Способ активного контроля толщины и скорости нанесения пленки Советский патент 1985 года по МПК G01B15/02 

vl

а

О) СА 1 Изобретение относится к контроль но-измарительной технике и может быть использовано для крнтролй толщины и скорости роста пленки в процессе ее нанесения на подложку, Цель изЬбретения повышение точ ности контроля толщины и скорости нанесения пленки. Способ осуществляется следующим образом, В зоне контроля устанавливают отрезок прямоугольного СВЧ-волновода, с помощью СВЧтенератора возбуж дают в нем СВЧ волны. Через отверстия в широкой стенке СВЧ-волновода притягивают элемент-свидетель, например, металлическую проволоку постоянного диаметра. Через другое отверстие в узкой стенке волновода которое находится в одйой плоскости с первым и ортогонально ему. нап равляют наносимый материал на подло 3 Одновременно измеряют амплитуды ку проходящей и отраженной СВЧ-волны, от элемента-свидетеля, В момент равенства амплитуд отраженной и прошедшей СВЧ-волны протягивают дискретно элемент-свидетель таким образом, чтобы в волноводе помещался новый отрезок элемента-свидетеля с первоначальными параметрами, .Моменту |)авенства отраженной и прбщедщей амплитуды СВЧ-волны соответствует строго определенная толщина нанесенной пленки на элементе-свидетеле, которая равна нанесенной за это же время толщине пленки на подложке. Многократно повторяя цикл измерений, определяют толщину нанесенной пленки на подложке по количеству пе- . ремещений элемента-свидетеля, а о скорости нанесения пленки судят по частоте этих перемещений.

СПОСОБ АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ И СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНКИ, заключающийся в том, что в среде наносимого материала устанавливают отрезок прямоугольного СВЧ- волновода с двумя ортогональными сквозными отверстиями, в одной плоскости через отверстие в широкой стенке прямоугольного СВЧ-волно- вода протягивают элемент-свидетель, а через другое отверстие направля ют поток наносимого материала, измеряют электрические параметры отрезка прямоугольного СВЧ-волновода и судят о толщине и скорости нанесения пленки, о т л и ч а ю - щ и и с я тем, что, с целью повьше- ния точности контроля, в качестве электрических параметров прямоугольного СВЧ-волновода измеряют амплитуды проходящей и отраженной от элемента-свидетеля СВЧ-волны и в моменты их равенства дискретно перемещают элемент-свидетель, а о толщине и ско(Л рости нанесения пленки судят соответственно по количеству и частоте пере-, мещения элемента-свидетеля.