Электронный микроскоп Советский патент 1959 года по МПК H01J37/26 H01J29/56 H01J29/80 

В современных электронных микроскопах, содержащих объективную и проекционную линзы, с целью регулирования диапазона увеличения в значительных пределах, применяют слабую промежуточную линзу, оптические параметры которой существенно отличаются от параметров объектива и проекционной линзы. Полевая аберрация промежуточной линзы в несколько раз превыщает полевую аберрацию остальных лннз, в то же время аберрация увеличения и вращения ее несоизмерима с соответствующими аберрациями объективной и проекционной лннз, что исключает взаимную компенсацию полевых аберраций всех трех линз. Наличие хроматической аберрации, создаваемой промежуточной линзой, составляет существенный недостаток электронного микроскопа с регулируемой -степенью увеличения.

Этот недостаток устранен в предлагаемом электронном микроскопе применением в нем второй промежуточной линзы, установленной соосно с основной промежуточной линзой на расстоянии от нее, определяемом фокусными расстояниями линз микроскопа.

Схема проекционного блока электронного микроскопа изображена на чертеже. Микроскоп содержит две промежуточных линзы У и 2 и проекционную линзу 3.

Действие такой системы заключается в следующем. При увеличении ускоряющего напряжения, соответствующем изменению увеличения микроскопа, фокусные расстояния обеих промежуточных линз изменяются. В результате .увеличения преломляющей силы первой промежуточной линзы главный луч в ее фокальной плоскости сильнее отклоняется к оси, вследствие чего луч пересекает вторую линзу в точке, расположенной ближе к оси, че.м до изменения ускоряющего напряжения. Но в этой точке луч отклоняется к оси слабее, чем в точке, в которую луч падал до изменения ускоряющего напряжения. Таким образом, несмотря на то, что преломляющая сила второй линзы возросла, главный луч пересекает иредметную плоскость все в той же точке.

Предмет изобретения

Электронный микроскоп с объективной, проекционной и промежуточной линзами, отличающийся тем, что, с целью устранения хроматической аберрации, он снабжен второй промежуточной линзой, установленной соосно с основной промежуточной линзой на расстоянии ог нее, зависящем от фокусных расстояний линз.