Потенциалоскоп с модуляцией на коллектор-сетку Советский патент 1962 года по МПК H01J31/40 

Известны потенциалоскопы с модуляцией на ко л лектор-сетку, расположенную вблизи потенциалоносителя, служащие для записи потенциального рельефа. В подобных потенциалоскопах рассеянные вторичные электроны, выбиваемые из диэлектрика, нанесенного на поверхность коллектора-сетки, частично возвращаются обратно и вызывают дополнительное изменение потенциала тех элементов, которые уже подвергались бомбардировке электронами луча, что приводит к возникновению помех и искажению потенциального рельефа.

В описываемом потенциалоскопе существенное снижение уровня помех достигнуто использованием ячейкообразной коллектора-сетки.

На фиг. 1 изображена конструкция потенциалоскопа; на фиг. 2 - внешний вид коллектора-сетки; на фиг. 3 - одна из ячеек коллекторасетки в разрезе.

Внутри электронно-лучевой трубки / размещена фокусирующая система 2, отклоняющая система 3, коллектор-сетка 4 и сигнальная пластина 5 с нанесенным на ее поверхность слоем диэлектрика 6. На фокусирующую систему подается положительный потенциал от источника питания 7. К коллектору-сетке подключен источник 8 модулирующего напряжения. Коллектор-сетка 4 имеет ячейкообразную структуру (фиг. 2).

Электронный луч 9, попадая на одну из ячеек коллектора-сетки, выбивает вторичные электроны из диэлектрика 6. Пр« достаточной глубине ячеек вторичные электроны, выбитые из участка поверхности диэлектрика 6, ограниченной стенками данной ячейки, будут частично попадать на кол лектор-сетку, а частично возвращаться на поверхность диэлектрика внутри той же ячейки. Вследствие ячейкообразной структуры коллектор а-сетки вторичные электроны, выбитые из участка диэлектри№ 150942

ка 6, ограниченного данной ячейкой, не смогут попасть на участки диэлектрика соседних ячеек, вследствие чего рассеянные вторичные электроны не вызовут искажения потенциального рельефа, записываемого на поверхности диэлектрика 6. Для получения высококачественного изображения размеры ячеек коллектора должны быть меньше размеров наиболее мелких деталей записываемого рельефа.

Для воспроизведения записанного потенциального рельефа служит сопротивление 10, включенное в цепь сигнальной пластины 5 и подключенно.е к усилителю, не показанному на чертеже.

Предмет изобретения

Потенциалоскоп с модуляцией на коллектор-сетку, расположенную вблизи потенциалоносителя, отличающийся тем, что, -с целью снижения помех, вызванных рассеянными вторичными электронами, коллектор-сетка выполняется ячейкообразной.