Ионизационный манометр Советский патент 1961 года по МПК G01L21/32 

Известные ионизационные манометры, в которых ионизация газа осуществляется электронами, обладают недостаточной чувствительностью и измеряют давление не ниже .w рт. ст. - 10 мм рт. ст.

Нижний предел измерений известных ионизационных манометров ограничивается наличием фонового тока коллектора, главной причиной появления которого является облучение коллектора мягким рентгеновским излучением, возникающим при торможении электронов в материале анода. Рентгеновские кванты, попадая на коллектор, выхватывают из него фотоэлементы, которые искажают показания манометра.

Для повышения чувствительности и расширения пределов измерения в сторону более низки.х давлений предлагается выполнение ионизационного манометра в виде электростатического анализатора, состоящего из двух обкладок цилиндрического конденсатора, в зазор между которыми вводится слабо расходяшийся пучок электронов.

В предлагаемой конструкции маиометра исключается облучение коллектора рентгеновским излучением анода.

На чертеже изображена схе.ма предлагаемого манометра.

В зазор между обкладками / и .2 цилиндрического конденсатора вводится слабо расходящийся пучок электронов, испускаемых катодом 8 и ускоренных электродом 4. Электроны двигаются но траекториям,

близким к окружностям с радиусом (Ri и R2 - радиусы соответственно внешней и внутренней обкладок 1 i 2 цилиндрического конденсатора) и собираются на аноде 5. Внешняя обкладка / конденсатора разделена на две электрические изолированные друг от друга части, из которых одна является собственно коллектором ионов, а другая - электрод 6-стянута центральным углом, равным 2 arc cos - , и граничит с анодом 5 (но изолирована от него).

/.,

№ 14Ш07

Внешняя обкладка / находится под отрицательным по отношению к аноду 5 и внутренней обкладке 2 потенциалом, и, являясь коллектором, собирает ноны, образовавшиеся в зазоре при прохождении электронного пучка.

Рентгеновское излучение анода 5 может попасть только на ближайший к аноду участок внешней обкладки 1 - электрод 6 и совсем не попадет на коллектор ионов. Следовательно, в цепи коллектора будет отсутствовать не зависящий от давления фоновый ток.

Тем самым возможно расширение пределов излучения в сторону более низких давлений (меньше 10-- -Ю мм рт. ст.) и повышение чувствител1ности манометра.

Предмет и з о б р с т е н и я

Ионизационный манометр, отличаюшийся тем, что, с целью повышения чувствительности и расширения пределов измерения от Ю мм рт. ст. в сторону более низких давлений, он выполнен в виде электростатического анализатора, состоящего из двух обкладок цилиндрического конденсатора, в зазор между которыми вводится слабО расходящийся пучок электроно з.

2 -