Способ измерения толщины покрытия Советский патент 1988 года по МПК G01B15/02 

со ;& со со

Изобретение относится к измеси- тельной технике и предназначено для неразрушамщего контроля толщины покрытия с помощью проникающего ионизирующего излучения и (})луоресцен- ции.

Цель изобретения - повьшение точности измерения толщины покрытий на несплошньсх изделиях путем корректи- ровки времени измерения.

На чертеже изображена структурная схема устройства для реализации предлагаемого способа.

Устройство содержит измерительньй преобразователь I, в котором расположены источники 2 излучения, например радиоизотопы А , детектор 3, вьшол- ненный в виде сцинтиллятора 4 и фотоэлектронного умножителя (ФЭУ) 5, усилитель 6 принимающий сигналы с ФЭУ, амплитудные дискриминаторы 7 и 8, подключенные к выходу усилителя 6 для выделения двух последовательностей соответственно с импульсами ка- рактеристического излучения и фона и с импульсами обратнорассеянного от изделия первичного возбуждающего излучения, схему 9 антисовпаденнй, один из входов Которой подключен к выходу дискри инатора 7, а другой через делитель 10 частоты (с коэффициентом давления К - к выN ф

ходу дискриминатора 8, счетчик 11, счетный вход которого подключен к выходу схемы 9 антисовпадений, счетчик 12, счетный вход которого подключен к, выходу дискриминатора 8, а выход старшего разряда - к входу Ос тановка счетчика 11, и преобразователь 13, сопряженный со счетчиком 11

Способ измерения толщины покрытия осуществляют следующим образом.

Потоком первичного возбуждающего излучения источников 2, например раД41. .

диоизотопов А , облучают контролируемое изделие со стороны покрытия 14, нанесенного на основание 15.

Поток первичного излучения возбуждает характеристическое излучение элементов, входящих в состав контролируемого изделия, и обратно рассеивается контролируемым изделием.

При помощи детектора 3, например сцинтилляционного, энергии характеристических излучений, входящих в состав контролируемого изделия, энергии обратнорассеянного от изделия nepBH iHoro изл чения и энергии фона, обусловленного обратным рассеянием, преобразуются в электрические импуль сы, которые усиливаются по амплитуде в усилителе 6 и подаются на входы амплитудных дискриминаторов 7 и 8 для выделения двух последовательностей соответственно с импульсами характеристического излучения покрытия и фона и с импульсами обратнорассеянного от .изделия первичного возбуждающего излучения.

С целью вьщ,еления последовательности импульсов характеристического излучения покрытия импульсы с выхода дискриминатора 7 подаются на один из входов схемы 9 антисовпадений, на другой вход которой через делитель 10 частоты (с коэффициентом деления

К

N

Ф

подаются импульсы с выхода

дискриминатора 8. Затем выделенные импульсы характеристического излуче- .ния с выхода схемы 9 антисовпадений подаются на вход счетчика 11, который подсчитывает их количество N,

равное N N , - N - Кф, в

течение времени измерения, задаваемого емкостью С счетчика 12, на вход которого подаются ийпульсы обратно- рассеянного излучения с выхода дискриминатора 8, а выход старшего разряда подключен к входу Остановка сче счетчика I1. Причем емкость С счетчика 12 определяется из условия обеспечения требуемой статистической погрешности.

Таким образом, счетгчнк 11 за время t заполнения емкости С счетчика 12 подсчитьшает количество импульсов характеристического излучения Ny, равное

где f у.и f-oSf - частоты следования

импульсов соответственно характеристического излучения покрытия и обратнорассеянного от изделия, первичного излучения. По окончании цикла измерения количество импульсов N,. с помощью преобразователя 13, сопряженного со счетчиком 11, преобразовьшается в единицы поверхностной плотности покрытия.

Значения частот следования f и fpgp прямо пропорциональны площади изделия S, перекрьшающей поток первичного возбуждающего излучения, оД- нако их соотношение не зависит от S.

Можно измерить также толщину покрытий сплошных и несплошных изделий, так как результаты измерения при прочих равных условиях не зависят от площади изделия, перекрывающей поток первичного возбуждающего излучения.

Формула изобретения

Способ измерения толщины покрытия, заключающийся в том, что на контролируемое изделие направляют поток первичного ионизирующего излучения, преобразовьшают энергии характерис

го от изделия первичного излучения и энергии фона обратного рассеяния в электрические импульсы, из которых вьщеляют последовательность импульсов характеристического излучения покрытия и последовательность импульсов обратнорассеянного от изделия первичного возбуждающего излучения, регистрируют количество импульсов характеристического излучения покрытия и определяют толщину -покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения толщины покрытий на нёсплощных изделиях, регистрацию иютульсов характеристического излучения покрытия осуществляют за время регистрации заданного числа импульсов обратнорассеянного от изде ЛИЯ первичного ионизирующего излучения, которое определяется из услр- ви задаваемой статистической по

Изобретение относится к измери- . тельной технике для неразрушающего кoнтpoлk толщины покрытия с помощью проникающего ионизирующего излучения и флуоресценции. Целью изобретения является повышение точности измерения толщины покрытий на несплошных изделиях путем корректировки времени измерения. Выделяются последовательности характеристического излучения покрытия и фона обратнорассеянного излучения, а толг;ину покрытия определяют по числу импульсов характеристического излучения, подсчитанных за время регистрации импульса фона обратнорассеянного излучения. 1 ил. SS

тических излучений, обратнорассеянно- грешности.

15.