Мембранный манометр Советский патент 1986 года по МПК G01L13/02 

Изобретение относится к нак умной иь нометрии, в частности к вакуумным дифференциальным манометрам мембранного тина, и может быть использовано для измерения давления и разности дав;1ения разреженнь х газов в лабораторных и нромьинлеипых условиях.

Цель изобретения ----- повьинение чувст15и- тельности и стойкости к внешним механическим воздействиям.

На чертеже изображен нредлагаемый мембранный манометр, общий вид.

Мембранный манометр состоит из мембраны 1, смо11тированной Kopin/ca 2. Мембрана делит внутреннее н)остранст1и корнуса на две полости 3 и 4. В одну из эти.ч нолостей подается газ, давление к-;)- торого Р нужно измерить. Давление газа в другой но,лости поддерживается на rioc- тоянном ypOBiie РО, как правило на два ио- рядка MeHbLiieM нижнего преде,ла измерения.

В полости 3 размешен цилиндрически л .ма|Д1ит 5 е магнитонроводом, включаюни-и-л в еебя нолюсные наконечники 6 и 7. lia- зор между этими нолюсн1з1ми 1;акоцечниками и.меет кольцевую форму.

В полости 4 размещен дополнительный цилиндричеекий магнит 8 е Г1олюсн1 1мп па конечниками 9 и10. Магниты 5 и 8, а также их нолюсные наконечники идентичны одии другому и смонтированы симметрично относительно м е м б р а i 1 ы.

Суммар1;ое действие обоих магнитов приводит к образованию радна; г;О1 о магннт НОГО ноля, в КОЛ ОрОМ силовые линии 1-Г.; Г

от центра систе.мы к нериферии (но радич - еам), магнитное поле еконцентрировано в достаточно узком (по высоте) нростраь:ствс. В центральной плоскости симметрии ноля расположена мембрана 1.

На поверхности мембран) 1 через изоляционный нодслой нанесена тонкоплепоч ая С1ц-1ральная токонроводищая дорожка 1 1 (изоляционный но.дслой не показан). Д.ля соединения токонроводящей дорожки с внс н- JHM источ}1иком тока (т. е. раеположепн; М вне мембранного мано.метра) центр этой ;i.o- рожки соединен электрически с материа. :ом мембраны, а периферийная часть дорожки соединена электрически е гермовводом 2.

Для фиксации положения рйвиове :-ия мембраг1ы 1 в полости 4 размещен измерительный конденсатор, обкладками кол-ор-аго является непосредственно мембрана i и э;1ектрод 13. Электрод 13 соединен э.леклргг- чески с гермовводом 14, мембрана I . - динена э,лектрически с корпусом .манолч:; ja.

Мембранный манометр работает сле,:;у;()- щим образом.

О

мсл брана упирается з о-5к. 13, играю- HiViO роль охранной |;ов(г-х::ост i. В моложе- i-n-ii- равновесия (Р - ) становился paBiioft мембраны совмендается е ii ма1 нилл1ого поля.

1оскс.1ьку витки токопргдигдящей допож- кп 11 пересекают силовые линчи ма Ч1птпо- го поля, то при пропускании 1 о :)ез токоПрОВОДЯПГуЮ Д.ОрОЖКу i ПОСТ:: - НП()Г(.1 ОКа

i иа начинает действо)1ат:. электро- си.ла F, пропоопнс иипзная е..1ичипе i. Подобрав ;iai рак.лс :;:; и величину тола i. можпо прираз ять глечл ромаг- нитную сплу силе разное; и да;;. 1епий, дейсл вуюшей ла мембрану и 5ыз:11ваю1цую ее деформацию. При у;)ав1п-1в;л И5: электро- ма1 ни ( сил(у с СИ.ЛОЙ даз.ле ия 1 аза х ем- 6paiia займет nojio/i ienm );: внооееия. Поло- укепие равио ;ссия (р: ксируел ся но емкости кондеьсалзща, одной )13 обк.ладок которого яв.1яется мембрага i, а второй - - н.;:ектрод 13.

Таким о(5)азом, ве.лнчига л ока i, иеобхо- для поддержапия мe пЗoaнhl в поло- жепнн равновесия, является л е;;-:)и /.ар.ле:П-|Я р (при Р Р;;) .

иен ие чувствительности манометра и его стойк :-стп к хапи .еским 1 Оздейств 1Я ;.

Эти качеетна обе1:1 ечивак тся лч:-м, что кал ущка, с помощью которо -- комнен( е 1гя П1)О1Д1Г| мс мбрапь от да -ленля аза Р, i;anc(na Г)ав к:;мер1;о по ;аей ;;доп1.а.ги мем- б;), п)ичем цеитг)ы т5- же ти мембраны ;: лч)ко; ;юводя1цей ;;(;:)(;;кки ;и;актически С)впадают.

Ф opMijj: а ii3t;uj) е re, ин

М.емб )йппый маиолкч р, со; iiye, разделенный мембрап-:)й i в о.::,пой из кол орых устано провг;д с ци; ипдричеекпм акс иичеппым Mai JiHTOM i: п.еитра пиком, а также кату1ик , ;)раной, отличающийся т noBBinieiinsi чувет :-)тел1;1и Г5 п е и 1 и и м н е X а и и ч ее к и У ciiao/Kt H ие одлшж1:ь1м у,: д-ггел ьним Mai inrroN: г ;-де 1тич1 ы; первому п |-/:;)р(я1 камере, симметр относите.Ь;1О мембра .пм1а 7ле сгропроводя Ц;;г пена в вил.е илоской in. ;азл ещен- ной па л1ембра 1е ::а пзо.:15-1цио niO i псиложке, лричем ()(..лй р:.д и меубрана о;;);:1зу()1 копденсатоу.

-p) кор- 1 ;1зе Kavepb, :еп :viai иито алыло -1амаг-- сердеч- свя;, .: мем; М, а-, о. с ;т-- : СТОЙКОСТ - К

воздействиям, oti

)дом п д()пол:via: 1м-т;; ПК)водом.

рае 1;;ло;ке 1 - лм во

ч 10 I ервому магниU). -.;)ТО;)аЯ ЗЫПОЛ. а клтумка выполЛ()е-га1:..;ь Л. Сико- юж кий

Редактор Л. ЗайцеваЛ е.хрг.чИ. ВорогК эрекг-ио Л

Заказ 8408.. 45Тираж 8961 loniincinxВНИИПИ Г(); -дарстве}-1но|-о СССР

по делаг,: изобретений и открытий 113035, ., Ж,--35, Раушекан каб., д. 4/5 Филиал ППП «Патент, г. , ул. Проектпа;.;.

Изобретение исхзволяет повыеи П) ствительность ма ометра и его етойко внешним Me.xai;;-:ческим воздействиям, иус 2 .манометр.а разделен .мембра1юй 1 на две камеры 3 и 4, в которь;.х метрично установлены идентичные цилиндрические магниты 5 и 8 с полюсными наконечниками. На Ml размеи ена катунта в виде плоской сиирали 11. Ее витки пересекают силовые линии магнитного ноля, образованного суммарным действием обои.х магнитов. .и ири иронускании через ни. постоянного тока на .Ml действует электромагнитная сила. Подбором величины тока Ml удерживают в положении равновесия, фиксируемом по емкости конденсатора, одной из обкладок которого является сама Ml, а другой - электрод 13. Величина тока, необ.ходимогч) для поддержания .1 в положении равнове- с лп. является мерой давления. 1 ил. (Л N5 о со со 00