Ионный насос Советский патент 1959 года по МПК F04D33/00 

Для получения высокого вакуума применяют ионные насосы, в которых ионизация атомов откачиваемого газа происходит в результате их взаимодействия с электронами, движущимися в электрическом и магнитном полях. Основной недостаток известных насосов заключается в быстром насыщении поглощающей поверхности коллектора ионов, что приводит к обратной диффузии поглощенных атомов газа и ограничивает величину предельного вакуума насоса.

Предлагаемый насос свободен от указанного недостатка, так как в нем применено несколько последовательно соединенных камер, в каждой из которых имеется отдельный ионизатор и общий для всех камер коллектор ионов. Этот коллектор выполнен в виде бесконечной нити (или ленты), движущейся через камеры из области низкого давления, где происходит поглощение откачиваемого газа, в камеру предварительного разряжения, где коллектор обезгаживается нагревателем, а выделившийея газ удаляется.

На чертеже изображен предлагаемый насос.

Насос содержит несколько последовательно соединенных камер, в каждой из которых имеется отдельный ионизатор / и общий для всех камер коллектор ионов 2. Коллектор 2 выполнен в виде бесконечной нити (или ленты), движущейся через камеры из области 3 низкого давления, где происходит поглощение откачиваемого газа, в область 4 предварительного разрежения, где происходит обезгаживание коллектора нагреванием и удалением выделяющегася газа. Камеры насоса отделены одна от другой перегородками 5, имеющими отверстия для движения коллектора и клапаны 6 для предварительной откачки.

При своем обратном движении коллектор обезгаживается, проходя через нагреватели 7, установленные перед каждой камерой. Для возмещения потери вещества коллектора от ионного распыления и ускорения выделения поглощенных коллектором атомов газа в камере предварительного разрежения установлена печь 5 для покрытия коллектора легкоплавким металлом.