Способ определения концентрации и подвижности носителей тока в полупроводниках Советский патент 1989 года по МПК G01N22/00 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - обеспечение однозначности измерений при постоянном магнитном поле. Сущность данного способа измерений поясняется работой устр-ва, при которой полупроводник накладьгеают на выходное отверстие радиоволнового преобразователя 6. Затем облучают его электромагнитной волной Н, от .СВЧ-г-ра I и воздействуют магнитным полем от магнитной системи П. С помощью фазовращателя 3 добиваются максимального преобразования измеренной измерителем 10 мощности электромагнитной волны Нд, прямоугольного волновода, которая в нем возбуждается полупроводником и распространяется от полупроводника к СВЧ-г-ру 1. Затем фиксируют показания и Р измерителей 5 и 10 MOPtHocTH и ввиду того, что волновые сопротивления для электромагнитных волн типов и Но4 в квадратном волноводе равны, по ф-лам вычисляют концентрацию и подвижность носителей тока в полупроводнике. 1 ил. (/