Интерференционный резольвометр Советский патент 1986 года по МПК G03C5/02 

для повышения интенсивности оставшейся части излучения. Сигналы с фотоприемников 18, 19, на которые пос- тупают дифрагированные в нулевой и

1 .

Изобретение относится к технике измерения и исследования разрешающей способности фототермопластических и термопластических материалов, в частности к интерференционным ре- зольвометрам.

Целью изобретения является повышение точности измерения и производительности контроля.

На фиг. 1 изображена структурная схема интерференционного резольво- метра; на фиг. 2 - структурная схема блока управления.

Интерференционный резольвометр содержит источник 1 когерентного иЗ- лучения, модулятор 2 интенсивности светового потока, электромагнитный . затвор 3 общего оптического канала, телескопическую систему 4, состоящую из двух объективов 5 и 6 с несовпа- дающими фокусами, в результате чего на выходе формируется сходящийся пучок и двух диафрагм 7 и 8 диаметром 0,015 мм и 0,15 мм соответственно, компенсатор 9 оптического хода лучей предназначенный для компенсации изменения хода лучей подвижными зеркалами, выполненный в виде прямоугольной призмы и кинематически связанный с подвижными зеркалами 10 и 11, свет делителя 12, четырех неподвижных, зеркал 13, электромагнитный затвор 14 и ослабитель 15 светового потока в одном из оптических каналов, две спицы 16 и 17, на противоположных кон- цах каждой из которых расположены фотоприемник (ФП1) 18 или (ФПО) 19 и подвижное зеркало 10 или 11, причем спицы установлены так, чтобы их проекции на плоскость перемещения зер- кал 10 и 11 пересекались в точке экспонирования. Кроме того, подвижные зеркала расположены на узлах 20 и 21 поворота, кинематически связанны со спицами. Образец фототермопласти- ческого материала установлен в кассете 22, по линии перемещения котоnepBbrii порядки дифракции световые потоки, передаются в блок 31 управления,, определяющий дифракционную и модуляционную эффективности. 2 ил.

рой расположены электрометр 23,узел 24 очувствления, узел 2-5 проявления и термодатчик 26, Подвижные зеркала 10 и 11 и кассета 22 с образцом фо- тотермоп.ластика механически связаны с приводами 27, 28 и 29 соответственно. Изолированная от корпуса токопроводящая подложка фототермо- пласт и;еского материала соединена с измерителем,30 тока очувствления. Выходы электрических сигналов фотоприемников 18 и 19, электрометра 23, термодатчика 25 и измерителя 30 тока соединены с соответствующими входами блока 31 управления. Входы управления модулятора 2, затворов 3 и 14, ослабителя 15, узла 24 очувствления, узла 25 проявления, приводов 27, 28 и 29 coe динeны с соответствующими ВБгходами блока 31 управления, который содержит аналого-цифровой преобразователь, процессор, блок сопряжения,

Иногерференционный резольвометр работает следующим образом.

Образец фототермопластических материалов закладьшают в кассету 22, которзпо затем по сигналу управления из блока 31 управления привод 29 перемещает к узлу 24 очувствления. Производится очувствление. При этом блок 31 управления опрашивает постоянно измеритель тока 20 очувствления и по достижении скорости спада этого тока величины 0,2 от начального значения прекращает процесс очувствления. Затем кассета 22 с образцом по сигналу из блока 31 управления подается в зону экспонирования. Одновременно подвижные зеркала 10 и 11 выставляются в положение, соответствующее требуемой пространственной частоте впечатываемой сенситограммы, на модулятор 2 подается сигнал,соот- ветствуюо ий требуемому коэффициенту пропускания, затвор 14 открывается, а ослабитель 15, представляющий собо

3

набор нейтральных светофильтров,по сигналу управления вводит в оптический канал -светофильтр, соответствующий требуемому контрасту интерференционной картины. После этого по сигналу из блока 31 управления производится экспонирование образца путем открытия затвора 3 об1цего канала на фиксированное время. Затем кассета с проэкспонированным образцом перемещается к узлу 25 проявления, который по сигналу управления из блока 31 осуществляет процесс проявления изображения. При достижении требуемой температуры по сигналу термодатчика 26 блок управления прекращает процес После этого кассета перемещается в зону экспонирования, где осуществля .ётся измерение фотографического эф- . фекта при освещении образца одним световым пучком, расцространяющимся по оптическому пути одного из плечей интерферометра.Для этого по сигналу из блока управления электромагнитный затвор 14 одного из плечей интерферометра перекрывает световой поток в этом плече,а для компенсации ослабления интенсивности потока по сравнению с суммарной интенсивностью светового потока при экспонировании блокад щ и и с я тем, что, с целью повьшеуправления вьщает на модулятор 2 необходимый сигнал управления для увеличения его коэффициента пропускания. Световой поток дифрагирует на фазовой решетке, сформированной на образце фототермопластического материала, направления дифрагированных в нулевой и первый порядки дифрации световых потоков совпадают с положением спиц 16 и 17 в пространстве, на концах которых расположены фотоприемники 18 и 19. Сигналы с этих фотоприемников, пропорциональные интенсивности потоков 0-го и 1-го порядков дифрации, поступают в блок управления, который определяет дифракционную и модуляционную эффективности фазового изображения .

На этом один цикл испытания заканчивается. Путем изменения положения подвижных зеркал 10 и 11,смены нейтральных светофильтров ослабителя

35

40

45

50

ния точности измерения и производительности контроля, в него дополнительно введены установленные за источ ником излучения модулятор, затвор, а после телескопической системы - компенсатор изменения хода лучей подвижными зеркалами, в одном плече интерферометра установлены затвор, ослабитель, а за держателем испытуемого материала - два фотоприемника, блок управления, входы которого под- соединены к измерителю тока, электтро- метру, термодатчику и к двум фотоприемникам, а их входы подсоединены к испытуемому материалу, а выходы блока управления соединены с з злом очувствления, модулятором, затворами, ослабителем, с приводами ПОДВИЖНЬЕС зеркал, приводом перемещения цержа- теля испытуемого материала, а подвижные зеркала жестко связаны с корпусами фотоприемников.

. 44628 , . 4

15, изменения коэффициента пропуска- ния модулятора 2, потенциала очувствления и температуры проявления меня- ют параметры фазового изображения, . 5 сформированного на образце фототермопластического материала. В результате блок управления определяет зависимости дифракционной и модуляционной эффективности от экспозиции, контрасЮ та, пространственной частоты, а также вычисляет численные значения этих величин как предельный и рабочий потенциалы очувствления, оптимальную температуру проявления, оптимальнур)

15 пространственную частоту,.светочувствительность, динамический диапазон, коэффициент контрастности, разрешающую способность.

Формула изобретения

Интерференционный резольвометр, содержащий источник когерентного излучения и установленные по ходу его излучения телескопическ то систему,

светоделитель, держатель исследуемо- го материала, систему подвижных и неподвижных зеркал, установленных по схеме интерферометра, отличаю

ния точности измерения и производительности контроля, в него дополнительно введены установленные за источником излучения модулятор, затвор, а после телескопической системы - компенсатор изменения хода лучей подвижными зеркалами, в одном плече интерферометра установлены затвор, ослабитель, а за держателем испытуемого материала - два фотоприемника, блок управления, входы которого под- соединены к измерителю тока, электтро- метру, термодатчику и к двум фотоприемникам, а их входы подсоединены к испытуемому материалу, а выходы блока управления соединены с з злом очувствления, модулятором, затворами, ослабителем, с приводами ПОДВИЖНЬЕС зеркал, приводом перемещения цержа- теля испытуемого материала, а подвижные зеркала жестко связаны с корпусами фотоприемников.

Редактор Н. Слободяник

Составитель С, Соколов

Техред М.Ходанич Корректор 0. Луговая

Заказ 3913/50Тираж 436 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Произвов,ст} 1- ино-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технике измерения и исследования разрешающей способности фототермопластических материалов. Цель -изобретения - повышение точности и производительности контроля. Кассета 22 с образцом фототермопластических материалов перемещается по сигналу блока 31 управления с помощью привода 29. Цри экспонировании образца открытием затвора 3 на фиксированное время сигналом блока управления 31, соответствующим требуемому коэффициенту пропускания и прошедшим через модулятор 2, открывается затвор 14, а ослабитель 15 в виде набора нейтральных светофильтров вводит соответствующий контрасту интерференционной картины фильтр в оптический канал, после чего на фиксированное время открывается затвор 3. Для измерения фотографического эффекта при освещении образца одним световым пучком затвор 14 перекрывает световой поток в одном из пле- чей интерферометра, а модулятор 2 увеличивает коэффициент пропускания (6 (Л N0 Oi tc OG