Способ подгонки частоты пьезоелектрических резонаторов Советский патент 1959 года по МПК H03H3/04 

Известен способ подгонки частоты пьезоэлектрических резонаторов, основанный на химическом взаимодействии покрытия резонатора, выполняющего роль электрода, с газообразными или парообразными веществами, с непрерывным контролем частоты резонатора в процессе подгонки.

Недостаток способа заключается в том, что в процессе подгонки частоты при воздействии газообразного вещества на материал покрытия омическое сопротивление электродов резонатора не остается постоянным, а увеличивается, в результате чего при длительном воздействии ухудшаются электрические параметры резонатора.

В описываемо.м способе этот недостаток устранен тем, что на поверхность кристаллического элемента наносят двухслойное покрытие, после чего на верхний слой покрытия воздействуют струей газа или пара какого-либо вещества, химически взаимодействующего только с верхним слоем покрытия.

Нижний слой покрытия выполняет роль проводящего электрода и не вступает в химическое взаимодействие с газообразным реагентом при подгонке частоты.

Для повышения частоты резонатора при воздействии на его покрытие газообразного реагента в качестве материала верхнего покрытия применяют слой такого вещества, которое под влиянием этого химического реагента переходит в газообразную фор.му, вследствие чего толпа.ина слоя покрытия уменьшается.

Для понижения частоты резонатора верхний слой покрытия выполняют из материала, который, взаимодействуя с газообразным реагентом, образует твердые устойчивые химические соединения.

Так, например, при основном серебряном покрытии и алюминиевом верхнем слое, воздействуя на верхний слой газообразным хлором, получают на его поверхности пленку хлористого алюминия, в резуль№ 122780

тате чего толщина покрытия увеличивается и резонансная частота пьезоэлектрического резонатора уменьшается.

Для повышения эффективности способа дополнительное )1окрытие можно наносить не па всю поверхность основного слоя, а .п-ипь на участки, где находятся пучности смещений.

П р е д. (Ьт l s.c)6 р е т е.ци я

-

Способ подгонки частоты пьезоэлектрических резонаторов, основанный па химпческо.м взаимодействии покрытия резопатора с газообразпыми или парообразными веществами, отличающийся тем, что, с целью сохранения постоянства величины омического сопротивлепия электродов резопатора в процессе подгонки частоты, па кнарцеву о пластипу наносят двухслойное покрытие и применяют для изменения толщины нанесенного слоя такое вепаество, которое химически взаимодействует только с наружным слоем (например, газообразный хлор при серебряно-алюминиевом покрытии).