Задатчик поля векторов смещений Советский патент 1989 года по МПК G01B5/00 

1

(21)4399550/24-28

(22)29.03.88

(46) 30.10.89. Бкш. № 40

(72) Б.Л. Арлов, В.П. Сарычев,

В.П, Семин и Г,П. Шкорупило

(53)531.717 (088.8)

(56)Авторское свидетельство СССР № 1024685, кл. G 01 В 5/00, 1983.

(54)ЗАДАТЧИК ПОЛЯ ВЕКТОРОВ СМЕЩЕНИЙ

(57)Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для метрологической поверки

голографических интерферометров. Целью изобретения является повышение точности задания смещений за счет исключения трущихся пар в конечных элементах кинематической цепи. Для этого узел редукции выполнен в виде сильфона, герметично соединенного своим открытым торцом с внутренней полостью корпуса мембраны и имеюп1е- го на другом торце, которьш выполнен глухим, полированную полусферу, которая установлена в контакте с микрометрическим винтом, 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для метрологической поверки голографических интерферометров. Целью изобретения является повышение точности задания смещений за счет исключения трущихся пар в конечных элементах кинематической цепи. Для этого узел редукции выполнен в виде сильфона, герметично соединенного своим открытым торцом с внутренней полостью корпуса мембраны и имеющего на другом торце, который выполнен глухим, полированную полусферу, которая установлена в контакте с микрометрическим винтом. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для метрологической поверки голографических интерферометров, предназначенных для исследования перемещений и деформации светорас- сеивающих поверхностей.

Цель изобретения - повышение точности за счет исключения обусловленного контактным трением гистерезис- ного являения.

На фиг.1 изображен задатчик, вид сбоку; на фиг.2 - то же, вид спереди.

Задатчик поля векторов смещений выполнен в виде массивного корпуса 1, в котором с помощью восьми плоских пружин 2 подвещен узел задатчика нормальных смещений, состоящий из мембраны 3, выполненной за одно целое с корпусом 4 мембраны, сильфона 5 с полированной сферой 6, крышки 7, задающего микровинта 8 и вкладьппа 9, крепящегося в корпусе 4 мембраны

пружинным кольцом 10. Механизм задания качательных смещений состоит из рычага I1, который через плоскую пружину 12 с помощью накладки 13 крепится к корпусу 1. На нижнем конце рычага 11 расположен микровинт 14, опирающийся на шарик 15, запрессованный также в корпусе 1. С корпусом 4 мембраны рычаг 11 соединен тяговой струной 16, На боковой поверхности корпуса 4 мембраны сформирована плоская зеркальная поверхность 17 для тарировки механизма касательных смещений.

На внешней рабочей поверхности мембраны 3 расположены следующие элементы: четыре сектора 18 с зеркальной поверхностью, четыре сектора 19 со светорассеивающей поверхностью, перекрестие 20, пентр которого совпсщает с оентром рабочей поверхности мембраны 3, и четыре базовых штриха 21 для определения

(Л

ел

с а ел

4;:

линейных увеличений на фотоснимках рабочей поверхности,

Поверка голографических интерферометров с помощью задатчика поля векторов смещений производится следующим образом.

На первом этапе производится та- рирор-а задатчика с помощь« класси- ческог о интерферометра. Тарировка за датчика по нормальным и касательным состаьпяющим смещений производится раздельно. При тарировке Нормальных смещений в качестве испытуемого зеркала в классическом интерферометре используются зеркальные секторы 18, Для сначала проводят фотосъемку исходной интерферограммы секторов 18, Затем сжимают сильфон 5 с помощь микровинта 8, При этом внутри г-ерме- тичного объема возрастает давление, что приводит к выпучиванию мембраны. Значение передаточного отношения (около 0,001) между перемещением штока микровинта и смещением цент- рапьной точки мембраны достигается за счет подбора толщины мембраны и объъма вкладьша 9, После этого производятся последовательные фотосъемки интерферограмм зеркальных секторов при перемещениях штока микровинта с заданным (например, 0,5 мм иагом, дешифровка полученных интерферограмм и расчет поля заданных смещений в выбранных сечениях интерферограмм, В заключение определяют цену Деления микровинта 8 в единицах смещения центральной точки мембраны.

Используя зеркало 17 с помощью классического интерферометра, производят в реальном времени тарировку механизма задания касательных смещений и определяют цену деления микровинта 14,

Устанавливают задатчик в схему по веряемогг. интерферометра так, чтобы объектом исследования являлась рабо

Q 5 0 5 о

5

0

чая поверхность мембраны. Микровинтами В и 14 задают требуемое поле векторных смещений рабочей поверхности мембраны. Измеряют заданное распределение смещений на участках светорас- сеивающих секторов 19 тем или иным методом голографической интерферометрии. Производят дешифровку голографических интерферограмм и сравнивают полученные значения поля векторов смещений или их составляющих с заданными, Голографический интерферометр считается поверенным, если разность значений полученных и заданных составляющих смещений или модулей их векторов не выходит за пределы установленных допусков по всей длине сечений дешифровки. Дешифровку проводят минимум в двух ортогональных сечениях светорассеиваютей части рабочей поверхности мембраны. Если это необходимо, поверку можно осуществлять и по большему числу сеченийФормула изобретения

Задатчик поля векторов смещений, содержащий полый корпус, один из торцов которого представляет собой металлическую мембрану круглой формы, микрометрический винт, предназначенный для задания перемещения, и узел редукции перемещения винта, отличающийся тем, что, с целью повышения точности задания нормаль-- ных смещений, узел редукции выполнен в сильфона, один лз торцов которого является открытым, а другой глухим, и полированной полусферы, закрепленной на внешней стороне глухого торца сильфона, сильфон герметично соединен открытым торцом с внутренней полостью корпуса, а наружная поверхность мембраны выполнена в виде чередующихся зеркальных и светорассеивающих секторов.

/УУ:

.1

Фиа.1