Компенсатор аберраций для контроля качества оптических систем Советский патент 1986 года по МПК G02B27/00 G01M11/00 

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а конкретно к компенсаторам аберраций, которые используются в интерферометрах, пред наэначенцых для контроля формы оптических поверхностей компенсационным методом. .

Цель изобретени я заключается в повышении точности контроля за счет уменьшения влияния децентров ки,

На чертеже изображен компенсатор исхема его лрименения при контроле двояковьптуклой линзы с автоколлимацией бт плоского зеркала. - Компенсатор содержит первый 1 афокальньш мениск, второй 2 афокаль ный мениск, контролируемую двояковыпуклую линзу 3, вспомогательное плоское зеркало 4.

На чертеже приняты обозначения о1о, расстояние по оптической оси между первой и второй афокальными линзами,,А - точечный источник света, .А - мнимое параксиальное изоб- ражениё точечного источника,, построенное компенсатором, .5 - расстояние от первой поверхности компен;сатора ДО At Зц - расстояние от последней поверхности компенсатора до .А V суммарная толщина компенсатора,

Афокальные мениски 1 и 2 обращены друг к другу вогнутыми поверхностями и установлены на особом расстоянии с/о друг от друга}, которое вычисляется по формуле

(Ht)f

где 01 - толщина по оптической оси

первой линзыj

2. - толщина по оптической оси второй линзы;

1, - показатель преломления материала первой линзы5

Пг.- показатель преломления материала второй линзы;

Ь - линейное увеличение второй линзы равное отношению радиуса вьтуклой поверхности к радиусу вогнутой по- верхности линзы,

Выполнение указанного соотношения обеспечивает совпадение точечного

ВНИИПИ Заказ 3911/49

Компенсатор аберраций ,цл роля качества оптических- с содержащий два мениска, об

40 афркальную систему и обращ

вогнутыми поверхностями др гу,, о т л и чающийс что, с целью повьшения точ роля за счет уменьшения вли

децентровки, оба мениска вы афокальН1ымИэ причем расстоя между линзами связано с тол ч и с.5, показателями fi и ломления материалов соответ первого и второго менисков

50

55

ным уБ€;л ичением и второго соотношением

Jo.-(U

ft

Тиралс 501

Подписное

Произв.-полигр. пр-тне, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

источника света и его параксиального изабргшения при любом положении компенсатора относительно источника света,

5 Компенсатор является афокальным, может работать в прямом и перевернутом положении, при перемещении компенсатора вдоль оптической оси предметная: точка и ее параксиальное изобO ражениё всегда совпадают.

Компенсатор работает следующим образом,

Лучи света, выходящие из точечного источника-А , поступают в компен- 5 сатор (линзы 1 и 2),, Последний на- правля вт их на контролируемую линзу 3„ пе1)едний фокус которой совмещен с изобра;кением точечного источника А .J построЕшным компенсатором. Па0 раллельный пучок лучей, выходящий

КЗ линзы 3, падает нормально на плоское зерк,ало 4. Отразившись от последнего, лучи света повторяют свой путь в обратном направлении и воз5 вращаются в источник А Для анашиза формы сферического волнового фронта, В1.п :одящего из системы, исполь- зурот готовые оптические приборы (инте 5ферометры, теневые устройства,

0 микроскопы и т.п.). На чертеже они не показаны.

Данный компенсатор не имеет ограничений по световому диаметру.

3.5

Формула изобретения

Компенсатор аберраций ,цля контроля качества оптических- систем, содержащий два мениска, образующих

афркальную систему и обращенных

вогнутыми поверхностями друг к другу,, о т л и чающийся тем, что, с целью повьшения точности контроля за счет уменьшения влияния

децентровки, оба мениска выполнены афокальН1ымИэ причем расстояние Olc}. между линзами связано с толщинами ч и с.5, показателями fi и п преломления материалов соответственно первого и второго менисков и линей

ным уБ€;л ичением и второго мениска соотношением

Jo.-(U

ft

Тиралс 501

Подписное

. Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть испрльзовано в интерферометрах, предназначенных, для контроля формы оптических поверхностейкомпенсационным методом. Цель изобретения - повышение точности контроля за счет уменьшения влияния децентровки. Компенсатор содержит два афокальных мениска 1 и 2, обращенных вогнутостями друг к другу и установленных на определенно:: расстоянии друг от друга (приведена формула для вычисления этого расстояния), обеспечивающем совпадение точечного источника света .А и его параксиального изображения ;А при любом положении компенсатора относительно источника света. Компенсатор не имеет ограничений по световому диаметру. 1 ил., (Л С