Способ контроля герметичности систем передачи газов Советский патент 1983 года по МПК G01M3/28 

(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ СИСТЕМ

1

Изобретение относится к технике испытаний на герметичность систем передачи газов высокой степени чистоты, преимущественно в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.

Известен способ обнаружения утечек в вакуумных системах по проникновению контрольного вещества из окружающей среды в систему и сорбированию его индикатором 1.

Этот способ не позволяет производить количественнуюоценку течи.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ определения утечки в системе трубопроводов, заключающийся в том, что из потоков газа в трубопроводах отбирают пробы и исследуют их на наличие контрольного газообразного вещества, окружающего систему 2.

Этот способ также не позволяет количественно оценить герметичность ПЕРЕДАЧИ ГАЗОВ

системы без .нарушения хода технологического процесса.

Целью изобретения является обеспечение возможности количественной оценки герметичности системы без нарушения хода технологического процесса. .

Эта цель достигается тем, что согласно способу контроля герметичнос10ти систем передачи газов, включающему операцию определения наличия в транспортируемом газе контрольного газообразного вещества, окружающего систему, измеряют концентрации конт15рольного вещества на входе и выходе системы и расход транспортируемого газа и по этим данным определяют степень герметичности.

20

Произведение изменения концентрации контрольного газа на величину расхода транспортируемого газа характеризует скорость изменения количества контрольного вещества в системе, т.е. величину натекания. В качестве контрольного вещества могут быть использованы компоненты атмосферного воздуха, например, пары воды или кислород, не входящие в состав транспортируемого газа. Формирование электрических сигналов, пропорциональных измеряемым величинам, позволяет автоматизировать способ.

Способ осуществляется следующим образом.

Например, при контроле герметичности газовой системы диффузионной печи, предназначенной для транспортировки высокочастотных газов, осушенных до -б5 С по точке росы, измеряют концентрацию влаги на входе и выходе системы с помощью кунолометрических преобразователей с точноетью до 1-10 об.. Расход газа в системе измеряют с помощью термоанемометрического преобразователя расхода. В диапазоне расходов газа 18-36 л/ч регистрируемая величина натекания составляет П, мг/ми

Использование предложенного способа позволяет контролировать с высокой чувствительностью без прерывания технологического процесса количество проникающих в систему газообразных примесей и тем самым предотвратить брак при проведении таких процессов как диффузия, эпитаксия, плазмохимия.

Формула изобретения

Способ контроля герметичности систем передачи газов, включающий операцию- определения наличия в транспортируемом газе контрольного газообразного вещества, окружащего систему, отл1}чающийся тем, что, с целью обеспечения возможности количественной оценки герметичности без нарушения хода технологического процесса, измеряют концентрации контрольного вещества на входе и выходе системы, а также расход транспортируемого газа, и по этим данным определяют степень герметичности. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент Англии № 142920-t, кл. G 1 N, опублик. 1976.

2.Патент ФРГ № 1573799, кл. G 01 М 3/20, опублик. (прототип).