Интерферометр типа Майкельсона для измерения больших перемещений Советский патент 1988 года по МПК G01B21/00 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к интерферометрам для измерения линейных перемещений объектов, и может быть использовано для измерения больших знакопеременных перемещений. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей и повышение точности - достигается путем устранения неоднозначности определения направления перемещения и использования автоматической системы регулирования положением первого отражателя. Лазер 1, светоделитель 2 и отражатели 3 и 5 образуют интерферометр Май- кельсона, который измеряет положение объекта, механически связанного с отражателем 5. Система отрицательной обратной связи, содержащая фотоэлектрический преобразователь 6, усилитель 8 отрицательной обратной связи и пьезопривод 4, подстраивает положение отражателя 3 так, чтобы сократить неизменной разность оптических длин плеч интерферометра. Б зависимости от направления перемещения изменяется знак сигнала в цепи отрицательной обратной связи и счетчик 10 интерферекционных полос производит регистрацию положения объекта путем вычисления разности чис.па положительных или отрицательных импульсов.I ил. О)