Устройство для контроля направляющих Советский патент 1984 года по МПК G01B9/02 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ НАПРАВЛЯЮЩИХ, содержащее источник света, два интерферометра Фабри-Перо, состоящих из пластин, обращенных одна к другой отражающими поверхностями, при этом Одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие, закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос, отличающееся тем, что, с целью повыщения точности контроля, в устройство дополнительно введены две прозрачные пластины, одна из которых соединена с контролируемой подвижной направляющей, а другая установлена неподвижно, при этом пластины интерферометров Фабри-Перо выполнены клиновидными, две из них установлены параллельно друг другу на прозрачной пластине, соединенной с контролируемой подвижкой направляющей, а соответствующие им две другие пластины закреплены ортогонально одна другой клиньями на прозрачной пластине, установленной неподвижно.