Способ определения показателя преломления и толщины одномодового планарного оптического волновода Советский патент 1990 года по МПК G02B6/10 

Изобретение oiносится к измерению параметров оптических волноводов, в частности показа ля преломления и точщины одномодовыл пленарных оптических волноводов.

Цель изобременин - повышение точности определения параметров одномо- довых пленарных ошических волноводов.

На чертеже представлена схема устройства для определения спектральной расстройки ТГ- и ТН-мод в волновод- ном резонаторе Фабри-Перо, реализующая предлагаемый способ.

Устройство содержит источник 1 света, волново rnvi п рук i уру 2, поляризатор 3 свет а ч мпюхромат ор 4 с фотоприемпиком.

Способ осуп;ествляется следующим образом.

Сначала измеряют в одномодовом планерном оптическом волноводе эффективный показатель преломления ТЕ- моды пте на фиксированной длине волны

До согласно прототипу. Затем из волновода изготовляют резонатор Фаб- ри-Перо длиной несколько сот микрометров, возбуждают в нем основные ТЕ- и ТМ-моды с номоцью источника 1 на

длинах волн

А

те

соответствен- ,те лтн i

Л

но и определяют разность Де i 0 на выходе из резонатора 2, пропуская световой пучок через поляризатор 3 и монохроматор 4.

Решая численно на ЭВМ систему уравнений, приведешп ю в формуле изобСП

GO СО

ГО

ретения, определяют показатель преломления п и толщину d одномодового планарного волновода.

Форм у л а изобретения

Способ определения показателя преломления и толщины одномодового планарного оптического волновода, заключающийся в измерении двух параметров ортогонально-поляризованных мод, одним из которых является эффективный показатель преломления ТЕ-моды, и

численном определении показателя преломления и толщины волновода из соответствующей системы уравнений, о т- личающийся тем, что, с целью повышения точности, из волновода изготовляют резонатор Фабри-Перо, возбуждают в нем ТЕ- и ТМ-моды на длине волны и Ъ™ соответственно и измеряют спектральную расстройку Я Iе - Ъ1Н для ТЕ- и ТИ-код на выходе из резонатора, а показатель преломления пг и толщину d волноводного слоя определяют из системы уравнений

Изобретение относится к измерению параметров оптических волноводов, в частности показателя преломления и толщины одномодовых планарных оптических волноводов, и позволяет повысить точность определения параметров одномодовых планарных оптических волноводов. Цель достигается путем измерения наряду с эффективным показателем преломления ТЕ-моды волновода также спектральной расстройки мод ортогональных поляризаций в резонаторе Фабри-Перо, изготовленном на основе данного волновода, и численным определением показателя преломления и толщины волновода из соответствующей системы уравнений, приведенной в формуле изобретения. 1 ил.

4H l H-«s

° I N (n7Ј )af ((n16 )2

2

-jtrd+ (

П(,Пч, - показатель преломления

подложки покрбвного слоя соответственно;

p-n. V 11 Г(ПТЕ)2-.П2 I

--)Ь +аг«ЧпС(п--уН

/в

-nl)Vz +((пТЈ)г-п|/Л 1

(пте),.) - эффективный показатель преломления ТЕ-моды.