Способ контроля вакуума внутри баллона кварцевого резонатора Советский патент 1990 года по МПК G01L21/22 

И-шбретгши. относится к технической физике и может быть использопа- но при разработке и исследовании пьезокьарпевыл резонаторов, стабильность параметров которых зависит от глубины и постоянства вакуума внутри баллона.

Целью изобретения является повышение достоверности контроля вакуума бесштенгельного баллона высо- ппчастотного гармоникового кварцевого резонатора.

На фиг. 1 изображена структурная схема установки для реализации пред- пагаемого способа, на фиг. 2 - графин -змплитудно-частотой характеристик рабочей моды кварцевого резонатора; на фиг. 3 - график снятой экспериментально функционатьной зависимости пороговой мощности от давления газа внутри баллона кварцевого резонатора .

Установка (фиг. 1) содержит генератор 1 качающейся частоты, измерительный четырехполюсник с резонатором ., измеритель 3 амплитудно-частотных характеристик и векторным вольтметр 4. Измерительный четырехполюсник 2 размещен внутри вакуумной камеры, к которой подсоединен измеритель 5 вакуума. Генератор 1, четырехполюсник 2 и измеритель 3 соединены в кольцо. Векторный вольтметр 4 подключен к входу и выходу четырехполюсника 2.

Способ осуществляют следующим образом .

При фиксированном давлении газа внутри вакуумной камеры резонатор возбуждают от генератора 1 качающейся частоты, изменяют выходную мощность генератора и снимают семейство амплитудно-частотных характеристик рабочей моды резонатора, по которому находят величину пороговой мощности рассеяния на резонаторе, соответствующей появлению провала активности

сл

Јь 00

оэ со

в амплитудно-частотной характеристике (фиг. 2) .

Эти действия повторяют при постоянной температуре окружающей среды и неизменных амплитуде и длительности сканирования частоты генератора 1 для ряда значений давления газа внутри вакуумной камеры, получал, таким образом, функциональную зависимость пороговой мощности резонатора от уровня вакуума (фиг. 3).

После заварки баллона резонатора в процессе производственного контроля, хранения или эксплуатации квар- цевфго резонатора с помощью той же (фиг. 1) или аналогичной установки измеряют величину пороговой мощности и по найденной функциональной зависимости (фиг. 3) определяют величину вакуума внутри баллона кварцевого резонатора.

Благодаря тому, что величина пороговой мощности монотонно зависит от давления в баллоне бесштенгельного высокочастотного гармоникового кварцевого резонатора в широком диапазоне давлений 10 3-103 мм рт.ст., повышается достоверность контроля ва- куума в таких изделиях.

5 Q

0

Формула изобретения

Способ контроля вакуума внутри баллона кварцевого резонатора, при котором перед заваркой баллона снимают функциональную зависимость информативного параметра резонатора от уровня вакуума и после заварки баллона определяют по этой зависимости и измеренному значению информативного параметра величину вакуума внутри баллона, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности контроля вакуума внутри бесштенгельного баллона высокочастотного гармоникового кварцевого резонатора, резонатор перед заваркой баллона помещают в вакуумную камеру и при каждом фиксированном значении уровня вакуума в камере возбуждают его от генератора качающейся частоты, изменяют выходную мощность генератора и снимают семейство амплитудно-частотных характеристик рабочей моды резонатора, по которому находят величину пороговой мощности рассеяния на резонаторе, соответствующей появлению провала активности в его амплитудно- частотной характеристике, при этом в качестве информативного параметра используют пороговую мощность.

Изобретение относится к технической физике и позволяет повысить достоверность контроля вакуума внутри бесштенгельного баллона высокочастотного гармоникового кварцевого резонатора. Способ состоит в использовании в качестве информативного параметра контроля величины пороговой мощности рассеяния на резонаторе, соответствующей появлению провала активности в его амплитудно-частотной характеристике. Указанная величина монотонно зависит от давления внутри баллона резонатора в широком диапазоне давлений 10^-3 - 10³ мм рт.ст. 3 ил.

4,

П

2

«fc

if.

(мбтЪг

ДО

О

rf

И

Ю

Редактор Ю.Середа Заказ 394

ИГ 1 Фиг.Ъ

Составитель И.Сумцов

Техред М.Дидык Корректор А.Обручар

Ю (ммрт

Тираж 462

Подписное

/л /$

Фиг.1

Ю

Ю Р (ммрт.ст)

Подписное