Многопучковый высоковакуумный газоразрядный насос Советский патент 1961 года по МПК H01J41/20 

Известные многопучковые высоковакуумные газоразрядные насосы с разрядной трубкой, имеющей холодные катоды и сетчатые аноды, обладают малой действующей-поверхностью электродов и плохими условиями ионизации в разрядных промежутках.

Описываемый насос, свободный от указанных недостатков, отличается от известных тем, что разрядная трубка выполнена с двумя сетчатыми анодами и тремя плоскими катодами, один из которых расположен в плоскости симметрии между анодами и вместе с последними образует два разрядных промежутка в общем магнитном зазоре.

На чертеже изображен общий вид многопучкового высоковакуумного газоразрядного насоса, состоящего из катодной коробки 1, двух сетчатых анода 2, крыщки 5 коробки, вывода анода 4, изолятора 5 и перехода 6.

Анодное напряжение в насосе постоянное, магнитное поле создается либо постоянными магнитами, либо электромагнитом. В объеме между плоскостями катодов электроны совершают колебательное и вращательное движение, пока не произойдет соударение с молекулами газа. Образуюпшеся ионы перемещаются вдоль силовых линий электрического и магнитного полей к катодам и вызывают интенсивное катодное распыление.

Распыляющийся металл оседает на стенках трубки и поверхности анода, поглощая при этом газ. Скорость действия насоса при заданных электрическом и магнитном полях пропорционально числу газоразрядных пучков, так как при этом увеличивается рабочая поверхность катода и поверхность апода.

Предмет изобретения

Многопучковый высоковакуумный газоразрядный насос с разрядной трубкой, имеющей холодные катоды и сетчатые аноды, отл ича ющ и и с я тем, что, с целью увеличения действующих поверхностей электродов и улучшения условий ионизации в разрядных промежутках, разфядная трубка выполнена с двумя сетчатыми анодами и тремя плоскими катодами, один из которых расположен в плоскости симметрии между анодами и вместе с последними образует два разрядных промежутка в общем магнитном зазоре.

Н -J.