| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Спектрограф | 1987 |
|
SU1522046A1 |
| Способ измерения линейного размера элементов топологического рисунка микросхем | 1983 |
|
SU1146549A1 |
| Субмиллиметровый полосовой фильтр (его варианты) | 1983 |
|
SU1083145A1 |
| ДИФРАКЦИОННАЯ РЕШЕТКА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 2002 |
|
RU2242776C2 |
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАССОВМЕЩЕНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СЛОЕВ В ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ | 1991 |
|
RU2022258C1 |
| ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ СКАНИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО | 1971 |
|
SU422976A1 |
| НАРЕЗНАЯ ВОГНУТАЯ ДИФРАКЦИОННАЯ РЕШЕТКА | 1986 |
|
SU1362295A1 |
| ПАТЕНТНО- .J f5 ТЕХЛИЧЕСГДЯ ^^ BHSJlHOTEtfA | 1970 |
|
SU263930A1 |
| Двойной дифракционный монохроматор | 1976 |
|
SU600401A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВОГНУТЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК | 1986 |
|
SU1524708A1 |
Вогнутая дифракционная решетка, содержащая тороидальную подложку, в поверхностном слое которой выполнены прямолинейные неравноотстоящие штрихи, отличающаяся тем, что, с целью повышения разрешающей способности при произвольно заданных углах падения и дифракции за счет получения безаберрационного изображения, расстояние между штрихами решетки определяют в соответствии с выражением
где d - расстояние между штрихами для координаты y по ширине решетки;
d0 - расстояние между штрихами на вершине решетки;
ϕ и ψ - соответственно углы падения и дифракции;
Rm и Rs - меридиональный и сагиттальный радиусы кривизны решетки соответственно;
