Интерферометр Советский патент 1962 года по МПК G01B9/02 G01M11/02 

Известны интерферометры для контроля параболических поверхностей вращения.

Отличительная особенность описываемого интерферометра состоит в том, что в его объективе расстояние между задним фокусом и центром кривизны последней полупрозрачной сферической поверхности равно расстоянию между фокусами контролируемой поверхности вращения. Интерферометр такой конструкции обеспечивает возможность контроля гиперболических и эллиптических поверхностей вращения.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема описываемого интерферометра; на фиг. 2-взаимное расположение объектива и контролируемой выпуклой гиперболической поверхности вращения; на фиг. 3 - то же, вогнутой гиперболической поверхности; на фиг. 4 -взаимное расположение объектива и контролируемой выпуклой эллиптической поверхности; на фиг. 5 -то же, вогнутой эллиптической поверхности.

Интерферометр состоит из осветителя 1, объектива 2, установленной под углом 45° полупрозрачной пластины 3, плоского зеркала 4 и объектива 5, за которым располагается контролируемая поверхность 6.

Параллельный пучок лучей 7, попадая на полупрозрачную пластину, разделяется на два параллельных пучка 8 и 9, один из которых, попав на зеркало 4, отражается от него и идет в обратном направлении. Другой пучок попадает на объектив 5 и после его прохождения в зависимости от формы контролируемой поверхности принимает форму сходящегося или расходящегося пучка. Контролируемая поверхность устанавливается так, чтобы один из ее фокусов f i совпадал с задним фокусом F объектива, а другой фокус Fg-с центром кривизны О последней полупрозрачной сферической поверхности. После отражения от гиперболической или эллиптической поверхности лучи света идут нормально к полупрозрачной сферической поверхности объектива 5 и, от№ 146529-2разившись от нее, повторяют свой путь в обратном направлении. Оба пучка (отраженный от плоского зеркала и от контролируемой поверхности) встречаются на полупрозрачной пластине и интерферируют между собой.

Наблюдая интерференционную картину можно судить о деформации фронта световой волны и тем самым о качестве контролируемой поверхности.

Интерферометр может работать и в сравнительной схеме контроля. В этом случае в обе ветви интерферометра устанавливают объективы 5, а плоское зеркало заменяют сферическим и располагают так, чтобы центр его кривизны совпадал с задним фокусом объектива. Для контроля выпуклой и вогнутой гиперболических поверхностей вращения и выпуклой и вогнутой эллиптических поверхностей конструкция объектива выбирается такой, чтобы задний фокус объектива совпадал с тем фокусом контролируемой поверхности, который наиболее удален от нее. В этом случае относительное отверстие объектива будет наименьшим.

Предмет изобретения

Интерферометр, отличающийся тем, что, с целью контроля гиперболических и эллиптических поверхностей вращения, в нем расстояние между задним фокусом и центром кривизны последней полупрозрачной сферической поверхности объектива равно расстоянию между фокусами контролируемой поверхности вращения.

9иг1

3

I

Jz

Pu 3