Устройство для автоматической центрировки линз Советский патент 1984 года по МПК G01M11/02 

.мутации, а также формирователя полярности, генератора квантующих импульсов и нуль-органа, при этом вход нуль-органа соединен с соответствующим реверсивным входом схемы децентрировки по вертикальной оси и входом делителя блока децентрировки по горизонтальной оси, а оба выхода формирователя полярности соединены с

логическими схемами блока децентрировки по вертикальной оси, причем формирователь полярности входом подключен к периферийным фотощ иёмникам матрицы, а выходом подключен к одной из логических схем децентрировки по вертикальной оси и соответствуилцему входу схемы четности блока децентрировки по горизонтальной оси, а генератор квантующих импульсов соединен со счетными входами реверсивного счетчика в блоке децентрировки по вертикальной оси, вход распределителя в схеме синхронного коммутатора сегментов - с соответствукнцим входом. cxeNbi 2И в блоке децентрировки по горизонтальной оси, а блок индикации тангенциальной составляющей состоит из последовательно Соединенных усили.теля, двухпорогового элемента, одновибратора, коммутатора, исполнительного элемента, кроме того, к второму выходу двухпорогового элемента подключей элемент инидикации тангенциальной составляющей, а выход блок а индикации тангенциальной составляющей подключен к выходу центрального фотоприемника.

Изобретение относится к оптико-ме ханической промышленности, в частнос ти к оптическому производству линз (объективов), и может быть использовано для измерения, аттестационного контроля децентрировок и автоматичес кой центрировки линз путем совмещения оптической оси линзы с осью сборочной единицы оправа - линза в усло виях мелкосерийного и массового прО изводства. Известно устройство для автоматической фокусировки объектива, содержащее держатель объектива с электроприводом, связанным с блоком управле НИН, светоделитель, матрицу фотоприемников и блок формирования сигналов причем светочувствительная поверхность матрицы фотоприемников развернута относительно фокальной плоскост объектива, а электропривод снабжен датчиком положения объектива, один из параллельных выходов которого через блок тактовой коммутации включен на входы управляемых вентилей блока формирования сигналов, а другой подсоединен к входам вентилей переключе ния усилителей сигналов, выходы кото рых через схему совпадения связаны с реле включения электропривода, Блок управления включает в себя элементы ИЛИ, блок вьщеления разности, схемы сравнения, элементы И, компаратор, элемент 3 ИЛИ, генератор перестраиваемой частоты и реле переключения электропривода lj . Однако данное устройство характеризуется недостаточной точностью положения позиции, так как использование релейного электропривода вносит больщую погрешность, а использование светоделителя определяет ухудшение эксплуатационной надежности и вносит дополнительные погрешности при центрировке оптической оси. Известно устройство для автоматической центрировки линз, содержащее оптически связанные с источником монохроматического излучения коллиматор с теет-объектом, держатель оправы с линзой, модулятор, матрицу фотоприемником с периферийными и центральным фотоприемниками, электрически связанными со схемой управления, выход которой соединен с устройствами переме щения линз 2J . При эксплуатации установки необходимо регулировать микроклимат, что обусловлено критичностью коэффициента трения двух плавающих опор (якорей электромагнитов) этого устройства к изменению температуры. Кроме того, недостатками устройст- ва являются также некоторый шумовой 31 фон, сопровождающий работу электромагнитных ударников, и неоправданная сложность для ряда технологических операций по автоматической центриров ке линз, где достаточна выборка толь ко одной группы составляющих децентрировки, а именно эксцентриситета оп тической оси линзы по отношению к ос ее вращения и поверхности оправы. Цель изобретения - повышение точности центрирования линз с центральным осевым отверстием. Указанная цель достигается тем, что в устройстве для автоматической центрировки линз, содержащем оптичес ки связанные с источником монохроматического излучения коллиматор с тест-объектом, держатель оправы с линзой, модулятор, матрицу фотоприем ников с периферийным и центральным фотоприемниками, электрически связан ными со схемой управления выход кото рой соединен с устройствами перемеще ния линзы, между линзой и модулятором установлен объектив, а схема управления состоит из блока отработки децентрировки по горизонтальной оси, блока отработки децентрировки по вер тикальной оси, блока управления модулятором и блока индикации тангенци альной составляющей, при этом блок отработки децентрировки по горизонтальной оси включает в себя схему четности, состоящую из счетного триг гера и двух ключей, управляющие входы которых подключены к входу счетно го триггера, а также логическую схему ИЛИ, генератор пилообразного напряжения, усилитель, делитель, схему сравнения, элементы 2И и последовательно соединенные реверсивный счетчик, сумматор, преобразователь коднапряжение, ко1Ф1утатор и исполнитель ный механизм, причем входы схемы четности соединены с входами логичес кой схемы ИЛИ и соответствующими входами реверсивного счетчика, а выход логической схемы ИЛИ соединен с входом генератора пилообразного напряжения, выход которого и выход уси лителя соединены с входами схемы сравнения, выход которой через схему 2И соединен со счетным входом реверсивного счетчика, кроме того, к реверсивным входом сумматора и ревер сивного счетчика подключен делитель, а блок децентрировки вертикальной оси включает в себя две логические 82 „ схемы, схему ИЛИ и последовательно соединенные реверсивный счетчик, преобразователь код-напряжение, j OMMyтатор и исполнительный механизм, при этом каждая логическая схема выполнена из двух Ok -триггеров, инвертора и схемы 2И, причем счетный вход первого ЗХ -триггера соединен с соответствующим входом инвертора, выход которого соединен со счетным входом второго ОК -триггера, первый выход которого соединен с соответствующим входом схемы 2И, выход, каждой из которых соединен с соответствующим входом коммутатора, второй выход второго ЗК -триггера соединен с входом схемы ИЛИ, а блок управления модулятором состоит из синхронного коммутатора сегментов модулятора, состоящего в свою очередь из последовательно соединенных распределителя и схемы коммутации, а также формирователя полярности, генератора квантующих импульсов и нуль-органа, при этом вход нуль-органа соединен с соответствунмцим реверсивным входом схемы децентрировки по по горизонтальной оси вертикальной оси и входом делителя блока децентрировки по, а оба выхода формирователя полярности соединены с логическими схемами блока децентрировки по вертикальной оси, причем формирователь полярности входом подключен к периферийным фотоприемникам матрицы, а выходом подключен к одной из логических схем децентри- ровки по вертикальной оси и соответствующему входу схемы четности блока децентрировки по горизонтальной оси, а генератор квантующих импульсов соединен со счетными входами реверсивного счетчика в блоке децентрировки по вертикальной оси, вход распределителя в схеме синхронного коммутатора сегментов - с соответствующим входом схемы 2И в блоке децентрировки по горизонтальной оси, а блок индикации тангенциальной составляющей состоит из последовательно соединенных усилителя, двухпорогового элемента, одновибратора, коммутатора, исполнительного механизма, кроме того, к второму выходу двухпорогового элемента подключен элемент индикации тангенциальной составляющей, а выход блока индикации тангенциальной составляющей подключен к выходу центрального фотоприемника. На фиг.1 изображена оптическая схема устройства, на фиг,2 - кинематические связи исполнительных органов; на фиг.З - схема оптического модулятора в положении сканирования главного энергетического максимума пространств:;нного спектра тестового изображения юстировочного сигнала; на фиг,4 - матрица фотоприемников, содержащая два позиционно-чувствительных злемента фотопреобразователи, на фиг.З - блок-схема сужены управления вертикальной отработки составляющей эксцентриситета, на фиг,6 - схема формирования цифрового сигнала отработки и диаграммы, поясняющие работу этой схемы, где А диаграмма выходного сигнала формирователя, Б - диаграмма выхода инвертора, В и Г - диаграммы на Q и Q -вы ходах первого ЗК -триггера, Д - диаг рамма на ЗК -выходе второго ОК-триг гера, Е - диаграмма периода тактовой коммутации счетчика, Ж - диаграмма синхронизирующего синусоидального напряжения; на фиг,7 - схема фор№1рования цифрового сигнала дугового знака вертикальной отработки; на фиг,8 - блок-схема схемы горизонталь ной отработки и блок-схема схемы индикации на фиг,9 - схема, поясняющая формирование цифрового сигнала горизонтальной отработки; на фиг,10диаграмма, пояснянхцая работу схемы горизонтальной отработки, где А диаграмма аналогового сигнала в поло жениях сканирующего сектора в точках тит. В, ВиГ- диаграмма формирования цифрового сигнала, Д - диаграмма формирования сигнала положительной горизонтальной отработки, Е - диаграмма цифрового сигнала для случая положения главного энергетического максимума (точ1са Of) в облас ти отрицательной горизонтальной области, Ж - диаграмма формирования сигнала отрицательного горизонтально отработки на фиг,11 - общая структурная схема блока управления. Устройстводля автоматической цен трировки линз содержит (фиг,1) источ ник 1 монохроматического излучения оптический квантовый генератор (ОКГ) коллиматор 2 с тест-объектом 3, выполненным в форме диафрагмы, центрируемую систему - линзу 4 с оправой 3 и держателем, микоообъектив - увеличитель 6, Модулятор 7, матрицу 8 фо1826 топриемников и блок 9 управления (фиг.11), включанщий схему 10 (фиг.5) и схему 11 (фиг,8) управления исполнительными органами, схему 12 (фиг.8) индикации и схему 13 (фиг.З) управления модулятором 7. Матрица 8 фотоприемников (фиг,1 и 4) содержит фотопреобразователи 14 и 13, а исполнительные органы (фиг,2) включают в себя.кинематически связанные платформы 16 и 17, соединенные с электроприводами 18 и 19 отработки горизонтальной и вертикальной децентрировок и электропривод 20 проверки тангенциальной центрировки. Модулятор (фиг.З) выполнен, в виде сканирующе го сектора 21 с осевым отвер стием 22, Схемы 10 и 11 (фиг,11) подключены первыми входами через формирователь 23 к фотопреобразователю 14, BTopbtt входами - к генератору 24 квантующих импульсов, подключенному также к схеме 13 управления оптическим модулятором, а третьими входами к выходу нуль-органа 23, при этом схема 10 подключена к выходу формирователя 26 полярности, который входом объединен с входом нуль-органа 23 с источником синхронизирующего напряжения (не показан), , Схема 10 (фиг,11 и 3) включает в себя две логические схемы 27 и 28, подключенные через элемент ИЛИ 29 к счетчику 30, который подключен через преобразователь 31 код-напряжение к коммутатору 32 электропривода 10 вертикальной отработки. Схема 11 (Фиг.11 и 6) содержит схему 33 четности, реверсивный счетчик 34, коммутатор 33, элемент ИЛИ 36, генератор 37 пилообразного напряжения, устройство 38 сравнения, усилитель 39, элемент 2И 40, делитель 41, сумt тор 42, преобразователь 43 код-напряжение и электропривод 18 горизонтальной отработки. Схема 12 индикации тангенциальной составляющей (фиг.11 и 8) содержит усилитель 44, двухпороговый элемент 43, элемент 46 индикации, одновибратор 47 и коммутатор 48 электропривоа 20. . Схема 13 (фиг.11 и 3) управления модулятором включает распределитель 49 и элементы 30 коммутации сканиру71

ющими оптическими секторам 1 21 оптически изменяющейся прозрачности.

Логические схемы 27 и 28 (фиг.5 и. 11) включают каждая Ok -триггеры 51 и 52 (фиг.5), инвертор 53 и элемент 2И 54.

Схема 33 четности (фиг.8 и 11) включает счетный триггер 55 (фиг.8), выходами подключенный к управляющим входам ключей 56 и 57, входами соединенных со счетным входом Фриггера 55.

Модулятор -7 (фиг.1 и 3) содержит группу сегментов, расположенную по плоскости круга, изменяющих поляризацию при приложении напряжения. При коммутации напряжением один из сегментов пропускает монохроматический луч, в то время как остальные его сканируют, создавая эффект, аналогичный механическому модулятору. В сравнении с механическим оптический модулятор позволяет простыми средствами обеспечить синхронность сканирования. Отверстие 22 (фиг.З) в модуляторе 7 с апертурой, позволяющей фиксировать главный энергетический максимум пространственного спектра,предназначено для согласования оси визирования с оптической осью линзы, которая из децентриррванного состояния переводится в состояние центрировки исполнительными органами (фиг.2).

Схема 13 управления модулятором 7 (фиг.11 и 5) предназначена для синхронной коммутации сегментов 21 модулятора 7 (фиг.1 и 3) в соответствии с формированием импульсов нулевого перехода синусоиды синхронизирующего напряжения посредством нуль-органа 25 (фиг.11 и 5) и генератора 24 квантующих импульсов.

Схема 33 четности (фиг.11 и 8) обеспечивает поочередную комьгутацию информационных -1 и -1-входов реверсивного счетчика 34 и обеспечивает суммирование разностей кода числовой информации за тактовые периоды измерений. Каждая из таких разностей соответствует аналоговой величине интегральной суммы ряда энергетических максимумов пространственного спектра юстировочного сигнала в положениях сканирунщего сектора 21 в точках гпо и т (фиг.9).

Устройство работает следующим образом.

Линза 4 с оправой 5 установлена в держателе (не показан) с эксцентриси8

тетом, вертикальная и горизонтальная составляющие которого отрабатываются исполнительными электроприво ами 18 и 19 (фиг.2). При этом платформы 16 и 5 17 смещаются по горизонтальной и вертикальной координатным осям в плоскости, а оптическая ось линзы совмещается с осью визирования от источника 1 монохроматического излучения

o (фиг.1) на осевой фотопреобразователь 15. После выборки эксцентриситета осуществляют проверку на тангенциальную составляющую прокруткой линзы 4 электроприводом 20 (фиг.2). Таким

5 образом обесцечивают оттестационный контроль и производят финишную проточку оправы 5, причем оптическая ось линзы оказывается сцентрированной относительно оси оправы.

0 Работа блока 9 управления (фиг.1 и 11) происходит следую1цим образом.

В децентрированном состоянии линзы 4 (фиг.1) луч от источника 1 монохроматического излучения в коллиматоре

5 2 преобразуется в параллельный пучек, освещающ 1й тест-объект 3 - двухщеле- вую диафрагму, формирующую тестовое изображение юстировочного сигнала. При этом использован физический за0 кон разложения монохроматического

пучка в пространст венный спектр с рядом максимумов, расположенных симметрично от главного энергетического максимума (фиг.З, центр Oj) с симмет, ричной убывающей интенсивностью. Координаты центра Oi на матрице 8 фотоприемников (фиг.4) определяют состояние децентрировки оптической оси линзы (фиг.1), а тестовое изображение

юстировочного сигнала проектируется на матрице фотоприемников в увеличенном масщтабе, так как юстировочный сигнал проходит микрообъектив - увеличитель 6 (фиг.1).

5 На матрице 8 (фиг.4) фотоприемников вследствие модуляции модулятором 7 (фиг.1) проектируется в каждом положении сканирующего сектора 21 (фиг.З), имитирующего вращение векто ра, например, по часовой стрелке, только часть спектра юстировочного сигнала (.4).

Пусть в исходном положении nip сканирующего сектора 21 (фиг.6, начало последовательной коммутации по окружности) периферийный фотопреобразователь 14 (фиг.5) не возбужден, так как спектр юстировочного сигнала проектируется по т,т2 (фиг.6) с главным энергетическим максимумом в точке с координатами « и ц . х . Опорное синусоидальное напряжение i (фиг.6, диаграмма в момент перехода синусоиды 1р через нуль) соответствует положению WQ сканирукщего сектора 21, Посредством нуль-органа 25 (фиг.5) формируется строб-импульс, которьи осуществляются сбросы (обнуление) соответствующих элементов в схеме 10 (фиг.11) схеме 13 и схеме 11.ЗК триггер 51 в логической схеме 27 (фиг.5) переводится в единичное состояние Q (1) (фиг.6, диаграмма В), а ЗК -триггер 52 - в нулевое Q (0) (фиг.6, диаграмма Д). Выходные шины распределителях 49 последовательно коммутируются тактовыми импульсами генератора 24, посту пающими на С-вход распределителя.Это вызывает последовательную коммутацию элементов модулятора и перемещение сканирукндего сектора 21J имитирующее вращение по окружности сектора 21 из исходного положения т (фиг.6). Логическая единица на выходе 3К-триггера 51 в момент его сброса в положении гпо (фиг.6, диаграмма В) обеспечивает возможность его переклю чения в нулевое состояние G( (0) при отрицательном перепаде напряжения на его С-входе, так как с момента его сброса Q (1) задействована обратная связь с его выхода на информационный К-вход этого триггера. Срабатьгоание его происходит при перемещении скани рующего сектора 21 (фиг.6) в положение 1, сигналом с выхода формирователя 23 (фиг.6, диаграмма А), которы формируется при возбуждении периферийного фотопреобразователя 14 (фиг.4) пространственным спектром. Состояние 31 -триггера 51 при упомянутом срабатывании Q (0) и Q(1) на выходах (фиг.6, диаграммы В и Г) определено отрицательным перепадом напряжения по С-входу (фиг.6, диаграмма А) с выхода формирователя 23 при логической ед|1нице на К-входе ввиду задействованной обратной связи, пред шествующей срабатыванию. Такое состо яние 3К -триггера 51 в положении гп сканирующего сектора 21 обеспечивает возможность срабатывания ЗК -триггер 52 при отрицательном перепаде напряжения на его С-входе в положении т (фиг.6) сканирукхдего сектора 21 от инвертирования посредством инвертора 53 (фиг.5 и б, диаграмма Б) импульса с выхода формирователя 23. Возмож- . ность срабатывания 3k --триггера 52 в состояние Q (1) (фиг.6, диаграмма Д) обеспечивается логической единицей на его информационном 3 -входе, возникшей предварительно в точке т ifa Btdходе триггера 51. Таким образом, при последующем прохождении сканирукиц м сектором 21 положения т в диапазоне (п,,.. .,iii) логический нуль Q (0) с инверсного выхода ЗК -триггера 52 через элемент ИЛИ 29 (4шг.5) разрешает по uV-входу тактовую коммутацию счетчика 30 по его С-входу от генератора 24 квантующих импульсов. Такая коммутагдш возможна, если полярность переменного напряжения f j (фиг.6, диаграмма Ж) соответствует области сканирования сканирующим сектором 21 последовательных положений г 3 Р наличии в этой области спектра юстировочного сигнала. При этом на оба входа элемента 2И 54 в диапазоне (,.. .,4ii) поступают логические единицы с выхода формирователя 26 полярности (фиг.5) и прямого Q (1)-выхода OK -триггера 52. Логическая единица на выходе элемента 2И .54 логической схемы 27 определяет плюс - направление отработки электропривода 19 посредством коммутатора 32. Отрицательный полупериод синусоиды ip синхронизирующего напряжения фиксирует логическая схема 28 (фиг.5), содержащая идентичные элементы логической схемы 27, а сканирунщий сектор 21 перемещается по окружност в области отрицательных значений вертикальной оси (фиг.7). При этом обеспечивается минус - отработка электропривода 19 (фиг.5) посредством коммутатора 32, если спектр юстировочного сигнала расположен в области отрицательных значений вертикальной оси. Таким образом, цифровая информация, накапливаемая в счетчике 30 при каждом обороте вектора сканирующего сектора 21, а в развертке, соответствукицая периоду синхронизирующая напряжения (фиг.6, диаграмма Ж), преобразуется в преобразователе 31 код-напряжение в аналоговый сигнал, обеспечивающий отработку рассогласования электроприводом 19, а направление отработки определяет положение спектра в областях положительного либо отрицательного значения п -вертикальная ось. В результате о -отработки рассогласования пространственный спектр юс тировочного сигнала совмещается с осью х-х (горизонтальная ось,фиг,9). Если сканирующий сектор 21-модулятора занимает положение т (фиг.9) а главный энергетический максимум в точке 0 смещен относительно центра в отрицательной части оси Х-Х на X , то первый раз срабатьшает .двухпороговый элемент 45 (фиг.8) в схеме 12 индикации и сигнализации индикатором 46, так как возбуждается осевой фотопреобразователь 15 (фиг.4 В положении спектра х-к сканирующий сектор 21 обеспечивает возбуждение периферийного фотопреобразовател 15 (фиг,4 и 9) в положениях и m а интенсивность его облучения больше в том из указанных положений, где расположен главный энергетический максимум спектра 0;, . Соответствующее преобразование этих интенсивностей в цифровую и ана логовую величины производится следую щим образом. Схема 33 (фиг.11 и 8) обеспечивае коммутацию +1 и -1-входов реверсивно го счетчика 34 в соответствии с четностью положений сканирующего сектора 21 в гПд и гг) , (фиг.9), обеспечивая режимы его работы суммирования и вычитания. Коммутация схемы 33 обеспечивается формирователем 23, а сигнал на ее выходах формируется счетным триггером 55 и ключами 56 и 57, управляющие входы которьк обеспечивают проводящее состояние того или иного ключа в четные и нечетные периоды коммутации счетного триггера 55 (фиг.10, диаграмма А). Через элемент ИЛИ 36 коммутируется вход генератора 37 пилообразного напряжения, на выходе которого форми руется линейно-возрастающее напряжение (фиг.10, диаграмма Б), которое поступает на первый вход устройства 38 сравнения. Усилитель 39 формирует уровень напряжения U, (фиг.8 и 10, диаграмма А), поступающее на второй вход устройства 38 сравнения, что в соответствующий момент (фиг.10, диаг рамма Б) обеспечивает его срабатьшание. При ;цифровом время-импульсном преобразовании посредством генератора 24 квантующих импульсов и элемента И 40 (фиг.10, диаграммы Г) в реверсивном счетчике 34 осуществляется формирование цифровой информации: при логическом нуле на +1-входе - суммирование квантующих импульсов, соответствующих Z - периоду (фиг.10, диаграмма Г), а при логическом нуле на -1-входе - вычитание квантующих импульсов, соответствующих л -периоду. При втором и последующих оборотах сканируюи(его сектора 21 разности суммируются ; (), где ч, - число квантующих импульсов в нечетный (четный) период; h2 - число квантующих импульсов в четный (нечетный) период. При К-оборотах сканируимцего сектора 21 делителем 41 формируется сигнал разрешения переноса цифровой информации, поступаниций на Р-вход переноса информации. Код числа, накопленного в реверсивном счетчике 34, поступает в сумматор 42, на знаковом выходе которого Формируется логический нуль или логическая единица 1 в зависимости от знака накапливаемой разности tin « v,-n-j, (фиг. 10, диаграммы Г и Д). либо (фиг.10, диаграммы Е и Ж) в тактовом периоде измерения Т ; K+i ,йМ, 51 МПк , I п км где Nf - число импульсов квантований, соответствующее периоду Т при (К+1) оборотах сканирукицего сектораJ k - число оборотов до переносаА - число оборотов от переноса до обнуления счетчика и сумматора. Код числа & К Ту. на выходных шинах умматора посредством преобразоватея 43 код-напряжение преобразуется в . налоговый сигнал - амплитудУ напряения, поступающий на вход коммутаора 35 электропривода 18 х-отработи, а направление отработки опредеяется в зависимости от сигнала на наковом выходе сумматора 42, соединенном с информационным i1-входом коммутатора 35, По окончании периода, необходимого для отработки рассогласования электроприводом 18 в тактовом периоде измерения и отработки (после k + i оборотов вектора Р ), производится сброс суммирующего счётчика ЗА и сумматора 42 по их R -входам сигналом с второго выхода делителя 41. Начинается новый тактовый период до тех пор, пока х-рассогласование не станет равным нулевому значению, а главный энергетический максимум 0( (фиг.9) сместится в центр. Энергетический уровень главного энергетического максимума в О соответствует второму порогу срабатывания двухпорогового элемента 45 схемы -12 индикации (фиг.8) и вызьтает его срабатывание и коммутацию второго выхода, соединенного с одновибратором 47. При этом обеспечивается коммутация электропривода 20 проверки тангенциальной составляющей децентрировки посредством коммутатора 48, Обеспечивается прокрутка линзы с оправой (фиг,2). Если при этом оптическая ось линзы не изменяет своего положения и остается совмещенной с осью визирования на центральный фотопреобразователь, то главный энергетический максимум с центром в точке 0 не вызывают изменения состояния осевого фотопреобразователя. Линза сцентрирована, причем тангенциальная составляющая децентрировки также равна нулю. Если тангенциальная составляющая имеет значение отличное от нуля,то главный энергетический максимум смещается из центра, а осевой фотопреобразователь .15 переходит в невозбужденное состояние. Двухпороговый элемент 45 вырабатывает уровень сигнала ниже первого порога срабатывания, а элемент 46 индикации индицирует технологический брак.

Таким образом обеспечивается автоматическое совмещение оптической оси

линзы с осью визирования и косвенный контроль допускового значения тангенциальной составляющей децентрировки.

Повьшение точности центрировки достигается исключением погрешностей установки светоделителя, а также увеличением масштаба тестового изображения пространственного спектра юстировочного сигнала на матрице фотоприемников, что достигается посредством

микрообъектива - увеличителя,

&

f6 Фиг.Ъ

20

Фиг. 2 Фиг Л

В

у/.

д.

фиг. 6

21

Hevem

в

Г

А

Фиг. 9

чет (/г

Фиг. /О