Устройство для измерения поверхностного потенциала Советский патент 1988 года по МПК G01R29/12 

Изобретение относится к техник-е электроизмерений. Цель изобретения - повышение точности и надежности. Устр-во содержит эоид в виде световода 1 со слоем металлизации 2, на рабочий торец которого нанесен слой фотополупрОБОдника 3, а к другому его торцу подстыкован источник 4 света, модулированный по яркости, а также усилитель 5 электрического сигнала и регистратор 6. Устр-во устанавливают на образец. 7, поверхностный потенциал которого измеряют. По световоду 1 модулированное излучение воздействует на фотополупроводник 3, создавая в нем слой повышенной проводимости, эффективная толщина которого меняется в частотой f модуляции света. Емкость системы зонд - поверх- . ность образца 7 также меняется с частотой f, что эквивалентно динамическому конденсатору в устр-вах с механически колеблющимся зондом. Однако в данном устр-ве из-за отсутствия механически колеблющихся частей рабочая частота f м.б. на несколько порядков выше. Это позволяет повысить точность измерения и снизить время.измерения при исследовании быстроменяющегося потенциала на поверхности. За счет отсутствия механических колебаний исключается поломка зонда при его соприкосновении с поверхностью, что повышает надежность устр-ва. -1 ил. СП