Оптический датчик перемещений с фазовым выходом Советский патент 1990 года по МПК G01B21/00 

ri

joej.f

7

fffi.l

Фиг. 2

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет устранения погрешностей, связанных с уходом параметров оптического датчика, связанных с изменением температуры, и исключения влияния изменения частоты модулирующего сигнала. Оптический датчик перемещений с фазовым выходом содержит излучатель 1 светового потока, оптический сигнал от которого поступает на опорный фотоприемник 3 и через отражающую поверхность 11 на рабочий фотоприемник 2, сигналы с выходов которых, сдвинутые по фазе на 180°, через масштабирующие звенья 5 и 6 соответственно поступают на входы сумматоров 7 и 8 и на разные обкладки фазовращающего конденсатора 10. На сумматоре 7 происходит сложение сигналов с выходов фотоприемника 2 и фотоприемника 3, сдвинутого по фазе конденсатором 10, на сумматоре 8 происходит сложение сигналов с выходов фотоприемника 3 и фотоприемника 2, сдвинутого по фазе конденсатором 10. Сигналы с выходов сумматоров 7, 8, фазы которых промодулированы перемещением поверхности 11, поступают на входы фазометра 9, с выхода которого снимается разность фаз между сигналами с выходов сумматоров 7 и 8. 2 ил.