Способ контроля геометрических параметров электровакуумных приборов Советский патент 1983 года по МПК H01J9/42 

1 i()Изобретение относится к элек1ро ной тсхнмк и может бьпь испо; ьзовано для коктрс.ля и анлиза геометрических параметров электровакуумных приборов, в часшости электронных ламп стержневой конструкции в процессе six производства.

Известны способы контроля и анализа электровакуумных приборов, оснозанные на измерении геометрических к электрических параметров прнборов.

Сотласно известатлм способам .определение характер,стмк осу.цестБЛяется путем исследовани;-1 1йпрайленкЁ изменения (или знаков хоэффиниентов ;;сорре)лций;) межв.у определенньл- ;и ;;лект1жческимт- napaf.jCTpaMH и анализа нйкальпых хЕркхюристик .гфкбора; измерения меж3JiCKTpo, емкос 5Й, неиосредствеиного кзкюрзк я размероз электродов видимой части прибо;; :; дг-монтажа собранной арматурм пргдбсра и ксполъзовакия рснтгег1О-телевизион}юго RiKKpocKOisa .

Эт1 опос.обьг ве поззоляют установить, имее лк л.есто /сзформащш электродов или паралirejibHbiii 171,в;ц лтежэлектродных расстояний, а также выбрать ту плоскость сечения, в кото- рой максимально выражена деформаюля электродо:х чflJiлю-uэлcя ОСНОВНОЙ причиной отклоКения элскгрическЕК параметров прибора.

Hiaiijoriee бякзккч к изобрзтснню по технической cyaiHociK хйЛЕетсяспособ контроля 1 ометр чес; ;их ааряметров электровакуу лиых пряоороь ; ojieTpoHHbiM потоком путем йзготовле1;ня плоски; шляфов продольных и поперечлых (;счо;ЫЙ прибора измерения геюметркчесKVix ииг; ;л€трои И сравкен1ш с заданным значекием. Jl;;3 сохранения общей геометрической . конфигурации и межэлектродных расстояний детали прибора фкксирзют в неизмоном положении jnoKCHUJtbiiv; компаундом 2.

О/хиШГО даьгаь:й cnotoo не позволяет провести TO4Hbiii лоитрол :. л обьективный анализ геометри-е:чкх ларамссров злектровакуумнь1Х приборов, jiocKOJiistxy сьОбеспечивает точное измерение размеров электродов и межэлектроднььч расстояБий только в плоскости шлифа, выбос

,

которой сЛ/часн. Способ позволяет СПределмгъ непбхо,ги1ьг/ю плоскость сечения арийора для нягифа, по которо / можно было бы судить с ;фкчке отклонения, электрических параметров прирора.

Цель изобретения -- гювышение точности

контрг;ля Л объекткЕ1-;остк анализа геометрических параметров электровакууш-1Ь.1:с приборов.,

Поставленная цель достигается тем, что согласио. способу контроля геометрическихлараметров электровакуумных приборов с электронным потоком путем изготовлена: плоских щккфоь; лродольиых и поперечных

ce iiHUH прибора, измергния геомсупических параметрий и сравнения с заданным значением до изготовления шлифов создают магнитное лоле, аерпеиднкулярное злекТйо; ному потоку и снимаю характерК;:;.кки токораспряделения ме;1сду электродам: ;:. прлСорс отседеляют область максималысого этк; онения токораспределения от нормы к пеосмемдйют в этой области магнитное поле вокруг оси прибора, после чего сравнимаюу по. -чекное то1сораспредеяе1 ис с эталонным к онределлгУ вид нарушегетя геометрических гараметров. а по области макс 1малъпОго откяокеннк окораспределенкя - ялсскость сечения для г- зготовлекия шлифа, кзготавзтавоют шлиф и эсуи,ествляют его анапма.

;lpii ;угсм лрв &иа;;изс з;::с;к гровакуу иых npi-гбороа стержне)2ОЙ (конструкции, снимая харй1;:геристики токорасиределения wzyxny элек-. тродамк ц гфяборй, 4:Сиользувт элск1родь1 катод110-с.етЬчно;:0 узла КУК знутренкке по.чюсные наконечнкки то повышает точност -. а.кйлиза.

При деформации злектродоз вдоль оси гфибора между электрог-дми изменяется магнитный зазор и,, соответственно; изменяется напряженносгь магнктясго поля, которая П зиводит к отклонению TCicopacnpfделения з области дефорiKiixKH, к Ни отдельных исгках Кзивой токорзсяределений имеются откло. енкч о монотонного й31леяеиия токопаспределсний,

параллельном смещении межзлектродHbix ргсстоя нй ппоисхсдкт oBijiee смещение то1 орасг1ределек:1Я о::1;о-;;ятель; о пормь, и монотонность кривых но нарушается.

На фмг. 1 изобр2 :сена стержневая лампа, помещенная между r;o.iiioca;v:H Глагнита при перемещении его вдоль оси катода ло нанравлению стрелк1г: на фиг. 2 -- кривьге изменения токока сеткй ;. катода I; lia фи1. 3 - стсрж1-1СБгя лампа в поперечиорл сечении, иомешенпак между тголюсамм магнита при вращении его вокруг оси катода лигугли; (ка11р. вращения указано стролксй) : на фиг. ;. кривые изменения токораспределения при вращении магнитного ноля BOicpyr оси катода лампъд.

На фиг. 2 к фиг. & по оси ординат отложены значеии.я юка ансхда и тока сетки. По оси абсиясс на фиг- 2 отложйно расстояние от ножкк Лймил до середины полюсного накоиечника мапшта при .леосг гещеяии его вдоль оси лампы, на фиг. 4 - /-ль;. иокорота iar;iuтиого поля относительно ллоскопти. ироходя1Д(Ж перпеидикулярно чиюскостям аколов ламп

Пример. Проводят шллиз геометрическ параметров электрокной ляглп, rie:iTo;ia стеря;невой конструкции. Полюсные наконечники магнита, между которыми помещают лампу, по ширине должны быть равны диаметру баллона лампы; продольный размер их должен быть равен или меньше 1/3 длины оксидного покрытия катода лампы. Зазор между полюсами магнита определяется диаметром баллона лампы, а напряженность поля между ними должна быЛ такой, чтобы при положении полюсных наконечников в средней части лампы происходило полное отклонение электронного потока лампы на сетку , т. е. чтобы ток сетки в этом положении был близким по значению току анода при отсутстви воздействия магнитного поля на электронный поток. На электроды лампы подают рабочий режим и помещают лампу между полюсами магнита (фиг. 1) так, чтобы направление магнитного поля было перпендикулярным электронному потоку в лампе. Перемещая магнит от нояски или купола баллона лампы вдоль оси катода, записывают изменения тока анода и тока сетки j- . Затем строят кривые зависимости тока анода и тока сетки от положения магнита при .перемещении его вдоль оси катода лампы (фиг. 2). Пунктирными линиями изображения кривые для годного прибора, а сплошными - для лампр,, имеющей деформированные электро ды с максимальным отклонением по сечению MN . После этого помещают 1у1агнит (фиг. 3) в область максимального отклонения токораспределения (область с сечениеК1 MN), поворачиваю магнит вокруг оси катода лампы и получают кривые изменения тока анода и тока сетки в зависимости от угла поворота магнитного по ля относительно плоскости, проходящей перпен дикулярно плоскостям анодов в лампе (фиг. 4 По этим кривым определяют направление деформаций электродов. В данном примере на основании анализа фиг. 3 и 4 можно сделать заключение о том, что в лампе отклонение электрических параметров за пределы допусков нрои:зощло из-за деформаили электродов в определенной области и определенном направлении, а не по всей длине катода, вследствие чего изготавливать щлиф поперечный или продольный для сравнения сечения с конст|}уктивным чертежом лампы нецелесообразно. В этом случае необходимо определить причину деформаций электродов в это области. Если } еобходимо, например, определит уровень допусти.мой деформации электродов, то для изготовления шлифа берут плоскость сечения лампы по MN. Излтенение токораспределения в области MN произошло вследствие изменения магнитного зазора между электродами лампы из-за их деформаши, так как электроды стержневых ламп, формирующие электронный поток, изготавливаются из магнитного материала, и в зазорах межд;/ стержнями - электродами происходит конаектрация магнитного поля, поэтому при ма.псйше.м отклонении зазора резко меняется напряженность магнитного поля, воздействующего на электронный поток в этой области. Для повыщсния точности и объективности оценки гео.метрических параметров лампу предварительно как бы ощупывают со всех сторс.н магнитным щупом. Таким же способом можно оценивать нарущение токораспределения в лампах с кавтыми сетками, только там при нпичии локальной деформации электродов изменяется или плотность электронного потока в этой области, или вди.чние электрического поля на электронный поток. Как в том, так и в другом случае при Воздействии магнитного поля, перпендикулярного электронному потоку, на область с деформацией электродов будет иметь место отклонение токораспределения от токораснределения .нормальной лампы. По этим изменениям токораспределения также можно выбирать плоскость сечения лампы для изготовления шлифа или определять целесообразность его изготовления. Предлагаемый способ контроля и анализа гео.метрических параметров электровакуумнь1Х приборов ею сравяению с существующими позволяет опр€-делить уровенЕ, изменения токораспределения в расс.матриваемой области эпек тронного прибора; обеспечивает точный выбор плоскости сечения прибора для изготовления щлифа: дает возможность определить целесообразность изготовления щлифа, т. е. заменить в ряде случаев ра;;рущаюцгпй способ контроля. неразруп ающим, а также позволяет разделить причины отклонения параметров прибора: общее смещение межэлектродных расстояний или локальные деформашщ электродов по их длине. Благодаря этому значительно повышается точность контроля и анализа гео етричоски.х параметров электровакуумных приборов, что, в свою очередь, позно.пяет быстрее определять ггркчи.чы отклонемий, споевременно сокращать потери от браков и тем самым повышать эффективность про.изводства.

, ж

gjuff.d

Ja

MM

сриеЛ Jct

1. СПОСОБ КОИТГОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТЮВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ с электронным потоком путем изготовления плоских шлифов продольных и поперечных сечений прибора, измерения геометрических параметров и сравнения с заданным значением, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля и объективности анализа, до изготовления шлифов создают магнитное поле, перпендикулярное электронному потоку в приборе, перемещают его вдоль оси прибора, снимают характеристики токораспределения между электродами в приборе, определяют область максимального, отклонения токораспределения от нормы и перемешают в этой области магнитное поле вокруг оси прибора, после чего сравнивают полученное токораспредепекие с эталонным и определяют вид нарушения геометрических параметров, а по. области максимального отклонения токораспределения - плоскость сечения для изготовления шлифа. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для создания магнитного поля исполь зуют электроды катодно-сеточного узла в ка (Л честве полюсных наконечников. 4 СП Од