Теплоэлектрический преобразователь давления Советский патент 1990 года по МПК G01L21/12 

Изобретение относится к вакуумной | технике, а именно к приборам для измерения давления разреженного газа, и может найти применение в различном вакуумном оборудовании для измерения давления в диапазоне - 105 Па.

Целью изобретения является повышение чувствительности и уменьшение габаритов теплоэлектрического преобра- зователя давления.

На чертеже приведен преобразователь, общий вид.

Устройство содержит корпус 1 с то- ковводом 2. Внутри корпуса расположе- на проволочная петля 3 V-образной формы, концы петли прикреплены к контактам 4 токоввода 2. К вергаине петли прикреплен якорь 5 (полоска фольги, выполненный из ферромагнитного мате- риала. Внутри корпуса размещен постоянный магнит 6,-между постоянным магнитом 6 и якорем 5 имеется гарантированный зазор (1 мм ) „ Постоянный магнит 6 запрессован во втулку 7 из изоляционного материала, которая закреплена на стойках 8. Для уравнивания давления газа в корпусе преобразователя и в контролируемом объеме во втулке 7 предусмотрены каналы 9.

Преобразователь работает следующим образом.

Через проволочную петлю 3 от внешнего источника питания (не показан) Пропускают ток, который нагревает эту Петлю до определенной, наперед заданной температуры (о температуре проволочной петли судят путем регистрации ее сопротивления, прямо пропорциональ ного температуре). Напряжение, необходимое для нагрева проволочной петли до заданного уровня, по известному закону зависит от давления внутри корпуса преобразователя, который ва- куумно-плотно подсоединяют к сосуду, давление в котором необходимо измерить .

Измерение давления осуществляется косвенным методом путем оценки мощности, передаваемой молекулами разреженного газа от нагреваемой прямым пропусканием тока проволочной петли к корпусу преобразователя.

Преобразователь может быть выполнен не только с V-образным чувствительным элементом. Проволочная петля может иметь также и W-образную форму или многозвенную форму, при этом к каждой вергаине петли должна быть прикреплена полоска из ферромагнитной фольги, а внутрь корпуса преобразователя должны быть введены дополнительные магниты. Однако такая конструкция проволочной петли менее устойчива к внешним механическим воздействиям. Предлагаемая конструкция преобразоьс теля давления обеспечивает как сокращение габаритов преобразователя, так и повышение чувствительности при сохранении характеристик по устойчивости к внешним механическим воздействиям. Формула изобретения

1 . Теплоэлектрический преображена. - тель давления. содержащий корпу с электрическим токовводом с контАктами и размещенный внутри корпуса терморезистор, выполненный в виде проволочной петли V-образной формы, концы которой прикреплены к контактам токоввода, о тличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и уменьшения габаритов, он снабжен установленным в корпусе по его оси постоянным магнитом, а проволочная петля снабжена якорем, закрепленным в месте ее перегиба, выполненным из ферромагнитного материала и расположенным с зазором относительно- магнита.

2. Преобразователь по п. 1, о - личающий ся тем, что ч нем якорь выполнен из фольги.

Изобретение относится к приборам для измерения давлений разреженных газов и может найти применение в различном вакуумном оборудовании для измерения давления в диапазоне 10^-1 - 10⁵ Па. Целью изобретения является повышение чувствительности и уменьшение габаритов теплоэлектрического преобразователя давления. Преобразователь давления содержит корпус 1 с электрическими токовводами 2, к контактам которых прикреплены концы проволочной петли 3 V-образной формы. К вершине проволочной петли прикреплен якорь 5 (полоска фольги), выполненный из ферромагнитного материала. Внутри корпуса размещен постоянный магнит 6, который притягивает якорь 5 (полоску фольги) и соответственно натягивает проволочную петлю, которая связана с якорем. Между постоянным магнитом и якорем имеется гарантированный зазор. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.