Датчик давления Советский патент 1990 года по МПК G01L9/04 

кой части мембраны. Например, при хо- , крыта слоем диэлектрика.

0

Ю

16

J7

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - расширить диапазоны измеряемых давлений, повысить надежность и допустимое перегрузочное давление тензорезисторных датчиков давления. Датчик содержит мембрану 1, выполненную с утолщенной периферийной частью 2. На мембране сформирована тензорезисторная мостовая схема. Над поверхностью мембраны, параллельно ей, установлена защитная пластина 8 с толщиной, значительно большей по сравнению с гибкой частью мембраны. Между мембраной и защитной пластиной с помощью калиброванных по толщине прокладок 17 установлен зазор, величина которого превышает на 10-20% максимально заданное перемещение гибкой части мембраны. Защитная пластина 8 приварена к утолщенной периферийной части мембраны не менее чем в трех точках. Поверхность защитной пластины, обращенная к мембране, покрыта слоем диэлектрика, обеспечивающего защиту тензоструктуры от механических повреждений и коротких замыканий при воздействии на мембрану перегрузочных давлений. Датчик давления может быть использован при разработке ряда унифицированных датчиков низких, средних и высоких значений давлений. 1 ил.

Фиг. I