Способ определения параметров анизотропной поверхности Советский патент 1989 года по МПК G01B11/30 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов.

Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучения.

Способ осуществляется следующим образом.

Исследуемую поверхность с канавками, имеющими период чередования в интервале (1-100)А, где ft - длина волны когерентного, монохроматического излучения, используемого при исследованиях, и ширину не менее , освещают пучком когерентного монохроматического излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения. В качестве источника такого излучения может быть использован, например, гелий-неоновый лазер, имеющий длину волны 0,63 мкМоПоверхность ориентируют так, что плоскость падения излучения параллельна направлению анизотропии0 Изменяют угол падения излучения, например, с помощью гониометра, одновремегшо с этим производят измерение интенсивности дифрагированного излучения. Определяют зависимость интенсивности дифрагироJ-

00

ел

со

4-

ванного излучения от угла падения, по угловому положению экстремумов- которой определяют глубину канавки.

Формула изобретения

Способ определения параметров анизотропной поверхности, заключающийся в том, что исследуемую поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучения, ориентируют так, чтобы плоскость падения излучения была параллельна направлению анизотропии, измеряют интенсивность дифрагированного излучения

и определяют параметры, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона исследуемых поверхностей, поверхность освещают пучком излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения, измеряют угол падения излучения, измерение интенсивности дифрагированного излучения производят одновременно с изменением угла падения, определяют зависимость интенсивности дифрагированного излучения от угла падения, по угловому положению экстремумов которой определяют параметры.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов. Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучения. Поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения. Ориентируют поверхность так, чтобы плоскость падения излучения была параллельна направлению анизотропии поверхности, изменяют угол падения излучения, измеряя при этом интенсивность дифрагированного излучения, и по результатам измерений судят о глубине канавок.