СПОСОБ РЕГИСТРАЦИИ ИЗМЕНЕНИЙ ПОРЯДКА ИНТЕРФЕРЕНЦИИ И ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ Советский патент 1994 года по МПК G01B21/00 

/ Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения изменений оптической разности хода в интерферометрах.

Цель изобретения - повышение надежности измерений путем обеспечения регистрации скачкообразных изменений порядка интерференции за счет формирования дополнительного плеча интерферометра в белом цвете и регистрации целой части изменения оптической разности хода по положению ахроматической полос, которое отслеживает скачки порядка интерференции.

На фиг. 1 приведена оптическая часть интерферометра; на фиг. 2 - оптическая часть схемы интерферометра, поясняющая принцип регистрации изменений порядка интерференции в белом свете; на фиг. 3 - электронная часть схемы интерферометра; на фиг. 4 - схема блока сравнения (пример реализации); на фиг. 5 - схема блока вычислений и правления (пример реализации); на фиг. 6 - диаграммы работы блока управления модулятором и электронной части схемы интерферометра.

Интерферометр состоит из установленных вдоль оптической оси источника 1 монохроматического излучения, источника 2 белого света, состоящего из газоразрядной лампы 3, экрана 4 с небольшим круглым отверстием и положительной линзы 5, в фокусе которой располагается отверстие экрана 4, расширительной системы 6, состоящей из двух положительных линз 7 и 8, между которыми установлен модулятор 9 оптической разности хода, блока 10 кювет, образованного кинематически связанными между собой первой, второй и третьей вакуумированными кюветами 11, 12 и 13, четвертой контрольной кюветой 14, пятой вакуумированной кюветой 15 и шестой вакуумированной кюветой 16 с контрольной частью 17, диафрагмы 18 и установленного между кюветами 15 и 16 и диаграммой 18 компенсатора 19, положительной и цилиндрической линз 20 и 21, первого фотопреобразователя 22, состоящего из первого обтюрационного растра 23, первой части 24 билинзы Бийе и первого фотоприемника 25, второго фотопреобразователя 26, состоящего из второго обтюрационного растра 27, второй части 28 билинзы Бийе и второго фотоприемника 29, и третьего фотопреобразователя 30, состоящего из экрана 31 с продольной щелью и третьего фотоприемника 32.

Электронная часть интерферометра содержит первый, второй и третий фотоприемники 25, 29 и 32, блок 33 измерения дробной части порядка интерференции, содержащий первый и второй формирователи 34 и 35, схему 36 измерения интервала и счетчик 37, блок 38 регистрации целых интерференционных полос, содержащий схему 39 сравнения, регистр 40 памяти и счетчик 41, генератор 42 импульсов, блок 43 управления модулятором 9, содержащий схему 44 деления, генератор 45 пилообразного напряжения и преобразователь 46 перемещения, делитель 47 частоты, стробируемые аналого-цифровой преобразователь 48 и блок 49 памяти, а также блок 50 сравнения.

Входы первого и второго формирователей 34 и 35 подключены соответственно к входам фотоприемников 25, 29, а их вход соединен с первым и вторым входами схемы 36 измерения интервала, выход которой соединен с входом счетчика 37, вход которого соединен с первым входом схемы 39 сравнения и входом регистра 40 памяти блока 40, выход которого соединен с вторым входом схемы 39 сравнения, выход которой соединен с входом счетчика 41. Выход генератора 42 импульсов соединен с третьим входом схемы 36 и входом схемы 44 деления блока 43, выход которого соединен с входом генератора 45 пилообразного напряжения, выход которой соединен с входом преобразователя 46 перемещений, механически связанного с модулятором 9. Выход генератора 47 также соединен с входом делителя 47 частоты, управляющий вход которого подключен к выходу схемы 44 деления блока 43 (управляющий выход блока 43), а выход соединен со стробирующими входами блока 49 памяти аналого-цифрового преобразователя 48, информационный вход которого подключен к выходу фотоприемника 32, а выход соединен с входом блока 49 памяти, выход которого соединен с входом блока 50 сравнения.

Блок 50 содержит первый и второй регистры 51 и 52 числа, первый и второй регистры 53 и 54 номера, схему 55 сравнения чисел и схему 56 сравнения номеров, при этом информационные входы первых регистров 51 числа и 53 номера подключены к выходу блока 49, входы переписи первых регистров 51 и 53 подключен к выходу схемы 55 сравнения чисел, информационные выходы первых регистров 51 и 53 соединены с информационными входами соответствующих регистров 52 и 54 и первыми входами схем 55 и 56 сравнения соответственно, второй вход схемы 55 сравнения подключен к информационному выходу второго регистра 52, выход схем 56 соединен с входом переписи второго регистра 54 номера. На установочные входы регистров 51-54 подается сигнал "сброс", осуществляющий переустановку регистров в "0".

Блок 57 управления компенсатором состоит из последовательно включенных схемы 58 управления механизмом и механизма 59 поворота, механически связанного с компенсатором 19. Входом блок управления 57 подключен к управляющему выходу блока 60 вычислений и правления, первый информационный вход которого подключен к выходу счетчика 37 блока 33, второй информационный вход подключен к выходу счетчика 41 блока 38, а корректирующий вход подключен к выходу регистра 54 блока 50 сравнения.

Блок 60 содержит первый, второй, третий и четвертый регистры 61-64 памяти, схему 65 времени, схему 66 деления, схему 67 умножения, схему 68 сложения, схему 69 расчета коэффициента и схему 70 сравнения, при этом стробирующие входы регистров 61-64 подключены к выходу схемы 65 времени, два информационных входа регистра 61 подключены соответственно к выходу счетчика 37 блока 33 и выходу счетчика 41 блока 38, а его выход соединен с первыми входами схем 66 и 68 деления и сложения. Информационный вход регистра 62 подключен к выходу регистра 54 блока 50 сравнения, а его выход соединен с первыми входами схем 66, 69 и 70. Выход схемы 66 деления соединен с входом регистра 63, выход которого соединен с вторым входом схемы 69 расчета коэффициента, выход которой соединен с вторым входом схем 68 сложения, выход которой соединен с входом схемы 67 умножения, выход которой соединен с информационным входом регистра 64, связанного с блоком индикации (не показан). На второй вход схем 70 сравнения подается сигнал установки М_доп, первый выход схемы соединен с входом схемы 58 блока 57 правления компенсатором, а второй (запрещающий) выход соединен с входом запрета счетчика 41 блока 38.

Способ регистрации состоит в следующем.

В плоскости анализа интерференционного устройства формируют интерференционную картину в монохроматическом свете в виде интерференционных полос, смещение которых относительно некоторого начального отсчета регистрируется в виде изменений порядка интерференции в монохроматическом свете. Одновременно в плоскости анализа того же интерференционного устройства формируют интерференционную картину в белом свете (также в виде интерференционных полос), в центре которой располагается ахроматическая полоса, смещение которой относительно некоторого начального положения (нулевого положения) регистрируется в виде изменения порядка интерференции в белом свете. Созданные масштабированные изменения порядка интерференции в белом свете N_δсвязаны с соответствующими изменениями порядка интерференции в монохроматическом свете N_м соотношением
N_δ= N_м ˙К, где К - коэффициент масштабирования.

В процессе регистрации осуществляют периодическую, с периодом Т_м, синфазную модуляцию порядков интерференции в белом и монохроматическом свете. На каждом периоде модуляции измеряют значение дробной части порядка интерференции δ_м. Измерение δ_м на каждом периоде модуляции осуществляют путем преобразования изменения порядка интерференции во временной интервал между двумя электрическими сигналами, например сигналом модуляции и сигналом фототока, являющимся результатом преобразования интерференционной картины в монохроматическом свете, и измерение этого временного интервала. Кроме того, на каждом периоде модуляции осуществляют постановку в соответствии измеренному значению дробной части порядка интерференции δ_м первой, второй или третьей зоны интерференционной полосы, на которые эта полоса предварительно условно делится (размеры зон выбираются приблизительно одинаковыми). На каждом периоде модуляции дополнительно измеряют изменение порядка интерференции в белом свете η _δ. Измерение η _δосуществляют путем определения положения ахроматической полосы, преобразования изменений порядка интерференции в белом свете во временной интервал между двумя электрическими сигналами, например сигналом модуляции и сигналом фототока, являющимся результатом преобразования интерференционной картины в белом свете (точнее сигнала, являющегося результатом преобразования собственно ахроматической полосы) и измерения временного интервала. Измеренное значение η_δ на каждом периоде модуляции сравнивается с первым предельным значением η₁, при превышении которого осуществляется уменьшение масштабированного изменения порядка интерференции в белом свете на величину η₁. Последнее может осуществляться путем частичной или полной компенсации изменений порядка интерференции в белом свете, в результате чего ахроматическая полоса смещается в положение, близкое к начальному. Это является необходимым условием при ограниченном характере амплитуд модуляции; в отсутствие компенсации ахроматическая полоса может переместиться в область, не просматриваемую при осуществлении модуляции, в результате чего информация об изменении порядка интерференции в белом свете будет утеряна. Величина первого предельного значения η₁ выбирается равной 1-1,5 порядка интерференции.

Для каждых двух соседних периодов модуляции определяют характер изменения соответствия измеренных значений дробной части порядка интерференции в монохроматическом свете δ_м зонам интерференционной полос. При изменении характера соответствия с третьей зон на первую осуществляют добавление одной интерференционной полосы к регистрируемому числу целых интерференционнх полос в монохроматическом свете Q_м. При изменении характера соответствия с первой зон на третью осуществляется вычитание одной интерференционной полосы из числа Q_м. Во всех других случаях изменения соответствия число Q_м остается неизменным. Кроме того, для каждых двух соседних периодов модуляции определяют величину разности изменений порядка интерференции в белом свете Δη_δ и сравнивают значение разности Δη_δ с вторым предельным значением η₂, при превышении которого запоминают рассчитанное значение Δη_δ (превышающее η₂), считая его результатом скачкообразного изменения порядка интерференции (при этом запрещается изменение числа Q_м).

Для начала и конца регистрации определяют изменения дробной части порядка интерференции в монохроматическом свете Δδ_м и числа целых порядков интерференции Q_м, а результирующее значение изменения порядка интерференции в монохроматическом свете Р рассчитывают по соотношению
P= Δδ_м+Q_м+∃ где ΣΔη _δ- значение суммы разности изменений порядка интерференции в белом свете, превышающее второе предельное значение η₂;
_∃χ- целая часть от χ.

Интерферометр работает следующим образом.

Световой пучок с выхода источника 1 монохроматического излучения и коллимированный световой пучок с выхода источника 2 белого света, формирующийся с помощью экрана 3 со щелью и линзы 4, расширяются до рабочих размеров расширительной систем 6 и далее поступают на блок 10 кювет. Первоначально все кюветы блока 10 кювет, а также часть 17 кювет 16 вакуумируются, а затем в процессе измерения в кювет 14 и часть 17 кюветы 16 вводится исследуемое газообразное вещество и изменяются его параметры состояния. Световые пучки монохроматического излучения, прошедшие кюветы 11 и 12, дифрагируют на узких щелях диафрагмы 18 и собираются линзой 20 в ее фокальной плоскости с образованием реперной интерференционной картины, регистрируемой с помощью цилиндрической линзы 21 и фотопреобразователя 26. Световые пучки монохроматического излучения, прошедшие кюветы 13 и 14, дифрагируют на узких щелях диафрагм 18 и собираются линзой 20 в ее фокальной плоскости с образованием измерительной интерференционной картины, регистрируемой с помощью линзы 21 и фотопреобразователя 22.

Световые пучки белого света, прошедшие кюветы 15 и 16 и компенсатор 19, выполняющийся в виде компенсатора уголкового типа и устанавливающийся (первоначально) симметрично относительно световых пучков, дифрагируют на узких щелях диафрагм 18 и собираются линзой 20 в ее фокальной плоскости с образованием интерференционной картин (с ахроматической полосой в центре), регистрирующейся с помощью линзы 21 и фотопреобразователя 30.

С целью реализации в предлагаемом интерферометре принципа интерференционной модуляции на пути световых пучков, проходящих через блок 10 кювет, установлен модулятор 9 оптической разности хода, выполненный в виде уголкового модулятора, установленного между линзами 7 и 8 системы 6 симметрично относительно оптической оси и могущего поворачиваться на небольшие углы ( ≈1-2^о) с помощью преобразователя 46 поворота блока 43 управления модулятором. При периодических поворотах модулятора 9 осуществляется модуляция световых потоков, поступающих на вход фотоприемников 25, 29 и 32. Поворот модулятора 9 осуществляется с помощью блока 43 управления модулятором. При этом схема 44 деления частот, на вход которой подаются импульс с входа генератора 42 импульсов, осуществляет периодическое формирование импульсов длительностью Т_р, поступающих на вход генератора 45 пилообразного напряжения, формирующего управляющие линейно нарастающие сигнал, поступающие на преобразователь 46 поворота, жестко связанный с модулятором 9.

Фотопреобразователи 25 и 29 преобразуют поступающие на их вход переменные световые потоки в переменные электрические сигналы, при этом разность фаз между сигналами оказывается пропорциональна дробной части интерференционной полос в относительном сдвиге измерительной интерференционной картины. Формирователи 34 и 35 блока 33 измерения дробной части порядка интерференции формируют из электрических сигналов импульсные последовательности с времени интервалами, поступающими на вход схем 36 измерения интервала, на третий вход которого подается сигнал с генератора 42 импульсов. Формируемые на выходе схемы 36 импульсы (b_i) регистрируются счетчиком 37, с выхода которого периодически передаются (один раз в конце каждого периода модуляции) на вход блока 38 регистрации целых интерференционных полос. Кроме того, информация с выхода счетчика 37 блока 33 передается на один из информационных входов регистра 61 блока 60 вычислений и управления.

Число b_i регистрируемых на каждом периоде модуляции Т_м импульсов, пропорциональное дробной части порядка интерференции, определяется с помощью блока 33, проиллюстрированного в целях наглядности на наиболее простом примере реализации. В качестве генератора 42 импульсов используется стабилизированный кварцевый генератор, что обеспечивает точное задание периода электрических сигналов Т_с, при этом величина дробной части порядка интерференции δ_i определяется в виде
δ_i = b_i T_г/T_c, где Т_г - период генератора 42.

Метод, используемый для регистрации, предполагает предварительное условное разбиение интерференционной полосы на первую, вторю и третью зоны, приблизительно одинаковое по величине, определение соответствия каждого текущего значения δ_i зоне интерференционной полос и сравнения зон для значений δ_i и значений δ_i-1, полученных на предыдущих (i-1)-ом периоде модуляции. Значения δ_i-1, зафиксированные на предыдущем периоде модуляции, хранятся в регистре 40 памяти и подаются на вход схемы 39 сравнения. На другой вход схемы подаются текущие значения δ_i. По результатам логического анализа зонных переходов схема 39 формирует команду на изменение (при необходимости) содержимого счетчика 41. По окончании процесса измерения (завершение процесса измерения параметров состояния вещества) в счетчике 41 фиксируется результирующее значение Q_м, отвечающее числу зарегистрированных интерференционных полос. По окончании процесса измерения результирующие значения Q_м и Δδ_м передаются на блок 60 вычислений и управления (в регистр 61), где схемой 67 умножения рассчитывается величина Δn, равная
Δn = λ(Q_м + Δδ_м)/L, где L - размер кювет;
Δδ_м - изменение дробной части порядка интерференции для начала и конца регистрации, при сложении которой с 1 определяется величина показателя преломления n, отвечающего данной совокупности параметров состояния
n = 1 + Δn.

Положение ахроматической полосы в интерференционной картине белого света фиксируется с помощью фотопреобразователя 30, состоящего из экрана 31 с продольной щелью, ориентированной параллельной полосам интерференционной картины, и расположенного за ним фотоприемника 32, на выходе которого формируется переменный электрический сигнал (фиг. 6г), поступающий на вход аналого-цифрового преобразователя 48. Делитель 47 частоты, на основной вход которого поступает сигнал с генератора 42 импульсов, а на управляющий вход - сигнал с выхода схемы 44 деления блока 43, формирует на выходе стробирующие импульс (фиг. 6в), поступающие на стробирующие вход аналого-цифрового преобразователя 48 и блока 49 памяти. Аналого-цифровой преобразователь 48 осуществляет последовательное (по стробу) измерение амплитуды входного электрического сигнала и передает измеренные значения А_j на вход блока 49 памяти, запоминающего измеренное значение А_j, а также соответствующий ему номер стробирующего импульса m_j. После окончания периода Т_р блок 49 последовательно передает запомненные параметр A_j и m_j на блок 50 сравнения, который осуществляет сравнение измеренных значений А_j.

Положение ахроматической полосы в данном случае определяется путем нахождения на множестве измеренных значений А_j максимального значения А*, отвечающего максимальному значению электрического сигнала на входе фотоприемника 32, и определения и измерения временного интервала ΔТ_jмежду моментом начала периода Т_р и соответствующим стробирующим импульсом m_j (см. фиг. 6д)
ΔT_j= где К_д - коэффициент деления делителя 47.

Изменение положения ахроматической полос фиксируются по изменению измеренного значения ΔТ_j, при этом изменении порядка интерференции в белом свете соответствует величине
η= ΔTК_д(R T_г) = m_j/R, где R - фиксированное число импульсов (например, R = 100).

Данный принцип измерения смещения ахроматической полос осуществляется путем последовательной записи в регистры 51 и 53 блока значений A_j и m_j соответственно; сравнения содержимого регистров 51 и 52 (с помощью схемы 55), т. е. сравнения значений А_j. В случае, если значение А_j оказывается больше значения, записанного в регистре 53, схема 55 дает команду на перепись содержимого регистров 51 и 53 соответственно в регистр 52 и 54. В противном случае содержимое регистров 51 и 53 стирается и осуществляется передача в эти регистры следующих значений A_j+1 и m_j+1. По завершении процесса сравнения, когда номер, соответствующий последнем значению A_j, оказывается равным М_макс, схема 56 сравнения номеров дает команду на перепись содержимого регистра 54 в блок 60, т. е. осуществляется передача в блок 60 номера стробирующего импульса, отвечающего максимальному значению электрического сигнала за время Т_р (на каждом периоде модуляции). Первоначальная установка регистров 51-54 осуществляется с помощью сигнала "сброс".

Блок 60 вычислений и правления выполняет в данном случае три функции. Во-первых, он осуществляет определение точного значения коэффициента масштабирования К. Последнее позволяет установить точное количественное соответствие между результатами регистрации измерений порядка интерференции в монохроматическом и белом свете и определять поправку, учитывающую скачки показателя преломления. Коэффициент масштабирования К определяется (уточняется) путем количественного сравнения изменений значений, фиксируемых в регистрах 61, 62 за одинаковое время t, при этом коэффициент К определяется из соотношения
К = ( ΔB_j/Δm_j)^-1 = N _δ(t)/N_м(t), где ΔB_j - изменение содержимого регистра 61 за время t;
Δm_j - изменение содержимого регистра 62 за время t;
N _δ (t) - изменение порядка интерференции в белом свете за время t;
N_м(t) - изменение порядка интерференции в монохроматическом свете за время t.

Для каждых двух соседних периодов модуляции блок 50 осуществляет расчет значений разности изменения порядка интерференции в белом свете Δη _δj, которые затем сравниваются со вторым предельным значением η₂. Величина второго предельного значения η₂ на практике может выбираться равной порядка 0,01-0,02 (при абсолютной погрешности измерения порядка интерференции в белом свете не превышающий 0,005 интерференционной полосы). При превышении измеренных значений разности уровня η₂фиксируется появление скачкообразного изменения, а зарегистрированное значение Δη _δj запоминается блоком 50.

Во-вторых, блок 60 осуществляет расчет результирующего значения (выполняется схемой 67) по формуле
Δn = (Q_м + Q_c + Δδ_м)˙λ/L, где λ- длина волны монохроматического света;
Δδ_м - изменение дробной части порядка интерференции в монохроматическом свете для начала и конца регистрации;
Q_м - изменение числа целых интерференционных полос для начала и конца регистрации;
Q_с - результирующее изменение порядка интерференции, соответствующее его скачкообразным изменением (накопление осуществляется схемой 68 суммирования), равное
Q_с= [∃(Δη_бi/K) где s- число скачкообразных изменений;
Δη _δ- величина изменения порядка интерференции в белом свете при i-м скачке.

Кроме того, блок 60 осуществляет управление положением компенсатора 19. Для того чтобы сохранить большой динамический диапазон измерения предлагаемого интерферометра, т. е. обеспечить измерение изменений порядка интерференции в монохроматическом свете 10⁵, оказывается необходимым регулярно принудительно возвращать ахроматическую полосу, медленно смещающуюся при возрастании порядка интерференции в белом свете из поля зрения фотоприемника 32, обратно в область щели экрана 31. Для этого в блоке 60 осуществляется регулярный контроль содержимого регистра 62 (с помощью схемы 70), и при превышении содержимым регистра 62 некоторого порогового значения (скажем, m_j > М_доп) дается управляющий сигнал на вход блока 57 управления компенсатором, обеспечивающего поворот компенсатора 19 на один дискрет механизма 59 поворота (при этом осуществляется компенсация созданного изменения порядка интерференции η _δ на величину η₁). (56) Приборы и техника эксперимента, 1976, N 6, с. 159.

Измерительная техника, 1983, N 6, с. 42.

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение надежности измерений путем обеспечения регистрации скачкообразных изменений порядка интерференции - достигается за счет формирования дополнительного плеча интерферометра в белом цвете и регистрации целой части изменения оптической разности кода по положению ахроматической полосы, которое отслеживает скачки порядка интерференции. Световой пучок источника 1 монохроматического излучения и световой пучок источника 2 белого цвета, прошедшие через кюветы блока 10 кювет, в которых находится исследуемое вещество, дифрагируют на узких щелях диафрагмы 18 и собираются линзой 20 в фокальной плоскости с образованием интерференционной картины. С помощью модулятора 9 осуществляются периодические изменения оптической длины. Фотопреобразователи 22, 25 и 29 преобразуют интерференционную картину в электрические сигналы, которые обрабатываются электронной схемой, функции которой заключаются в вычислении величины изменения оптической разности хода. 2 с. п. ф-лы, 6 ил.

1. Способ регистрации изменений порядка интерференции, заключающийся в том, что осуществляют периодическую модуляцию порядка интерференции с периодом T_м в монохроматическом свете, измеряют значение дробной части порядка интерференции в монохроматическом свете δ_м для каждого периода модуляции, условно разбивают интерференционную полосу на первую, вторую и третью зоны, определяют на каждом периоде модуляции соответствия дробной части порядка интерференции в монохроматическом свете δ_м первой, второй или третьей зоне интерференционной полосы, регистрируют изменения этих соответствий для каждых двух соседних периодов модуляции, измеряют изменения числа целых интерференционных полос в монохроматическом свете Q_м для начала и конца регистрации, а об изменении порядка интерференции судят по сумме дробной части порядка интерференции, получившейся в результате вычитания значений δ_м для начала и конца регистрации и Q_м, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности путем регистрации скачкообразных изменений порядка интерференции, осуществляют периодическую модуляцию порядка интерференции в белом свете с периодом T_м синфазно с модуляцией порядка интерференции в монохроматическом свете, причем изменение порядка интерференции в белом свете осуществляется пропорционально изменению порядка интерференции в монохроматическом свете, измеряют на каждом периоде модуляции изменение порядка интерференции в белом свете η_δ по положению ахроматической полосы, сравнивают η_δ с первым предельным значением η₁ , при превышении которого уменьшают изменение порядка интерференции в белом свете на величину η₁ , для каждых двух соседних периодов модуляции вычисляют величину разности изменений порядка интерференции в белом свете Δ η_δ , сравнивают величину разности Δ η_δ с вторым предельным значением η₂ , при превышении которого суммируют величину разности Δ η₂ с предыдущими значениями Δ η δ_i-1 , а об изменении порядка P интерференции в монохроматическом свете судят с помощью формулы
P= Δδ_м+Q_м+∃ ,
где Σ Δ η_δ - значение суммы разностей изменений порядка интерференции, превышающее второе предельное значение, η₂ ;
∃(χ) - целая часть от χ ;
K - отношение величины изменения порядка интерференции в белом свете к величине изменения порядка интерференции в монохроматическом свете. 2. Интерферометр для регистрации изменений порядка интерференции, содержащий оптически связанные и последовательно установленные источник монохроматического излучения, расширительную систему, модулятор оптической разности хода, блок кювет, состоящий из кинематически связанных между собой вакуумированных первой, второй, третьей и контрольной четвертой кювет, имеющих размер L, диафрагму, положительную и цилиндрическую линзы и первый и второй фотопреобразователи, блок измерения дробной части порядка интерференции, блок регистрации целых интерференционных полос, генератор импульсов, блок управления модулятором и блок вычислений и управления, выход генератора импульсов соединен с управляющим входом блока измерения дробной части порядка интерференции, входы которого соединены с соответствующими выходами фотопреобразователей, а выход - с входом блока регистрации целых интерференционных полос, выход которого соединен с входом блока вычислений и управления, управляющий вход которого соединен с управляющим входом блока регистрации целых интерференционных полос, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности путем регистрации скачкообразных изменений порядка интерференции, он снабжен оптически связанными источником коллимированного белого света, кюветой, вакуумированной шестой кюветой с контрольной частью, имеющей размер L · K, кинематически связанными с кюветами блока кювет, компенсатором оптической разности хода, установленным между пятой, шестой кюветами и диафрагмой и третьим фотопреобразователем, аналого-цифровым преобразователем, блоком памяти, блоком сравнения, делителем частоты и блоком управления компенсатором, источник коллимированного белого света установлен перед модулятором оптической разности хода и оптически связан с ним, управляющий вход делителя частоты подключен к управляющему входу блока управления модулятором, сигнальный вход делителя частоты подключен к выходу генератора импульсов, а его выход соединен со стробирующими входами блока памяти и аналого-цифрового преобразователя, информационный вход которого подключен к выходу третьего фотопреобразователя, выход которого соединен с входом блока сравнения, выход которого соединен с корректирующим входом блока вычислений и управления, управляющий вход которого соединен с входом блока управления компенсатором, кинематически связанным с компенсатором оптической разности хода.