Способ определения распределения крутизны неровностей плоского шероховатого объекта Советский патент 1990 года по МПК G01B11/30 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения крутизны неровностей, определяющих величину напряжения при контакте трущихся поверхностей, что актуально в приборостроении, машиностроении, бесконтактном контроле состояния поверхностей изделий и других отраслях науки и техники.

Цель изобретения - повышение точности определения и расширение пределов измерения сильношероховатых поверхностей за счет регистрации совокупности зон корреляции образованной структурными элементами поверхности.

На чертеже приведена схема устройства, реализующего предлагаемый способ.

Устройство содержит источник 1 излучения, четвертьволновую пластинку 2, поляризатор 3, телескопическую систему 4, объективы 5 и 6, анализатор 7, фотографический транспарант- маску 8 и фотоэлектронный приемник 9.

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.

На вход устройства поступает излучение от источника 1 - одномодово- го лазера. Пластинка 2 формирует циркулярную поляризацию лазерного пучка. Поляризатор 3 пропускает лазерную волну, плоскость поляризации которой составляет угол 45° относительно плоскости падения. Телескопическая система 4, состоящая из двух объективов и диафрагмы между

сл

00

to

01

ними, расширяет пучок и формирует плоский волновой фронт. Эта волна отражается от поверхности объекта 10. Объектив 5 проецирует когерентное изображение шероховатой поверхности в плоскость фоточувствительного слоя транспаранта-маски 8, на котором регистрируется распределение и|нтенсивностей в когерентном изображении. С помощью вращающегося анализатора 7 формируют различные проекции плоскости световых колебаний в зрнах корреляции когерентного изобра- поверхности и пропускают их через транспарант-маску 8. Объектив 6 проецирует пропущенный световой поток на вход фотоэлектронного приемника 9, котормй измеряет уровень интенсивности Qb, по которой однозначно определяют распоеделение крутизны неровностей плоской шерохо- атой поверхности.

Формула-изобретения

Способ определения распределения Крутизны неровностей плоского шероховатого объекта, заключающийся в , что облучают исследуемую поверхность объекта пучком лазерного излучения,формируют когерентное изображение поверхности,регистрируют на фоточувствительном слое его интенсивность, измеряют интенсивность излучения, прошедшего через фотографический транспарант, и определяют распределение крутизны неровностей плоского шероховатого объекта, отличающий ся тем, что, с це-

лью повышения точности определения и расширения пределов измерения сильношероховатых поверхностей, задают плоскость колебаний вектора электрической напряженности пучка лазерного

5 излуче ния под углом 45° относительно его плоскости падения, формируют плоский волновой фронт, устанавливают перед фоточувствительным слоем анализатор, ориентируют ось пропус-

0 кания плоскости поляризации под углом 45° к оси пучка лазерного излучения, регистрируют распределение ин- тенсивностей в когерентном изображении, прошедшем через анализатор, из5 меряют интенсивности излучения, прошедшего через фотографический транспарант при различных поворотах оси пропускания анализатора от 45 до 135° и по полученным величинам определяют

0 распределение крутизны неровностей плоского шероховатого объекта.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения крутизны неровностей, определяющих величину напряжения при контакте трущихся поверхностей. Цель изобретения - повышение точности определения и расширения пределов измерения сильношероховатых поверхностей за счет регистрации совокупности зон корреляции образованной структурными элементами поверхности. В способе проецируют когерентное изображение в плоскость регистрации, записывают транспарант-маску и проводят взаимно поляризационно-корреляционный анализ совокупности зон корреляции, из которого извлекается информация о распределеии крутизны неровностей плоского шероховатого объекта. 1 ил.

Ю