Способ изготовления штриховых мир с помощью электронно-оптической системы Советский патент 1959 года по МПК G03C5/00 G01M11/02 H01J31/50 

Разрешающая си.а оптических систем определяется с помоиа.ыо штриховых лгир, которые обладают разрешаюш,ей способностью от 3 до 200 лин/мм. Изготовить миры с более высокой разрешаюи1,ей способностью с помощью обычпо ОПТИКИ ис представляется возможным из-за ограничений вследствие аберрации оптичсско с;1стемы, с номошью которой изготавливаются миры.

Описываемый способ позволяет по.|уч1ггь разрешающую снособHOiCTb до 300-350 .гин/мм (и BHBya.ihHo 550-600 .гин/мм), для чего электронное изоб)а кение стаидартно ; Miipiii, полученное с помощью те)мо- или фотоэмнсснн, проектируют нл. монокр;1сталлический экра;; и строго фокусируют, после чего экран убирают и на это место ставят фотонластинку. Фокусировка электронного изображения на экран осущес вляется изменением общего питающего напряжения н потенциала среднего электрода электростатической лиизы.

На чертеже представлена конетруктивная схема предлагаемого усгройства с исиользованием фотоэмиссии.

На стаиине устройства установлепы: осветитель У, конденсор 2, стандартно-штриховая мира 3, объектив 4, вакуумная камера 5 с электростатической линзо 6 и магнитостатической линзой 7 и микроскоп 8. Изображения на экране рассматрнваются в мнкпоскон 8 с. увеличением 20СР .

Предмет изобретен ir я

Способ изготовления штриховых мир с помощью электроиио-оптической системы, отличающийся тем, что, с целью повышения их разр ещающей способности, электронное изображение стандартиой миры проектируют на монокристаллический экран и строго фокусируют, после чего на место экрана ставят фотопластинку, на KOTopoii li воспроизводят изображение миры.

2 f-,