Устройство для измерения ионных токов в масс-спектрометрических схемах Советский патент 1962 года по МПК H01J47/08 G01T1/36 H01J43/10 H01J49/26 

Предложенное устройство для измерения ионных токов в массспектрометрических схемах обладает но сравнению с известными устройствами, лриманяющимися для аналогичных целей, более высокой точностью .измерения и более простой конструкцией.

Достигается это лутем применения одного динода фотоумножителя в качестве преобразователя ионного тока в электронный (а не всего фотоумножителя, как это делается в известных устройствах), причем регистрация предварительно ускоренных электронов осуществляется непосредствевно типовым Гейгеровским торцовым счетчиком для мягких р-излучений.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства.

Устройство предназначено для измерения при масс-спектрометрических исследованиях И0«ных токов, имеющих величину порядка 10-ifi-10-170.

Устройство содержит динод. Гейгеровский торцовый счетчик для мягких р-излучений ипересчетный прибор.

При использовании этой системы в ион;но-оптических схемах, где энергия ионов пучка мала, после выхода из анализатора создается дополнительное электрическое поле, обеспечивающее ускорение ионов и сообщение им необходимой для создания эффекта вторичной электронной эмиссии с динода энергии.

Действует устройство следующим образом.

ИоНный пучок / направляется на динод 2, где возникает вторичная электронная эмиссия 3. Вторичные электроны по выходе из динода ускоряются в специально созданном электрическом поле 4 и попадают на торцовый счетчик 5,

Так как при попадании каждого электрона в счетчике возникает заряд, то число электронов, попавших в счетчик, определяется по числу разрядов и подсчитывается пересчетным прибором 6.

Отсутствие системы усиления измеряемого тока устраняет яеизбежные при усилении слабых токов искажения.

Устройство допускает возможность -проведения его градуировки на «сильных токах порядка а.

Диапазон измерения токов с одинаковой абсолютной погрешностью охватывает токи от 10 а.

Предмет изобретения

Устройство для измерения ионных токов в масс-спектрометрических схемах, отличающееся тем, что, с целью увеличения точности измерения и упрощения конструкции устройства, применен один динод фотоумножителя ,в качестве преобразователя ионного в электронный и Гейгеровский счетчик для мягких р-излучеиий.

(S