Устройство для измерения линейных перемещений Советский патент 1990 года по МПК G01B9/02 G01B11/00 

Фиг. Z

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерений путем устранения влияния поперечных смещений линейки при одновременном снижении требований к длине когерентности излучения. Плоская волна лазера 1 падает на линейку 2, а дифрагировавшая в выбранный положительный порядок волна, отражаясь от зеркала 3, направляется на линейку 2 для повторной дифракции. Аналогично зеркало 4 осуществляет повторную дифракцию волны, дифрагировавшей в выбранный отрицательный порядок. Среди волн, испытавших двукратную дифракцию, выделяются и совмещаются в пространстве две волны вновь выбранных дифракционных порядков, а полученная картина интерференционных полос регистрируется фотоприемником 5. При линейном перемещении линейки 2 разность фаз повторно дифрагировавших волн будет пропорциональна удвоенному произведению величины перемещения ΔХ линейки 2 на выбранные порядки дифракции. Размещение зеркал 3, 4 на касательных к эллипсу, фокусы которого расположены на поверхности линейки так, что первый по ходу излучения от источника фокус каждого эллипса находится в точке дифракции волн излучения на линейке, а второй - в точке схождения продифрагировавших волн, обеспечивает равенство оптических путей двух интерферирующих волн, а вследствие того, что совмещение производится той же самой линейкой 2, поперечные смещения линейки 2 не влияют на стабильность интерферанционных полос при симметричном расположении зеркал 3, 4. Размещение зеркал на эллипсе позволяет одновременно значительно уменьшить разность оптических путей интерферирующих волн и тем самым уменьшить требуемую длину когерентности излучения источника. 4 ил.

Раг.4