критерия проверяются на наличие дефектных элементов. Таким же образом проверяются и другие цепочки в остальных каналах инфракрасного фоточувствительного модуля. 7 ил.

Способ деселекции последовательностей избыточно шумящих элементов в каналах инфракрасного фоточувствительного модуля с режимом временной задержки и накопления заключается в том, что устанавливают абсолютно черное тело на оптической оси с инфракрасным фоточувствительным модулем, облучают инфракрасный фоточувствительный модуль посредством абсолютно черного тела, многократно измеряют напряжения сигналов и шумов цепочек каналов инфракрасного фоточувствительного модуля, обрабатывают измеренные напряжения с использованием критерия наличия в цепочке дефектных элементов, выявляют цепочки дефектных элементов в каналах инфракрасного фоточувствительного модуля по результатам обработки, отключают выявленные цепочки в каналах инфракрасного фоточувствительного модуля, выявление цепочек дефектных элементов в каналах инфракрасного фоточувствительного модуля осуществляют посредством обработки сигналов цепочек каждого канала с помощью соотношения:

,

цепочка содержит дефектные элементы, если левая часть соотношения меньше правой части, где N - число фоточувствительных элементов в каждом канале фотоприемника, k - количество цепочек канала, в которых известно наличие дефектных элементов, j - номер канала фотоприемника, i - номер значения дисперсии напряжения шума цепочки в сортированном по возрастанию массиве из N значений дисперсий напряжений шумов различных цепочек j-го канала, S_i,j - среднее арифметическое значение напряжения сигнала цепочки j-го канала, δ²_i,j - дисперсия напряжения шума цепочки j-го канала, каждому значению δ²_i,j дисперсии напряжения шума цепочки соответствует значение S_i,j среднего арифметического напряжения сигнала цепочки.