Интерферометр для измерения линейных перемещений Советский патент 1984 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений в системах .станков с программным .управлением. Известен интерферометр, в котором светосоединитель и фотоприемник жестко связаны с перемещаемым объектом 1. Недостаток известного интерферометра обусловлен невысокой точностью измерения из-за изменения контрастности интерференционных полос при перемещении объекта. Известен также интерферометр, содержащий- источник когерентного света, светоделитель, неподвижные отражатели, счетчик импульсов и жестко связанные с перемещаемым объектом светосоединитель, диафрагму и фотоприемник 2. Недостаток данного интерферометра обусловлен изменением контрастности интерференционной картины при поперечном смещении объекта. Цель изобретения - повыщение точности измерения линейных перемещений путем стабилизации контрастности интерференционной картины. Поставленная цель достигается тем, что в интерферометре для измерения линейных перемещений, содержащем источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждом плече интерферометра, светосоединитель, диафрагму-и фотоприемник, жестко связываемые с перемещаемым объектом, и счетчик импульсов, источник света и светоделитель также жестко связаны со светосоединителем, а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала. На чертеже дана схема предложенного интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 когерентного света, линзы 2-4 со светоделителем 5, неподвижные пентапризмы 6, 7 и зеркала 8, 9 в каждом плече интерферометра, светосоединитель 10, диафрагму 11, фотоприемник 12, счетчик 13 импульсов. Светосоединитель 10, диафрагма 11 и фотоприемник 12 жестко связываются с перемещаемым объектом 14, а источник 1 света и светоделитель 5 - со светосоединителем 10. Устройство работает следующим образом. Выходящий из источника 1 световой поток проходит линзу 2, делится в светоделителе 5 на два плеча, а затем проходит линзы 3 и 4. Далее в каждом плече световой поток проходит пентапризму 6 (или 7) и, отражаясь от зеркала 8 (или 9), попадает на светосоединитель 10. В результате совмещения обоих пучков светосоединителем 10 образуются интерференционные полосы. При продольном перемещении объекта 14 интерференционные полосы смещаются из-за изменения разности оптических путей, и это смещение регистрируется счетчиком 13 импульсов при помощи диафрагмы 11 и фотоприемника 12. При поперечном же смещении объекта интерференционные полосы остаются неподвижными и их контрастность не ухудщается, что определяется жесткой связью источника 1 света и светоделителя 5 со светосоединителем 10, а также выполнением в каждом плече неподвижных отражателей в виде пентапризмы 6 (или 7) и зеркала 8 (или 9). Это позволяет повысить точность из.мерений не менее чем в 1,5 раза.

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждом плече интерферометра, светосоединитель, диафрагму и фотоприемник, жестко связываемые с перемещаемым объектом, и счетчик импульсов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, источник света и светоделитель жестко связаны со светосоединителем, а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала. /4(/) / , 00 00 ел ю СТ