Измерительный прибор Советский патент 1961 года по МПК H01L21/66 

Описание патента на изобретение SU140915A1

Для разработки научных основ технологии изготовления селеновых выпрямительных элементов и проведения технологического контроля необходимо знать падение напряжения на различных участках селенового элемента между электродами в направлении, перпендикулярном плоскостям электродов. Трудность таких измерений заключается в малой толщине слоя селена и р п перехода, которая равна нескольким десяткам микрон (50-100 мк). Так как селен является сравнительно высокоомным полупроводниковым веществом, то для проведения надежных измерений потенциала недостаточно касания электродом зондом поверхности селена, а необходимо его врезание в селен.

В соответствии с этим, особенность предлагаемого измерительного прибора, предназначаемого для измерения распределения потенулиала на микрорасстояниях (с шагом в несколько микрон) и содержащего измеритель микротвердости ПМТ-3, потенциометр ППТВ-1 и пысокочувсгвительный электрометрический усилитель с большим внутренним сопротивлением, заключается в применении клиновидного или конусообразного электропроводного зонда, с углом заточки около 20°, обеспечивающим врезание зонда в срез-шлиф селенового элемента.

На чертеже схематически показан предлагаемый измерительны; прибор для измерения распределения потенциала в селеновых выпрямчтельных элементах.

Цифрой / обозначен прибор для измерения микротвердости ПМТ-3, дополненный электропроводящим конусообразным стальным зондом , врезаюш.имся своим острием в слой селена. Острие клиновидного или конусообразного зонда 2 имеет угол заточки около 20°. Клиновидная форма зонда может применяться в случае измерения потенциала на сравнительно плохо проводящих полупроводниках, с целью повышения чувствительности измерения. Зонд закреплен во фторопластовой опраз№ 140915- 2 ке, обеспечивающей надежную электрическую изоляцию его от остальной части металлического прибора.

Образец Останавливается в держателе 3, который не только фиксирует поло: :ение селенового выпрямительного элемента, но и является одновременно тикоподводящим устройством. Губки держателя представляют собой плоские медные пластинки, электрически изолированные от остальной части держателя. Держатель укреплен на пластине, изготовленной из хорошо изолирующего материала. Эта пластина жестко скреплена с поворотным столом прибора, чем обеспечивается возможность установки последовагельно среза-щлифа селенового элемента либо под зондом, либо под измерительным микроскопом.

Для измерения напряжения между металлическим слоем выпрямительного элемента и малой областью на срезе-шлифе элемента используется потенциомегр ППТВ-1, обозначенный цифрой 4.

Измерение производится.,по компенсационной схеме с помощью высокочувствительного прибора,-в качестве которого используется электрометрический усилитель, чувствительный к току а, с большим внутренним сопротивлением со 10° ом.

Цифрой 5 обозначен блок питания выпрямительного элемента, содержащий обычную электрическую схему, с помощью которой могуг быть получены различные постоянные напряжения.

Предмет изобретения

Измерительный прибор, содержащий измеритель микротвердости ПЛ1Т-3, потенциометр ППТВ-1 и высокочувствительный электрометрический усилитель с большим внутренним соироти влением, отличающийся тем, что, с целью точного измерения распределения потенциала на микрорасстояниях в селеновых выпрямительных элементах, в нем применен клиновидный или конусообразный электропроводный зонд с углом заточки примерно 20°, обеспечивающим врезание зонда в срезшлиф селенового элемента.

Похожие патенты SU140915A1

название год авторы номер документа

Иллюстрации к изобретению SU 140 915 A1

Реферат патента 1961 года Измерительный прибор

Формула изобретения SU 140 915 A1

SU 140 915 A1

Авторы

Бакаев А.В.

Геллер И.Х.

Дорин В.А.

Захаров П.М.

Наследов Д.Н.

Соловьев Р.А.

Даты

1961-01-01Публикация

1961-02-06Подача