Известны способы автоматического измерения малых отклонений шага деталей с периодическими структурами, например спиралей замедляющих линий ЛБВ. Однако такие способы не обеспечивают достаточно быстрых измерений.
В описываемом способе для получения быстрых измерений отклонений шага сравнивают два световых потока. Величина одного из световых потоков постоянна и пропорциональна среднему шагу, а величина другого изменяется в соответствии с шагом исследуемого изделия.
На чертеже изображена схема устройства для осуш,ествления способа.
Способ автоматического измерения малых отклонений шага деталей с периодическими структурами состоит в том, что световой поток от осветителя 7, проходящий через измеряемую деталь, например спираль 2 замедляющей линии ЛБВ, используют для получения сначала на зеркале 5, а затем на экране 4 увеличенного изображения витков 5 спирали 2 в виде чередующихся полос 6 и 7. При этом применяют оптическую систему 5 с достаточно малым фокусным расстоянием, чтобы избежать фокусирования диаметрально противоположных частей витков 5. Фотоэлемент засвечивают световым потоком, проходящим сквозь узкую щель 10, длина которой в определенные моменты движения спирали 2 ограничивается теневыми полосами 7 от двух соседних витков 5, и пропорциональным поэтому щагу спирали 2. Электрические импульсы, в которые преобразуют с помощью фотоэлемента 9 пульсирующий световой поток, имеющие амплитуду, пропорциональную щагу спирали 2, подают в устройство //, к которому подводят также от фотоэлемента 12 импульсы постоянной амплитуды, соответствующие среднему шагу. Величину светового потока подбирают при помощи ирисовой диафрагмы 13. С устройства 11 напряже
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ЛАМПА БЕГУЩЕЙ ВОЛНЫ | 1969 |
|
SU245927A1 |
Замедляющая система лампы бегущей волны | 1983 |
|
SU1140188A1 |
МОЩНАЯ СПИРАЛЬНАЯ ЛАМПА БЕГУЩЕЙ ВОЛНЫ | 2004 |
|
RU2285310C2 |
ЛАМПА БЕГУЩЕЙ ВОЛНЫ | 1991 |
|
RU2036530C1 |
Способ контроля линейных размеровМиКРООб'ЕКТОВ | 1979 |
|
SU838326A1 |
Способ контроля линейных размеров периодических микроструктур | 1978 |
|
SU765651A1 |
КОАКСИАЛЬНО-СПИРАЛЬНЫЙ ПЕРЕХОД ДЛЯ ЛАМП БЕГУЩЕЙ ВОЛНЫ | 1970 |
|
SU273881A1 |
Способ контроля качества спиралей для тел накала источников света и устройство для его осуществления | 1988 |
|
SU1669017A1 |
ЛАМПА БЕГУЩЕЙ ВОЛНЫ | 1970 |
|
SU269325A1 |
Мощная спиральная лампа бегущей волны | 2021 |
|
RU2775166C1 |
Авторы
Даты
1962-01-01—Публикация
1961-02-06—Подача