Способ настройки интегральных тензомостов с питанием от источника стабилизированного тока Советский патент 1988 года по МПК G01B7/16 

7-,/7

ел

,

Изобретение относится к измери- 1 ельной технике, а именно к способам Изготовления интегральных тензомос- iloB, и может быть использовано при индивидуальной настройке тензомостов 11 процессе контроля их температурных 5(:арактеристик.

Целью изобретения является повы- пйние точности измерения в условиях Еюздействия переменных температур за счет стабилизации получаемого при настройке начального уровня сигнала тензомоста, что достигается измере- ием начального уровня сигнала и со- противления диагонали питания тензо- ьюста при двух различных температура li режиме питания стабилизированным напряжением с последующим расчетом требуемого значения начального уровн и подгонкой путем разрыва перемычек (сопротивления компенсационного резистора, изготовленного из того же материала, что и другие резисторы тензо- иоста, до величины, создающей это

требуемое напряжение.

На чертеже представлена технологи интегрального тензомоста, предназначенного для настройки предлагаемым способом, перед началом процесса на- стройки..

Интегральный тензомост содержит четыре рабочих резистора 1-4, вы- 1| олненные., например, из кремния с соответствующим типом проводимости и расположенные на периферии круглой мембраны датчика давления, два компенсационных резистора 5 и 5 из того ;|се материала, выполненные в виде от- ;|(ельнь1Х участков, зашунтированных

1 1еремычками 7 и 8, и токопроводящие | opoжки 9- с контактными плогцадками 10 представляющими собой вершины диаго- )|1алей тензомоста.

: Способ осуществляется следующим (Образом.

Подключают диагональ питания тен- йомоста к источнику стабилизированно to напряжения и измеряют начальный (фовень сигнала- тензомоста при двух азличных температурах. Одновременно ifipH тех же температурах определяют (Сопротивление диагонали питания тен- йомоста. Полученные данные подставляют в формулу для расчета требуемого уровня выходного напряжения

)-у(Т1.)

infill) к(Та)

(1)

где и - расчетное значение лапряже- ния на выходе измерительной диагонали тензомоста, обеспечивающее стабилизацию начального уровня сигнала тензомоста от температуры;

и(т)

и Ud) - напряжения на выходе измерительной диагонали тензомоста при температурах Т и Т.;

R(TI)

и Rd) - сопротивления диагонали питания тензомоста при температурах Т и Т.

Затем производят подгонку одного из двух имеющихся в смежных плечах тензомоста компенсационных резисторов 5 или 6, причем выбор резистора 5 или 6 определяется знаками ухода от температуры начального уровня напряжения и сопротивления тензомоста. Для этого разрывают в соответствии с выбранным параметром, характеризующим величину компенсационного резистора 5 или 6 - напряжением на выходе измерительной диагонали тензомоста, поочередно перемычки 7 или 3 до тех пор, пока наблюдаемое значение напряжения на выходе не станет равным в пределах принятого допуска на дискретность подгонки значения сопротивления напряжению, рассчитанному по формуле (1). На этом настройка интегрального тензомоста заканчивается и он готов к эксплуатации в условиях воздействия переменных температур.

Использование предлагаемого способа позволяет повысить точность.измерения физических параметров при наличии такого влияющего фактора как меняющаяся во времени температура. При этом уменьшается аддитивная составляющая погрешности тензомоста от температуры и упрощается ее эксплуатация, поскольку начальный уровень сигнала с тензомоста остается постоянным и не требует регулировки последующей регистрирующей аппаратуры.

Формула

и 3

обретения

Способ настройки интегральных тензомостсв с питанием от источника. стабилизированного тока, заключающийся в том, что измеряют начальный уровень сигнала моста при двух различных температурах, расчетным путем определяют параметр, характеризующий

величину сопротивления компенсационного резистора, добавляемого в одно из плеч моста в зависимости от знака аддитивной температурной чувствительности моста, и путем разрьша перемычек, закорачивающих отдельные участки компенсационного резистора, устанавливают требуемую величину этого параметра, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения в условиях воздействия пере- менных температур за счет стабилизации получаемого при настройке начального уровня сигнала тензомоста, начальный уровень сигнала тензомоста при двух различных температурах измеряют в режиме питания тензо.моста от источника стабилизированного напряжения, при этих же температурах опре- деляют сопротивление диагонали питания тензомоста, а в качестве параметра, характеризующего величину сопротивления компенсационного резистора, выполненного из того же мате

o

n

5

риала, что и другие резисторы тензомоста, используют расчетное значение напряжения на выходе тензимвста при его питании от источника стабилизированного напряжения, полученное по формуле

..U(T4)-U(Ti)

- кТт7Т R(fp:

где и - расчетное значение напряжения на выходе измерительной диагонали тензомоста, обеспечивающее стабилизацию начального уровня сигнала от температуры;

и(т,),

и(Тj) - напряжения на выходе измерительной диагонали тензомоста при температурах Т, и

R(T,),

R(Tj) - сопротивления диагонали питания тензомоста при температурах Т, и Т.,

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам изготовления и({тегральных тензомостов, и может быть использовано при индивидуальной настройке тензомостов, предназначенных для работы при переменных температурах. Цель изобретения повышение точности измерения в условиях воздействия переменных температур за счет стабилизации получаемого при настройке начального уровня сигнала тензомоста, что достигается измерением начального уровня сигнала и сопротивления диагонали питания тензомоста при двух различных температурах в режиме питания тезомоста стабилизированным напряжением с по- . следующим расчетом требуемого значения начального уровня напряжения и подгонкой его путем разрыва перемычек 7 или 8 компенсационного резистора 5 или 6, изготовленного из того же материала, что и резисторы 1, 2, 3 или 4 тензомоста. Выбор резистора 5 или 6 определяется знаками ухода напряжения и сопротивления тензомоста от температуры. Способ позволяет повысить точность измерения и упростить эксплуатацию регистрирующей аппаратуры. 1 ил. (Л с