Способ контроля поверхностей Советский патент 1988 года по МПК G01B11/30 

00 00 00

Изобретение относится к неразрушающим методам технологии оптического приборостроения и может быть использовано для выявления дефектов на внутренних поверхностях каналов микроканальных пластин.

Цель изобретения - появление локальных дефектов внутренних поверхностей каналов микроканальных плас- тин по всей их длине.

На фиг. 1 приведена оптическая схема наблюдения по предлагаемому cnoco 6yj на фиг. 2 - бездефектный и дефектный микроканалы, заполненные жидким кристаллом„

Схема содержит источник 1 излучения, конденсатор 2, поляризатор 3, микроканальную пластину 4, анализатор 5, обьектив 6 микроскопа, де- фектные каналы 7 микроканальной пластины.

Для выявления дефектных каналов микроканальной пластины из баратного стекла толщиной 1-2 мм эти каналы диаметром 9,5 мкм заполняют нем ати- ческим жидким кристаллом МББА под действием капиллярных сил. Локальные дефекты внутренних поверхностей каналов создают локальные деформагщи однородно ориентированных молекул жидкого кристалла, которые визуализируются в поляризованном свете за счет возникающей фазовой задержки. Тогда излучение источника 1 через конденсор 2 и поляризатор 3 вводится в каналы микроканальной пластины 4, заполненные жидким кристаллом. Излучение, проходящее бездефектный

канал, почти полностью гасится на

анализаторе 5, скрещенном с поляризатором 3. В наличия в канале дефектов излучение, проходящее через него с фазовой задержкой, проходит через анализатор 5 в объектив поляризационного микроскопа 6 и наблюдается оператором.

Для анализа распределения интенсивности излучения торцов нескольких тысяч микроканалов может быть использована ЭВМо Для зтого в память ЭВМ

методом сканирования торцов микроканалов вводится информация о значениях фиксируемых интенсивностей, а затем рассчитываются на полученном массиве случайных значений интенсивности моменты первого и второго порядка. Дефектные каналы обнаруживаются в этом случае при анализе распределений интенсивности просканиро- ванных каналов.

Если в микроскоп одновременно наблюдается 250 микроканалов со стороны их торцов, то с помощью ЭВМ за 3-5 мин методом сканирования наблюдается и обрабатываются 5 тыс. микроканалов.

Слой жидкого кристалла по окончании контроля поверхностей удаляется из микроканалов с помощью растворителей, например спирта или ацетона, не вызывающих каких-либо изменений состояния контролируемых поверхностей.

Таким образом, с помощью предло-. женного способа обеспечивается визуализация дефектов внутренних поверхностей каналов микроканальных пластин По всей их длине.

Формула изобретения

Способ контроля поверхностей, заключающийся в том, что создают контакт поверхности с нематическим жидким кристаллом, наблюдают излучение из области контакта в оптический микроскоп, отличающийся тем, что, с целью выявления локальных дефектов внутренних поверхностей каналов микроканальных пластин по всей их длине, контакт создают путем заполнения каналов под действием капиллярных сил с ориентацией длинных осей молекул параллельно оси канала, размещают каналы вдоль оптической оси поляризационного микроскопа между скрещенными анализатором и поляризатором и наблюдают излуче- . ние торцов каналов.

-7 У0г/а дефекта

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля изделий оптического приборостроения и позволяет выявлять локальные дефекты на внутренних поверхностях каналов микроканальных пластин по всей их длине Способ заключается в заполнении ьйскроканалов на всю их длину нематическим жидким кристаллом СНЖЙТ под действием капиллярных сил и наблюдении излучения торцов микроканалов с помощью поляризационного микроскопа. Это позволяет визуализировать дефекты поверхности, так как излучение из торцов бездефектных каналов почти полностью гасится, а при наличии дефектов за счет дополнительной фазовой задержки наблюдается повьщ1енная интенсивность излучения торца. Для анализа картин распре- деления интенсивности излучения в сечении нескольких тысяч микроканалов используется ЭВМ. По окончании контроля слой НЖК удаляются из микроканалов с помощью растворителей, не вызывающих, изменений в состоянии поверхностей. 2 ил. i (Л