УЗЕЛ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ Советский патент 1994 года по МПК H01J5/48 

Изобретение относится к электротехнике, в частности к генераторам низкотемпературной плазмы, и может быть использовано в плазмохимии для получения газовых потоков высоких энергий.

Целью изобретения является увеличение ресурса работы при герметизации разрядной трубки СВЧ-плазмотрона за счет снижения температуры на поверхности разрядной трубки в зоне уплотнения.

На чертеже показана конструкция узла герметизации цилиндрической детали.

Узел герметизации цилиндрической детали содержит чередующиеся металлические распорные 1 и эластичные уплотнительные 2 шайбы, вставленные в цилиндрическую проточку корпуса 3 и поджатые цилиндрическим выступом фланца 4. В распорных шайбах 1 выполнены внутренние проточки 5 и наружные кольцевые выступы 6. Одна из уплотнительных шайб 2 установлена во внутренней проточке 7 корпуса 3, а остальные уплотнительные шайбы установлены во внутренних проточках 5 распорных шайб 1, электрически соединенных между собой, с корпусом и фланцем. Между наружными выступами распорных шайб 1, боковой стенкой цилиндрической проточки корпуса 3 и цилиндрическим выступом фланца 4 образована герметичная кольцевая полость 8 для охлаждающей жидкости.

Зазор δ между разрядной трубкой 9 и корпусом 3 выбран из соотношения
δ = (0,05-0,15)t, где t - толщина стенки разрядной трубки, м.

Работа узла герметизации цилиндрической детали сводится к вытеснению материала уплотнительных шайб 2 в пространство зазора δ за счет сжатия распорных шайб 1 нажимным фланцем 4 и подача охлаждающей жидкости в кольцевую полость под давлением 3 ˙ 10⁵ Па. (56) Заморенов А. Т. , Петров Е. А. , Потапов Ю. А. и др. Плазменная установка "Фиалка-2". Электронная промышленность, N 8, 1974, с. 57.

Рот А. Вакуумные уплотнения. М. : Энергия, 1971, с. 314-315.

Изобретение может быть использовано в плазмохимии для получения газовых потоков высоких энергий. Узел герметизации цилиндрических деталей содержит чередующиеся металлические распорные 1 и эластичные уплотнительные 2 шайбы, вставленные в цилиндрическую проточку корпуса 3 и поджатые цилиндрическим выступом фланца 4. Одна шайба 2 установлена во внутренней проточке 7 корпуса, а остальные - во внутренних проточках 5 распорных шайб 1, электрически соединенных между собой, с корпусом 3 и фланцем 4. Между наружными выступами шайб 1, боковой стенкой цилиндрической проточки корпуса 3 и цилиндрическим выступом фланца 4 образована герметичная кольцевая полость 8 для охлаждающей жидкости. Зазор δ между разрядной трубкой 9 и корпусом 3 выбрана из соотношения d=(0.05-0.15)t, где t - толщина стенки разрядной трубки. Узел герметизации имеет увеличенный ресурс работы. 1 ил.

УЗЕЛ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ, содержащий чередующиеся металлические распорные и эластичные уплотнительные шайбы, вставленные в цилиндрическую проточку корпуса и поджатые цилиндрическим выступом фланца, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса работы при герметизации разрядной трубки СВЧ-плазмотрона, в распорных шайбах выполнены внутренние проточки и наружные кольцевые выступы, одна из уплотнительных шайб, выполненных из фторопласта, установлена во внутренней проточке корпуса, а остальные уплотнительные шайбы установлены во внутренних проточках распорных шайб, электрически соединенных между собой, с корпусом и фланцем, при этом между наружными выступами распорных шайб, боковой стенкой цилиндрической проточки корпуса и цилиндрическим выступом фланца образована герметичная кольцевая полость для охлаждающей жидкости, а зазор δ между разрядной трубкой и корпусом составляет 0,05 - 0,15 толщины стенки разрядной трубки.