Способ тестирования интегральных схем Советский патент 1989 года по МПК G01R31/308 

Описание патента на изобретение SU1465837A1

Похожие патенты SU1465837A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПОТЕНЦИАЛОВ 1991
  • Суворинов Александр Владимирович
  • Титов Сергей Владимирович
  • Филипчук Татьяна Сергеевна
  • Шахбазов Сергей Юрьевич
RU2050326C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ 1996
  • Стариков С.В.
RU2180429C2
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ 1996
  • Стариков С.В.
RU2156437C2
ОПТИЧЕСКИЙ КОММУТАЦИОННЫЙ ЭЛЕМЕНТ НА ОСНОВЕ МНОГОСЛОЙНОГО ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СЕЛЕКТИВНОГО ЗЕРКАЛА 2011
  • Костров Сергей Владимирович
  • Багманов Валерий Хусаинович
  • Султанов Альберт Ханович
RU2456648C1
Способ диагностики заполнения лёгкими и облегчёнными цементами заколонного пространства нефтегазовых скважин нейтронным методом и сканирующее устройство для его реализации 2019
  • Егурцов Сергей Алексеевич
  • Меньшиков Сергей Николаевич
  • Ахмедсафин Сергей Каснулович
  • Иванов Юрий Владимирович
  • Кирсанов Сергей Александрович
  • Лысенков Александр Иванович
RU2732804C1
СПОСОБ РАБОТЫ ПРОПОРЦИОНАЛЬНО-ИНТЕГРАЛЬНОГО РЕГУЛЯТОРА 2014
  • Малафеев Сергей Иванович
  • Малафеева Алевтина Анатольевна
  • Бахирев Алексей Владимирович
RU2573731C2
СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫМ ПОДВЕСОМ РОТОРА 2015
  • Сальников Сергей Владимирович
  • Веремеев Вячеслав Евгеньевич
  • Витковский Дмитрий Владимирович
  • Бережной Вячеслав Геннадьевич
  • Сопит Сергей Александрович
  • Москалёв Андрей Владимирович
RU2589718C1
Насосная станция с программно-аппаратным обеспечением для создания точных управляемых давлений 2022
  • Зубов Сергей Владимирович
RU2802559C1
НЕЙРОКОМПЬЮТЕР И СПОСОБ НЕЙРОННОЙ ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ 2007
  • Цыганков Владимир Дмитриевич
  • Соловьев Сергей Владимирович
RU2351011C1
СТАБИЛИЗАТОР НАПРЯЖЕНИЯ 1991
  • Дворовенко Сергей Владимирович[Ua]
RU2079871C1

Иллюстрации к изобретению SU 1 465 837 A1

Реферат патента 1989 года Способ тестирования интегральных схем

Изобретение относится к микро- зондовой технике. Цель изобретения - повьппение точности и информативности контроля интегральных схем. Испытуемая интегральная схема 1 облучается острофокусированным импульсным пучком 3 электронов. Импульсы вторично- эмиссионного потока преобразуют в электрический сигнал с помощью пре- образователя 4 и интегрируют интегратором 5о Результат интегр ирования сравнивают с опорным напряжением с помощью компаратора 7 и по результату сравнения изменяют границу энергетической фильтрации фильтра 1,по величине которой судят об измеряемом потенциале. 2 ил. Cffiflof. инп. § (Л

Формула изобретения SU 1 465 837 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1989 года SU1465837A1

Практическая растровая электронная микроскопия: Перев
с англ о
М,: Мир, 1978, с
ТЕЛЕФОННЫЙ АППАРАТ, ОТЗЫВАЮЩИЙСЯ ТОЛЬКО НА ВХОДЯЩИЕ ТОКИ 1921
  • Коваленков В.И.
SU275A1
Fasekas Р., Р еиегЪаит К-Р„, Wolfr,anR Е
Scanning electron beam probes УЬЯТ chips
- Electronics, 1981, V.54, N 14, p.109.

SU 1 465 837 A1

Авторы

Осипов Андрей Николаевич

Суворинов Александр Владимирович

Титов Сергей Владимирович

Шахбазов Сергей Юрьевич

Даты

1989-03-15Публикация

1987-05-22Подача