Регулятор расхода газа Советский патент 1986 года по МПК G05D7/06 

Изобретение относится к регулиро ванию расхода и может быть использо вано для обеспечения высокоточного дозирования малых количеств газа в вакуумной технике, в аналитической химии, в квантовой технике, в радио спектроскопии. Цель изобретения - повышение точ ности и улучшение эксплуатационных характеристик регулятора. На чертеже изображена конструкти ная схема регулятора расхода газа. Регулятор содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 каналами, ме ду которыми установлен регулирующий орган, вьтолненный в виде седла 4 и клапана 5 с эластичным уплотнением 6, размещенных в обойме 7 из эластич ного материала. Полость обоймы 7 со единена с каналом выхода 3. Клапан 5 жестко соединен через верхнюю 8 и нижнюю 9 части разъемного штока и соединительной муфты 10 с подвижным элементом 1 1 вибратора 1.2, Корпус 1 жестко связан через стойки 13 и основание 14 с вибратором 12. Соединительная муфта 10 фиксируется контргайкой 15. Узел настройки вьтолнен в виде полой втулки 16, жестко соединенной с корпусом 1 через стойки 13 и сопряженной по резьбовому соединению с настроечной гайкой 17, Меж ду настроечной гайкой 17 и клапгшом 5 установлена пружина 18. Фиксация настроечной гайки 17 осуществляется контргайкой 19. Регулятор работает следующим обра зом. Перед включением вибратора освобождают верхнюю часть 8 штока от муф ты 10 и, вращая гайку 17, перемещают клапан 5 к седлу 4 до создания герметичности в статическом состоянии. Проверку регулирующего органа на гер метичность проводят периодически пос ле определенного времени работы регу лятора После проверки на герметичность регулирующего органа с помощью муфты 10 и контргайки .15 соединяют В и нижнюю 9 части штока, т.е. обеспечивают жесткое соединение подвижного элемента. 11 и клапана 5. Включают вибратор )2 и возбуждают 70 вибрационное движение клапана 5 в пределах упругости эластичного уплотнения 6 с заданной амплитудой и частотой. Через один-два периода колебаний клапана 5 начинается расходное течение газа через регулирующий орган, величина которого пропорциональна амплитуде колебаний. После подачи в вакуумированный объем заданного количества газс1 выключают вибратор 12. Величина амплитуды колебаний клапана 5 не должна быть больше глубины погружения седла 4 в уплотнение 6 и зазора между обращенными друг к друГУ неконтактируюш 1ми жесткими поверхностями седла 4 и юпапана 5. Выполнение этого условия повьш1ает надежность и долговечность регулирующего органа. При большой частоте колебаний ( 100 Гц) клапана 5 в сочетании с малым расходом газа через регулирующий орган обеспечивается повьш1ение точности регулирования дозы газа, подаваемой в вакуумированный объем. Формула изобретения Регулятор расхода газа, содержапщй корпус с входным и выходным каналами, между которыми установлен регулирующий орган, соединенный с вибратором, и узел настройки, отличающийся тем, что, с целью повьш1ения точности и улучшения эксплуатационных характеристик регулятора, регулирующий орган вьтолнен в виде седла и клапана с эластичным уплотнением, размеи(енньгх в обойме из эластичного материала, полость которой соединена с выходным каналом, при этом клапан соединен с вибратором, жестко связанным с корпусом и обеспечивающим колебания клсшана в пределах упругости эластичного уплотнения клапана, а узел настройки выполнен в ваде полой втулки, жестко соединенной с корпусом и сопряженной по резьбовому соединению с настроечной , причем между настроечной Ге1йкой и клапаном установлена пружина, обеспечивающая закрытие клапана в исходном состоянии..

13

16

,.-f2

Изобретение относится к технике регулирования расхода и может быть использовано для высокоточного дозирования малых количеств газа в вакуумной технике, в аналитической химии в квантовой.технике, в радиоспектроскопии. Целью изобретения является повышение точности и улучшение эксплуатационных характеристик регулятора. Регулятор содержит корпус с входным и выходным каналами, между которыми установлен регулирующий орган, выполненный в виде седла и клапана с эластичным уплотнением, размещенных в обойме из эластичного материала. Полость обоймы соединена с каналом выхода. Клапан жестко соединен с подвижным элементом вибратора, основание которого через стойки связано с корпусом регулятора. При включенном вибраторе возбуждается вибрационное движение клапана в пределах упругости эластичного уплотнения с заданной амплитудой и частотой. Через один-два периода колебаний кла- Q « пана начинается расходное течение га (Л за через регулирующий орган. Величина расхода газа пропорциональна амплитуде колебаний. При большой частоте колебаний ( 100 Гц) клапана в сочетании с малым расходом газа через регулирующий орган обеспечивается повышение точности регулирования дозы газа. 1 ил.