Устройство для измерения локальной термо-ЭДС Советский патент 1989 года по МПК G01N25/32 

Изобретение относится к материа- : ловедению.

Целью изобретения является повышение производительности измерений путем обеспечения надежного эле,к- трического контакта всех термопреоб- ра зователей с образцом.

На черетеже представлено устройство, общий вид.

Устройство содержит клиновидную пластину 1, на которую наложена изогнутая плёнка 2 с имеющимися на ней нагревателем 3 и термопреобразователями 4. Пластина сошлифована под срезанный клин. Нагреватель 3 и термопреобразователи 4 изготовлены методом тонкопленочной технологии, причем нанесены на непроводящую полиамидную пленку 2 толщиной 5-100 мкм, достаточно прочную и одновременно гибкую и эластичную. Нанесение осуществлено на одну из плоскостей пленки 2 до ее изгиба. Пленка 2 изогнута по линии горячих спаев термопреоб- разОвателей 4, а затем прикреплена к двум плоскостям клиновидной пластины 1, в результате чего между ее клином и линией изгиба образуется зазор, достаточный для компенсации .микронеровностей, имеющихся на поверхности исследуемого образца, что и обеспечивает надежный электрический контакт всех термопреобразователей с образцом.

Устройство выполнено из ситалловой пластины, прошлифованной под срезанный клин, к обеим плоскостям которой прикреплена изогнутая пластичная полиамидная пленка. На поверхность последней нанесены алюминиевый резистивный элемент и двадцать тБр- мопреобразователей, материал термоэлектродов которых зависит от материала исследуемого образца. Например,

4

13Э

СО

1469413

если образцы вольфрамрениевые, термопреобразователи выполнены вольфрймплатиновыми.

Устройство в комплекте с микроскопом, источником питания и измерительными приборами работает следующим

образом.Исследуемьй образец в виде шлифа устанавливают в поле зрения микроскопа под углом 45° к оптической оси микроскопа. Устройство располагают по нормали к нему и опускают кром- кой пластины 1 с изогнутой пленкой L на шлиф с помощью манипулятора при непрерывном наблюдении для выявления момента и характера соприкосновения устройства со шлифом. Подключением резистивно-нагревателького элемента 3 к ИСТОЧН11КУ питания создается градиент температуры образца, измеряемый с помощью проградуированных термопреобразователей 4, горячие спаи которых имеют контакт со шлифом. Считая вольфрамовый термоэлектрод одного из термопреобразователей 4, например крайнего, электродом сравнения, относительно него измеряют локальную термо-ЭДС в остальных 19 точках образца. Она фиксируе- тся поочередно измерительным прибором в цепях вольфрамовый электрод сравнения - образец - вольфрамовый электрод ; -го термопреобразователя.

Измеренные значения представляют собой локальные термо-ЭДС отдельных точек образца при учете значений температур измеряемых точек и термо-ЭДС вольфрамового электрода. Устройство позволяет провести порядка десяти измерений в минуту с погрешностью 4-6%.