(А6) 30.ОД.91. Вюл. № 16
(21)4322959/25
(22)30.10.87
(72) Л.М.Василевская, В.П.Кива, В.А.Фролов и А.И.Хатунцев
(53)621.382 (088.8)
(56) Костюков Е.В. и др. Линейные фоточувствительные микросхемы с зарядовой связью К1200Щ15 и К1200ЦГ1б. Электронная промышленность, 1987, № 3, с. 19-22.
Василевская Л.М. и др. Линейная фоточувствительная , микросхема с зарядовой связью типа К1200ЦЛ2. Электронная промьппленность, № 7, 1982, с. 10-13.
(54)ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ СТРУКТУРА С ПЕРЕНОСОМ ЗАРЯДА
(57) Изобретение относится к полупроводниковой технике. 11елью ияойрете- ния является сокраще ше време1ш и упрошенио процесса 113мер Ш1я коэффициента пер€у;ачи модуляции. Фоточувствительная структура с переносом заряда, содержащая фоточувствительную секцию, транспортный регистр и светозащитный экран, расположенный над ячейками фотсэчу Рстрителыюй секции j часть светозаоштного экрана, расположенного над фоточувствительными ячейк 1ми, сна5жена окнами, которые образуют периодическую структуру чередующихся закрытых и рапного им числа открытых фоточувствительных ячеек. 1 ил.
i
(Л
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в формирователях сигнала изображения на приборах с зарядовой связью.
Цепь изобретения - сокращение времени и упрощение процесса измерения коэффициента передачи модуляции.
На чертеже представлена предлагаемая фоточуяствительная структура, вид в плане.
Фоточувствительная структура с переносом заряда содержит секцию 1 с фоточувствительными ячейками 2, транспортный регистр 3, светозащитный экран 4, расположенный над фоточувствительными ячейками 2, окна 5 в светозащитном экране 4, которые образуют периодическую последовательность чередугацихся закрытых и равного им числа открытых фоточувствительных ячеек 6 и 7.
При освещении фоточузстпительной структуры равномерным потоком оптического излучения в открытых фоточувствительных ячейках структуры происходит накопление фотогенгрируемых носителей заряда. По окончании процесса накопления сформиронан(т1е зарядовые пакеты переносятся п гоответ- ствукхцие ячейки транспортного регистра, который осуществляет ;ix перенпс к выходному устройству приПпра. Сформированная таю м образом ппследопа- тельность зарядовых пакетом предгтяв- ляет собой аналог сигнала, который формируется при подаче на фоточувст- вительную поверхность структуры иэобСП
СП
CD
О5 CD
15
ражения штриховой миры со 100% контрастом изображения. По выходному сигналу определяют коэффициент пгре- дачи модуляции.
Изобретение позволяет сократить время и упростить процесс измерения коэффициента передачи модуляции. Сокращение времени и упрощение процесса измерения коэффициента передачи модуляции осуществляется за счет исключения операции фокусировки изображения чередующихся светлых и темных, полос штриховой миры структуры, проецируемых диапроектором на фото- чувствительную секцию.
Изобретение позволяет использоват равномерную засветку фоточувствительной секции устройства. При этом упрощается оптическая система зондового автомата, уменьшается трудоемкость процесса измерения коэффициента передачи модуляции.
Формула изобретения
Фоточунствительиая структура с переносом заряда, содержащая секцию с фоточувствнтельными ячейками, транспортный регистр и светозащитный экран, расположенный над фоточувствительными ячейками, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности контроля в процессе изготовления структуры, часть светозащитного экрана содержит окна, которые образуют периодическую последовательность чередующихся закрытых и равного им числа открытых фоточувствительных ячеек.
