Способ изготовления линейных периодических структур Советский патент 1984 года по МПК G02B27/42 

Изобретение относится к оптическому приборостроению л может найти применение, например, при создании элементов интегральной оптики. ИзЁестен способ изготовления линейных периодических структур,в COOT ветствии с которым параллельные штри хи изготавливаемой структуры формируют алмазным резцом на поверхности стекла Cl3 . Недостатком указанного способа является низкая пространственная частота периодической структуры, Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ изготовления линейных перио дических структур, за|1пючаю1аийся « освещении эт алонной структуры пучком когерентного света, выделении из диафрагированных на эталонной структуре пучков пары, имеквдей одинаковый порядок дифракции за исключением нулевого, но разные знаки, направлении выделенных пучков на образец параллельно направлению их дифракции, име ющей место при нормальном падении освещающего пучка, совмещении указан ных пучков на поверхности образца, одновременном пе1ремещении структуры и образца в Направлении,параллельном их плоскостям, и проведении фото химической обработки образца Г21 . Недостатком известного способа является Нсшичие погрешности изготов ления, обусловленной кривизной струк туры. Цель изобретения - повышение точности изготовления путем уменьшения влияния кривизны эталонной структуры. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления линейных периодических структур, заключающемуся в освещении эталонной структуры пучком когерентного света, выделении из дифрагированных на эталонной структуре пучков пары, имегаце одинаковый порядок дифракции за исключением нулевого, но разные знаки. направлении выделенных пучков на образец параллельно направлению их дифракции, имеквдей место при нормаль. ном падении освещающего пучка, совме щении указанных пучков на поверхност образца, одновременном перемещении структуры и образца в направлении, параллельном их плоскостям, и проведении фотохимической обработки образ ца, одновременно;освещают структуру вторым пучком света, который когерен тен с первым, выделяют по одному, диа фрагированному пучку от каждого освещающего пучка, а сами эти пучки направляют на эталонную структуру симметрично относительно нормали к ней под углом в. |с этой нормали, причем величина,0 определяется из соотно- шения: e«circsin4-- где m - порядок дифракции выделенного пучка; Л - длина волны света; d - период эталонной структуры. . На чертеже показана конструктивная схема устройства, реализующего предлагаемый способ. Устройство содержит лазер 1, коллиматор 2, светоделитель 3, эталонную структуру 4, призмы 5 и 6, светочувствительный образец 7, экран 8, подвижное основание 9. Сущность способа изготовления линейных периодических структур заключается в следующем. Участок эталонной стурктуры 4 освещают прошедшим через коллиматор 2 и светоделитель 3 пучком когерентного света от лазера 1. Пучок направляют на этсшонную структуру 4 под углом 0 , который определяется соотношением (1). Освещают участок эталонной структуры 4 вторым пучком, отраженным от светоделителя 3, симметрично первому относительно нормали к эталонной структуре 4. Из дифрагированных На эталонной структуре 4 пучков йыделяют пару пучков {по одному дифрагированному пучку откаждогЪ освещающего пучка), имеющих одинаковый порядок дифракции, но разные знаки. Номер порядка этих выделенных пучков используется для определения угла падения д обоих освещающих пучков. Нулевой порядок и порядки, кроме выделенных перекрывают экраном 8. Выделенные пучки с помощью призм 5 и б направляют на светочувствительный образец 7 и совмещают на его поверхности, причем направление пучков на образец 7 устанавливают параллельным направлению их дифракций, имеющей место, при нормальном падении освещающего пучка на эталонную структуру 4. В результате проведения указанных операций на поверхности образца 7 формируется интерференционная картина, соответствующая эталон юй структуре 4. Период картины равен -2 При одновременном перемещении структуры 4 и образца 7, установленных на общем подвижном основании 9, периодическая картина остается неподвижной относительно поверхности образца 7. В результате на образце 7 в направлении перемещения формируется периодическая структура. В заключение осуществляется фотохимическая обработка светочувствительного

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР, заключа-, ющййся в освещении эталонной структуры пучком когерентного света, выделении из дифрагированных на эталонной структуре пучков пары, имеющей одинаковый порядок дифракции за исключением нулевого, на разные знаки, направлении выделенных пучков на образец параллельно направлению их дифракции, имеющей место при нормальном падении Освещающего пучка, совмещении указанных пучков на поверхI 5 « Нл -:. ности образца, одновременном перемещении структуры и образца в направлении, параллельном их плоскостям, и проведении фотохимической об аботки,образца, отли.чающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления путем уменьшения влияния кривизны эталонной структуры, одновременно освещают структуру вторим пучком света, который когерентен с первым, выделяют по одному дифрагированному пучку от каждого освещающего пучка, а сами эти пучки направляют на эталонную структуру симметрично относительно нормали к ней под углом б к этой нормали, приi чем величина 0 определяется из соотношения : (Л e Mrcsiti J , m порядок дифракции выдегде ленного пучка ;. Я длина волны света; сЗ период эталонной структуры. эо х ел